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3 온도 구역 슬라이딩 pecvd 튜브 용광로
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소형 단일 온도 영역 슬라이딩 pecvd 튜브로
소형 단일 온도 영역 슬라이딩 pecvd 튜브로
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50mm od를 가진 1200 ° C 단일 지역 쪼개지는 관로
석영 관을 가진 단 하나 지역 1200 ° c 50mm od 쪼개지는 관로
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터보 분자 진공 스테이션 및 완전한 액세서리가 포함 된 소형 4 "rtp 튜브 퍼니스 시스템 (최대 1e-4 torr 및 1100c)
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DVD 및 RTP 용 1200 ° C 소형 자석 구동 슬라이딩 튜브 퍼니스
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빠른 가열 / 냉각을위한 플랜지가있는 소형 자동 슬라이딩 튜브 퍼니스 (50mm od, 최대 1200 ° c)
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4 "ID 석영 튜브 및 최대 1100ºc의 디지털 진공 게이지를 갖춘 ul 표준 소형 rtp 퍼니스
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빠른 가열 / 냉각을위한 슬라이딩 플랜지가있는 1500 ° C 최대 튜브 퍼니스 (50mm od)
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급속 가열 및 냉각 기능이있는 1000 ° C 최대 슬라이드 식 RTP (4 ''od) 튜브 퍼니스
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진공 상태에서 슬라이드 가능한 샘플 홀더가있는 2 개의 영역 IR 가열식 RTP 튜브 퍼니스 (4 ''ID)
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hpcvd 용 내부 이동 메커니즘이있는 1200 ° C 튜브 퍼니스
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빠른 가열 / 냉각을위한 플랜지가있는 1200 ° C 최대 슬라이딩 튜브 퍼니스 (80mm od)
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TCDVD를위한 50mm 튜브 플랜지가있는 1200 ° C 최대 이중 슬라이딩 튜브 퍼니스
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듀얼 튜브 (100 / 80mm)-DVD 슬라이딩 퍼니스 및 4 채널 가스 및 진공 시스템
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빠른 가열 / 냉각을위한 플랜지가있는 3 개의 구역 슬라이딩 튜브 퍼니스 (80m 1200 ° c max m od,)