용광로 구조

단일 가열 영역

• 고순도 al2o3 절연        챔버는 우수한 온도 균일 성을 보장합니다.
• 냉각 팬은        효율적인 환기를 위해 퍼니스의 바닥.
• 슬라이딩 플랜지 어셈블리가 만들어 짐        스테인레스 스틸.
• 이중 석영 관 : 100mm        디아. 외부 튜브 및 직경 80mm에 매달려 있습니다. 내부        튜브. 금속 호일 (그래 핀        성장 기질)는을위한 관 표면 안쪽으로 감싸 질 것입니다        cvd 반응
• 가열 영역 길이 : 440mm
  항온 가열 구역 길이 : 120 (± 1 ° c) @ 400 ~ 1100 ° c

• 고순도 al2o3 절연        챔버는 우수한 온도 균일 성을 보장합니다.
• 냉각 팬이        효율적인 환기를 위해 퍼니스 바닥.
• 최대 온도 : 1200 ° C        연속 온도 : 1100 ° C
• 2 개의 가열 구역 제어        갈라져:

이중 방향 슬라이딩 레일   퍼니스가 부드럽게 움직입니다.

• 200mm        각 가열 ​​영역의 길이, 총 가열 길이 400mm
• 250mm        두 구역이 같은 온도에서 가열되는 경우 항온 구역
• 최대 500oc        두 구역 사이에 열 블록을 배치 할 경우 온도 차이

힘

단일 가열 영역
힘 : 208-240vac, 50 / 60hz, 단일 위상, 2.5kw (20a 차단기   필수)

이중 가열 영역
힘:   208-240VAC, 50 / 60Hz, 단상, 4kw (50a 차단기   필수)
10   없는 발 전원 케이블 플러그 (질문   플러그를 사용할 수있는인가 된 전기 기술자)

가열 온도

• 최대 온도 : 1100 ° C
• 연속 온도 : 1000 ° c

가열 및 냉각   율

최대 가열 및 냉각   속도는 작동 온도에 따라 다릅니다. 아래 표를 클릭하십시오   최대 참조 가열 및 냉각 속도는 온도에 따라 다릅니다   범위.
(작업시 온도 및 가열 냉각 속도를 교정해야합니다.   사용 전 상태)
가열 플롯 냉각 플롯

용융 석영 관

• 고순도 석영 관 :

진공 밀봉 플랜지 2 쌍   수냉식 자켓 및 스테인레스 스틸 니들 밸브

• 외부 튜브 eq-qztube-101d-1400 : od : 4 "x id :        3.8 "x 55"길이 (od 100 x id 96 x 1400 mm)
• 내부        튜브 eq-qztube-80d-1800 : od : 3.15 : x id x 2.95 "x 70.8"        길이 (od 80 x id 75 x 1800 mm)

진공 플랜지

DVD 성장을 유도하기 위해 듀얼 튜브를 사용하는 것 금속 호일 (주위   내부 튜브 표면) :

• 1-1. 아래에 표시된 한 쌍의        외부 튜브와 사이 공간을 모두 밀봉하는 ss304 플랜지        외부 튜브와 튜브 내부 (이 공간은        반응 챔버).
• 왼쪽 플랜지 : 미늘 피팅         가스 흡입구로 니들 밸브가있는 것, 측정 범위가 10 ^ -4 인 디지털 진공 게이지         1000 토르 ,         물 냉각 입구 / 출구 포함
• 오른쪽 플랜지 : 직각         kf25 플랜지 피팅이있는 밸브, 진공 해제 니들 밸브, 물         냉각 입구 / 출구 포함

• 1-2.        가스 냉각을 위해 내부 튜브의 양쪽 끝을 열어 두십시오.
• 

최고의 진공   압력 : 10 ^ -2 torr (기계식 펌프 사용)
10 ^ -5 torr (터보 분자 펌프로)

