제품
RTP Furnace

4 "ID 석영 튜브 및 최대 1100ºc의 디지털 진공 게이지를 갖춘 ul 표준 소형 rtp 퍼니스

  • Model Number:

    TMAX-1200X-RTP-4
  • :

    Xiamen
  • 지불:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
제품 세부 사항

4 "ID 석영 튜브 및 최대 1100ºc의 디지털 진공 게이지를 갖춘 ul 표준 소형 rtp 퍼니스


tmax-1200x-rtp-4 컴팩트하다 4 "i.d. 프로세싱 쿼츠가있는 급속 열처리 튜브 퍼니스 튜브 및 진공 플랜지. 그것은 반도체 웨이퍼 어닐링을 위해 설계되었습니다 또는 직경이 최대 3 "인 태양 전지. tmax-1200x-4-rtp는 최대 1kw의 1kw 할로겐 조명 8 개 50ºc / 초의 가열 속도. +/- 1ºc 정확도의 30 세그먼트 정밀 온도 컨트롤러 내장 다양한 단계에서 가열, 주거 및 냉각이 가능한 퍼니스. rs485 온도 모니터링을위한 포트 및 제어 소프트웨어 포함 퍼니스를 동시에 가동시키면서 PC를 통한 프로파일. 이 노도 로 수정할 수 있습니다 rte, css 또는 hpcvd 퍼니스 ( 보다 아래 애플리케이션 노트)

명세서

용광로 구조

  • 겹켜 강철        공랭식 케이싱은 용광로 표면 온도를        60 ° C.
  • 고순도 섬유        최대 에너지 절약을위한 알루미나 단열재.
  • 덮개를 나누다 연동 보호 이면 전원을 차단하십시오        퍼니스 가열 과정에서 뚜껑이 열립니다.

전원 입력

208-240 ac, 50/60 hz 단상, 9 kw 이하 (60a   차단기 필요)


가열 요소

  • 8 PC 1kw 할로겐        가벼운 튜브, (직경 = 10mm, l = 300mm, 가열 길이        = 200mm)
  • 표준 노동 생활 :        2000 시간 (가열 속도에 따라 다름)
  • 할로겐        가벼운 튜브는 소모품입니다. 주문 왼쪽 사진을 클릭하십시오        여분의 것

가열 영역

4 "항온 지역 12"길이   +/- 5ºc 균일 성 이내

작동 온도

  • 1100ºc 이하 & lt; 10        의사록
  • 최대 1000ºc & lt; 20        분 (참고 : 시간이 더 길면 퍼니스 케이스는 & gt;        100oc, 외부에서 팬 냉각 케이스를 사용해야 함)
  • 800ºc 이하 ...에 대한        & lt; 120 분
  • 600ºc 이하 ...에 대한        마디 없는

최대 가열 속도

50ºc / 초

냉각 속도

  • 최대 냉각 : 60ºc / min        (진공 하에서 : 200 mtorr), 117ºc / min (대기 하에서        압력)
  • 최저 냉각 :        10ºC / 분

열전대

k 타입, 열전대 헤드가   아래에서 질화 알루미늄 샘플 홀더

온도 조절기

  • 온도 조절기        포함되어 있습니다.
  • 비례 적분 파생        제어 (pid control) 및 자동 튜닝 기능
  • 30 세그먼트 프로그래밍        램핑, 냉각 및 거주 단계
  • 내장        과열 경보 및 열전대 고장 경보
  • +/- 1 ℃ 온도        제어 정확도
  • 기본 db9 pc        통신 포트
  • 인증을 만났다

온도 조절기 (옵션)

  • mts02-y 온도        제어 소프트웨어 키트 (yd518p 시리즈 컨트롤러 용) + 15 "랩탑        옵션 막대에서 패키지를 사용할 수 있습니다.
  • 당신은 업그레이드 할 수 있습니다        온도 컨트롤러 eurotherm 3504        온도 조절기 어느        labview와 완벽하게 호환됩니다. 이 패키지는        eurotherm 3504 프로그래머, 통신 케이블 (RS485-USB) 및        소프트웨어 CD. eurotherm 3504의 전체 사양을 보려면 아래 그림을 클릭하십시오.        온도 조절기.

석영 관 및 샘플 홀더

  • 쿼트 튜브 크기 : 4.33 인치 o.d x        4.05 "i.d x 16.2"길이 . 하나 3 "직경 aln        샘플 홀더 최대 3 "직경의 시료를 어닐링        포함되어 있습니다. aln은 매우 높은 열 전도성을 제공하여        샘플 영역에서 최고의 온도 균일 성.
  • 선택 과목: 3 인치 두께의 두꺼운 흑연        기판 AIN 플레이트의 대안으로 사용될 수 있습니다.        (주문하려면 아래 그림 3을 클릭하십시오)
  • 선택 과목: 흑연 도가니 : 87        뚜껑이있는 mm od x 71 mm id x 12 mm 높이 위해 설계되었습니다        3 "견본 홀더는 또한 일 수 있습니다 로 수정 rte,        CSS 또는 hpcvd 퍼니스 흑연 도가니로 코팅 된 것        sic.
  • 샘플 홀더는        다른 목적으로 rtp 퍼니스를 사용하기 위해 플랜지에서 분리 가능.

