제품
Slliding Furnace

듀얼 튜브 (100 / 80mm)-DVD 슬라이딩 퍼니스 및 4 채널 가스 및 진공 시스템

  • Model Number:

    TMAX-1200X-4-C4-SL-U
  • 지불:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
제품 세부 사항

듀얼 튜브 (100/80 mm)-DVD 슬라이딩 퍼니스 및 4 채널 가스 및 진공 시스템


tmax-1200x-4-c4-sl-ul 이다 박막 코팅을 위해 설계된 특수 이중 튜브 DVD 시스템 금속 호일, 특히 유연한 전극을 준비하기위한 것 차세대 에너지 연구에 금속 호일. 빠른 가열 퍼니스를 슬라이딩함으로써 냉각이 달성 될 수있다. 작업을 참조하십시오 퍼니스의 작동을 확인하기위한 지침 섹션 :

  • 이중 석영 관 : 직경 100mm. 외부 튜브 및 80에 의해 중단      mm 직경 내부 튜브. 금속 호일 (그래 핀 성장      기질)는을위한 관 표면 안쪽으로 감싸 질 것입니다      cvd 반응.
  • 진공 밀봉 플랜지      이중 튜브의 경우 반응 가스가 두 튜브 사이로 흐를 수 있습니다 (      10mm 공간) 및 냉각을 위해 튜브 내부의 불활성 가스 흐름.
  • 4 개의 가스 채널      4 개의 개별 디지털 mfc로 제어
  • 진공 펌프는      플러그 앤 플레이를위한 kf25 어댑터 및 파이프에 포함
  • 슬라이딩 레일      싱글 존 퍼니스의 바닥에 설치되어 신속하게      가열로 또는 냉각로를 한쪽에서 다른쪽으로 밀어 냄.
  • 하나의 슬라이드 중지      퍼니스의 위치를 ​​유지하기위한 클램프가 포함되어 있습니다.

가열 영역과 진공 시스템 모두 선택 가능 : 단일 또는 이중 가열 존; 고속 오일리스 건식 진공 펌프-VBS-M1 또는 2 단계 기계식 펌프-VBS-ACP15.

명세서:

용광로 구조

단일 가열 영역

  • 고순도 al2o3 절연        챔버는 우수한 온도 균일 성을 보장합니다.
  • 냉각 팬은        효율적인 환기를 위해 퍼니스의 바닥.
  • 슬라이딩 플랜지 어셈블리가 만들어 짐        스테인레스 스틸.
  • 이중 석영 관 : 100mm        디아. 외부 튜브 및 직경 80mm에 매달려 있습니다. 내부        튜브. 금속 호일 (그래 핀        성장 기질)는을위한 관 표면 안쪽으로 감싸 질 것입니다        cvd 반응
  • 가열 영역 길이 : 440mm
    항온 가열 구역 길이 : 120 (± 1 ° c) @ 400 ~ 1100 ° c

이중 가열 영역

  • 고순도 al2o3 절연        챔버는 우수한 온도 균일 성을 보장합니다.
  • 냉각 팬이        효율적인 환기를 위해 퍼니스 바닥.
  • 최대 온도 : 1200 ° C        연속 온도 : 1100 ° C
  • 2 개의 가열 구역 제어        갈라져:

이중 방향 슬라이딩 레일   퍼니스가 부드럽게 움직입니다.

  • 200mm        각 가열 ​​영역의 길이, 총 가열 길이 400mm
  • 250mm        두 구역이 같은 온도에서 가열되는 경우 항온 구역
  • 최대 500oc        두 구역 사이에 열 블록을 배치 할 경우 온도 차이

단일 가열 영역
힘 : 208-240vac, 50 / 60hz, 단일 위상, 2.5kw (20a 차단기   필수)

이중 가열 영역
힘:   208-240VAC, 50 / 60Hz, 단상, 4kw (50a 차단기   필수)
10   없는 발 전원 케이블 플러그 (질문   플러그를 사용할 수있는인가 된 전기 기술자)

가열 온도

  • 최대 온도 : 1100 ° C
  • 연속 온도 : 1000 ° c

가열 및 냉각   율

최대 가열 및 냉각   속도는 작동 온도에 따라 다릅니다. 아래 표를 클릭하십시오   최대 참조 가열 및 냉각 속도는 온도에 따라 다릅니다   범위.
(작업시 온도 및 가열 냉각 속도를 교정해야합니다.   사용 전 상태)
가열 플롯 냉각 플롯

용융 석영 관

  • 고순도 석영 관 :

