노

구조

콤팩트   4”RTP 튜브 퍼니스 （ 겹켜 강철 상자   멀 라이트 라이너)

난방   요소

8   PC 할로겐 조명 튜브 (d = 10 l = 300 t = 200, mm)

일   온도

1100 ° C   최대 ( 이 RTP 퍼니스의 최대 유지 시간   1000ºC ~ 1100ºC에서 600 초 미만이어야합니다. 그렇지 않으면 O- 링이   녹다 )

최대   가열 속도

50 ° c / 초

최대   냉각 속도

64 ° c / 분   (진공 하에서 : 200 mtorr), 117 ° c / 분 (대기압 하에서)

난방   존

12 "   +/- 1 ° c 균일 성 내에서 4 "항온 영역의 길이

프로그램   온도 제어 장치

석영   튜브 & amp; 샘플 홀더

• 석영 관 크기 : 4.33 "o.d x        4.05 인치 i.d x 16.2 "        길이
• 삼"        직경 샘플 홀더는 슬라이딩 플랜지에 삽입되며        석영
• 하나        3 "직경 aln 웨이퍼는 홀더 중앙에 위치합니다.        최대 3 "직경의 어닐링 샘플.
• 알른        가장 높은 온도를 제공하는 열전도율이 매우 높습니다.        시료 영역의 균일 성
• 그만큼        샘플 홀더는 플랜지에서 분리 가능

진공   플랜지

kf-d25   고진공 플랜지는 이중 고온의 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다. 실리콘   O- 링, 니들 밸브.
슬라이딩 플랜지는 샘플 로딩을위한 쉬운 방법입니다. 3 "쿼츠 샘플   정확한 측정을 위해 삽입 가능한 열전대.

물   냉각 재킷

• 냉각수가 필요합니다.
• 유속을 확인하십시오        냉각수는 ≥ 10l / min, 수온입니다. & lt; 25 ℃; 압력 & gt; 25        psi.
• eq-kj5000 시리즈를 사용하는 것이 좋습니다. 재순환 물 냉각기 로        냉각 시스템 (관련 제품에서 별도로 주문하십시오)        아래) 물을 절약하십시오.

경고 :이 rtp   퍼니스의 최대 체류 시간은 1000ºc ~ 1100ºc에서 600 초 미만이어야합니다.   수돗물로 O- 링이 녹을 수 있습니다. 재순환 수 사용   냉각기의 경우이 유지 시간을 1200 초로 연장 할 수 있습니다.

흐름   미터

하나   유량계는 전면 패널에 설치되어 가스 유량을 0-160으로 조정합니다.   ml / 분

힘   입력

208-240   ac, 50/60 hz 단상, 9 kw 이하 (> 60a 차단기 필요)

hv   역
고진공 스테이션

구조

• 변하기 쉬운        카트 크기 : 600 (l) x 600 (w) x 700 (w), mm
• 최대        적재 : 상단에 600 파운드
• 분자        펌프 제어판 : LCD 디지털
• 다이어프램 펌프 과 터보 분자 펌프 아르        강철 케이스 안에 설치.

진공   정도

6.3e-5   mbar (40 분 내에 4 "rtp 튜브 퍼니스 포함)

제어   패널

• 하나의 버튼 조작 -다이어프램 펌프        "시작"을 누르면 터보 분자 펌프가 시작됩니다        단추.
• 시스템 제어 스피닝 속도 -컨트롤러는        에 따라 터빈의 회전 속도를 제어합니다        반응 챔버의 진공 수준 및 누출 속도.
• 자기 보호 -시스템은        과열로 인해 펌프가 손상되지 않도록 보호하십시오.        반응 챔버의 누출 속도가 너무 높아서 높은 진공을 달성 할 수 없습니다.

• LCD 화면 -이중선        매개 변수 확인 인터페이스 하다        작업을보다 쉽게 ​​처리 할 수 ​​있습니다.

스타트 업   시각

2   의사록

역행   10mbar에서 펌프 체적 유량

3.8   50hz의 경우 l / min, 60hz의 경우 4.4l / min

힘   입력

110v   AC 또는 220V AC 전환 가능, 50 / 60Hz

힘   소비

지속 시간 / 최대   힘 : 100 / 110watt

배송   정보

무게   그리고 차원

rtp   퍼니스 : 110 lbs, 760 x 330 x 530mm (30 "x 13"x 21 "   인치) l x w x h
HV 스테이션 : 40 파운드, 600 x 600 x 700mm (24 "x 24"x 28 ")   l x 승 x h

보증

노트북,   소프트웨어 및 와이파이 제어 (옵션)

응낙

• ce        인증
• 그만큼        퍼니스는 NRTLS로 테스트 한 UL 61010, IEC 61010, SPE-1000을 통과 할 준비가되었습니다.        추가 비용으로. 견적 및 세부 정보는 당사에 문의하십시오.
• 온도        컨트롤러가 충족되고 ce 인증되었습니다
• 높은        진공 스테이션은 tuv 인증을 받았습니다