진공 플랜지

  • KF-D25 고진공        플랜지는 이중 고온으로 스테인레스 스틸로 만들어졌습니다. 실리콘 O- 링,        니들 밸브 및 수냉식 재킷.
  • 물만 필요        온도 & gt; 600 영형 씨.
  • 순환 수 비율 :        0.5m / 시간
  • 슬라이드 아웃 플랜지        시료를 쉽게 로딩, 언 로딩 및 기타 언로드하는 방법을 제공합니다.        특정 프로세스가 필요합니다.
  • 삽입 가능        정확한 측정을위한 열전대.

진공 펌프 (옵션)

  • EQ-FYP 진공 펌프는        이 퍼니스에 권장됩니다. 이것의 궁극적 인 진공 압력        체계는 10 ^ -3 torr 일 수 있습니다. 진공 벨로우즈 및 클램프가 포함되어 있습니다        꾸러미. eq-fyp 진공 펌프의 사양을 보려면 여기를 클릭하십시오.

수냉식 (옵션)

  • 냉각수는        필요합니다.
  • 확인 해주세요        냉각수의 유량은 ≥ 10l / min, 수온입니다. & lt;        25 ℃; 압력 & gt; 25 psi.
  • 우리는 사용하는 것이 좋습니다        EQ-KK5000 시리즈 재순환 물 냉각기 로        냉각 시스템 (관련 제품에서 별도로 주문하십시오)        아래) 물을 절약하십시오.
  • 경고 :이 rtp        퍼니스의 최대 체류 시간은 600 초 미만이어야합니다.        수돗물로 1000ºC ~ 1100ºC, 그렇지 않으면 O- 링이 녹을 수 있습니다.

유량계

하나의 유량계가 전면 패널에 설치되어   16-160 ml / 분의 가스 유량 조정

진공 게이지

측정 범위가있는 디지털 진공 게이지   10에서 -4 퍼니스에 1000 torr가 설치됩니다.

진공 압력 및 가스 피팅

  • 압력은 도달 할 수 있습니다        KF25 어댑터와 함께 기계식 진공 펌프를 사용하여 50mtorr
  • 압력은 10에 도달 할 수 있습니다 -4 토르        kf25 어댑터가있는 분자 펌프에 의한 것

치수

  • 플랜지 닫힘 :        760mm (l) x 330mm (w) x 530mm (h) / 플랜지 열림 : 1200mm (l) x 330mm (w)        x 530mm (h)

순중량

70kg (150 파운드)

보증

평생 보증 기간 1 년   지지대 (가공 튜브, O- 링 및 할로겐과 같은 소모품)   램프에는 보증이 적용되지 않으므로 주문하십시오   아래 관련 제품의 교체).

노트북, 소프트웨어 및 와이파이 제어 (옵션)

  • 새로운 노트북        Microsoft Windows 10 및 Microsoft Office 2013 (30 일 무료 평가판)        즉시 사용하십시오.
  • 랩뷰 기반        온도 제어 시스템) 사용자가 편집 할 수 있습니다        온도 프로파일, 열처리 레시피 관리, 기록 및 플롯 데이터        mti 용광로 용.
  • 무선 리모컨        제어는 최대 300 미터 작동 범위를 제공합니다.
  • 위의 기능은        추가 비용 (최대 $ 1,000)으로 요청시 제공됩니다. 연락주세요        자세한 내용은 저희에게 문의하십시오.
  • 노트:
    이 소프트웨어는 mti의 yudian 과만 호환됩니다        온도 조절기
응낙 옵션 막대에서 인증서를 선택하십시오 :
ce 인증서 및 UL / CSA 준비 : CE 승인, UL / CSA 인증 통과 준비
ul certircate-ul apprval (ul 61010), 추가 비용
선택 과목
  • rtp 퍼니스를 진공 퍼니스 또는 cvd 시스템으로서 고진공 스테이션 또는 가스 정유 시스템과 결합 할 수 있습니다. 자세한 내용을 보려면 아래 그림을 클릭하십시오
  • 빠른 냉각 속도 (<10ºc / 초)를 달성하기 위해 슬라이딩 레일이있는 rtp 퍼니스를 선택할 수 있습니다. 자세한 내용을 보려면 아래 그림을 클릭하십시오.

  • 압력 제어 모듈을 주문할 수 있습니다.

어플리케이션 노트

  • 튜브로        석영 튜브는 진공 및 저압에서 사용하도록 설계되었습니다        & lt; 0.2 bar / 3 psi / 0.02 mpa. 진공 압력은        1000 ° C까지 안전하게 사용 가스의 유량을 제한해야합니다        튜브에 대한 열 충격을 줄이기 위해 <200 sccm (또는 200ml / min)
  • 주의 : 2 단계        압력 조절기는 가스 실린더에 설치해야합니다.        안전한 작동을 위해 3psi 미만의 압력. 이 용광로는 또한 할 수 있습니다        있다 로 수정 rte, css 또는 hpcvd 퍼니스 흑연으로        도가니로 코팅 된 도가니 (세부 그림을 클릭하여 자세한 설정 방법        diy에 의한 rte 처리)
  • cvd 후, 그래 핀        금속 촉매에서 다른 기질로 옮겨 져야한다.        대부분의 응용 프로그램. 사용하여 그래 핀 전이        줄자 잔류 물이 적을 수 있습니다.

RTP Furnace


1. 우리는 기계를 공급 배터리 기술 지원.

2. 우리는 공급 전 세트 리튬 배터리 장비 실험실 연구, 파일럿 규모 연구 및 생산 린 이자형.


 Vacuum Tube Furnace


1 표준 수출 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장.

2 배송 익스프레스, 공기, 바다 고객의 요구 사항에 따라 가장 적합한.

3 운송 과정에서 손상에 대한 책임은 무료로 손상 부분을 변경합니다.