온도 조절기

• pid 자동 제어        가열 속도를 정확하게 제어하기위한 30 개의 프로그래밍 가능 세그먼트        냉각 속도와 체류 시간.
• 내장 과열 경보        보호 기능은 어떤 교환 원 없이도 작동 할 수 있습니다.
• 위에        온도 보호 및 경보로        교환 원없이 작업.
• +/- 1 ℃ 온도 정확도.
• RS485 통신 포트.
• 고급 온도         제어 (선택 과목)
• mts02-y 온도         제어 소프트웨어 키트 (yd518p 시리즈 컨트롤러 용) + 15 "랩탑         옵션 막대에서 패키지를 사용할 수 있습니다. 당신은 업그레이드 할 수 있습니다         온도 컨트롤러 유로 열         3504 온도 컨트롤러 그것은 완전히 호환됩니다         랩뷰. 이 패키지에는 eurotherm 3504 프로그래머,         통신 케이블 (rs485-usb) 및 소프트웨어 CD. 사진을 클릭         eurotherm 3504 온도 컨트롤러의 전체 사양을 보려면 아래를 참조하십시오.
• 

질량 유량계 및 가스 혼합 스테이션

• 4 정밀 질량 유량        디지털 디스플레이 및 조절 노브가있는 컨트롤러 (FCC)        가스 유량을 제어하기 위해 왼쪽 하단 케이스에 설치 :
• 4 개의 가스 채널        더 필요한 경우 판매)
• mfc         1 : 0 ~ 100 sccm의 제어 범위
• mfc         2 : 0 ~ 200 sccm의 제어 범위
• mfc         3 : 0 ~ 200 sccm의 제어 범위
• mfc         4 : 0 ~ 500 sccm의 제어 범위
• 유속 정확도 : ± 1 %        fs
• 가스 입구 및 출구 : 1/4 "        swagelok 튜브 커넥터
• 하나의 80ml 가스 혼합 탱크는        하단 케이스에 설치
• 각 가스 채널에는        손쉬운 온 / 오프를위한 스테인리스 스틸 니들 밸브
• 유량은 조절 가능        mfc 패널에서

진공 펌프장   밸브

선택적인 1 :

물 냉각 기능

• 수냉식 플랜지 필요        & gt; = 10l / m 물 흐름.
• 수돗물을        냉각수를 재순환하는 것이 좋습니다.        환경을 고려한 냉각기. 아래의 엄지 손가락을 클릭하십시오        추가 비용으로 물 냉각기를 주문하십시오.

옵션 부품 (건물   단일 튜브 퍼니스 위로)

치수

배송

• 배송 중량 : ~ 800 lb
• 세화물 운송        팔레트
• 상자 요금이 적용됩니다

보증

1 년 제한   제조업체 보증 (가공 튜브, O- 링과 같은 소모품,   가열 요소에는 보증이 적용되지 않습니다.   아래 관련 제품에서 교체 주문).

노트북, 소프트웨어 및   와이파이 제어 (옵션)

• Microsoft와 함께 새로운 노트북        Windows 10 및 Microsoft Office 2013 (30 일 무료 평가판)        사용하다.
• 랩뷰 기반 온도        제어 시스템 사용자가 편집 할 수 있습니다        온도 프로파일, 열처리 레시피 관리, 기록 및 플롯 데이터        mti 용광로 용.
• 무선 리모콘        최대 300 미터 작동 범위를 제공합니다.
• 위의 기능을 사용할 수 있습니다        추가 비용 (최대 $ 1,000)으로 요청시. 더 문의하시기 바랍니다        정보.

· 노트:
이 소프트웨어는 mti의 yudian 온도와 만 호환됩니다   제어 장치

응낙

어플리케이션 노트

• 석영 관이있는 관상로 설계        진공 및 저압에서 사용하기위한 & lt; 0.2 바 / 3 psi /        0.02 mpa
• 주의 : ㅏ        가스 실린더에 2 단계 압력 조절기를 설치해야합니다.        안전한 작동을 위해 압력을 3psi 미만으로 제한하십시오.
• 흐름        가스 속도는 & lt; 200 sccm (또는 200        튜브에 대한 열 충격을 줄이기위한 ml / min)
• 모든 석영 관에 대한 진공 한계 정의        용광로 : * 진공 압력은 최대 1000 ° C까지 안전하게 사용할 수 있습니다.
• 여기를 클릭하십시오        배우다 설정 방법        mti 튜브 퍼니스 용 석영 / 세라믹 튜브 및 진공 플랜지 .
• 하나의 슬라이드        퍼니스의 위치를 ​​유지하기 위해 정지 클램프가 포함됩니다.

• 후        cvd, 그래 핀은 금속 촉매에서 다른 것으로 옮겨 져야한다        대부분의 응용 분야에서 인쇄물. 사용하여 그래 핀        전사 테이프에 잔류 물이 적을 수 있습니다.
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