진공 밀봉 플랜지 2 쌍   수냉식 자켓 및 스테인레스 스틸 니들 밸브

  • 외부 튜브 eq-qztube-101d-1400 : od : 4 "x id :        3.8 "x 55"길이 (od 100 x id 96 x 1400 mm)
  • 내부        튜브 eq-qztube-80d-1800 : od : 3.15 : x id x 2.95 "x 70.8"        길이 (od 80 x id 75 x 1800 mm)


진공 플랜지

DVD 성장을 유도하기 위해 듀얼 튜브를 사용하는 것 금속 호일 (주위   내부 튜브 표면) :

  • 1-1. 아래에 표시된 한 쌍의        외부 튜브와 사이 공간을 모두 밀봉하는 ss304 플랜지        외부 튜브와 튜브 내부 (이 공간은        반응 챔버).
    • 왼쪽 플랜지 : 미늘 피팅         가스 흡입구로 니들 밸브가있는 것, 측정 범위가 10 ^ -4 인 디지털 진공 게이지         1000 토르 ,         물 냉각 입구 / 출구 포함
    • 오른쪽 플랜지 : 직각         kf25 플랜지 피팅이있는 밸브, 진공 해제 니들 밸브, 물         냉각 입구 / 출구 포함

  • 1-2.        가스 냉각을 위해 내부 튜브의 양쪽 끝을 열어 두십시오.

최고의 진공   압력 : 10 ^ -2 torr (기계식 펌프 사용)
10 ^ -5 torr (터보 분자 펌프로)


온도 조절기

  • pid 자동 제어        가열 속도를 정확하게 제어하기위한 30 개의 프로그래밍 가능 세그먼트        냉각 속도와 체류 시간.
  • 내장 과열 경보        보호 기능은 어떤 교환 원 없이도 작동 할 수 있습니다.
  • 위에        온도 보호 및 경보로        교환 원없이 작업.
  • +/- 1 ℃ 온도 정확도.
  • RS485 통신 포트.
    • 고급 온도         제어 (선택 과목)
    • mts02-y 온도         제어 소프트웨어 키트 (yd518p 시리즈 컨트롤러 용) + 15 "랩탑         옵션 막대에서 패키지를 사용할 수 있습니다. 당신은 업그레이드 할 수 있습니다         온도 컨트롤러 유로 열         3504 온도 컨트롤러 그것은 완전히 호환됩니다         랩뷰. 이 패키지에는 eurotherm 3504 프로그래머,         통신 케이블 (rs485-usb) 및 소프트웨어 CD. 사진을 클릭         eurotherm 3504 온도 컨트롤러의 전체 사양을 보려면 아래를 참조하십시오.


질량 유량계 및 가스 혼합 스테이션

  • 4 정밀 질량 유량        디지털 디스플레이 및 조절 노브가있는 컨트롤러 (FCC)        가스 유량을 제어하기 위해 왼쪽 하단 케이스에 설치 :
  • 4 개의 가스 채널        더 필요한 경우 판매)
    • mfc         1 : 0 ~ 100 sccm의 제어 범위
    • mfc         2 : 0 ~ 200 sccm의 제어 범위
    • mfc         3 : 0 ~ 200 sccm의 제어 범위
    • mfc         4 : 0 ~ 500 sccm의 제어 범위
  • 유속 정확도 : ± 1 %        fs
  • 가스 입구 및 출구 : 1/4 "        swagelok 튜브 커넥터
  • 하나의 80ml 가스 혼합 탱크는        하단 케이스에 설치
  • 각 가스 채널에는        손쉬운 온 / 오프를위한 스테인리스 스틸 니들 밸브
  • 유량은 조절 가능        mfc 패널에서

진공 펌프장   밸브

선택적인 1 :

  • 파이퍼        고속 (226l / min) 오일리스 건식 진공 펌프, 10e-3 torr 제한 이다        헤비 듀티 모바일 카트 안에 설치. 사진을 클릭하십시오        자세한 내용은 아래를 참조하십시오.
  • kfd25        어댑터 스테인리스        쇠 파이프 아르        펌프와 튜브 플랜지 사이를 정밀하게 연결 공        판막 .
  • 10e-2 torr 진공은 할 수 있습니다        가공 튜브 내부에서 달성
  • 디지털        진공 게이지 (만든        왼쪽 플랜지에 설치되어 있습니다.
  • (선택 사항) 더 높은 진공        10 ^ -5 torr 수준, 모바일 아래 주문하십시오 터보        펌프 .

선택적인 2 :

  • 헤비 듀티 더블 스텝 로터리 베인        배기 필터 및 진공 펌프 kf-d25 인 레트 설치        헤비 듀티 모바일 카트 안에. 자세한 내용은 아래 그림을 클릭하십시오        세부.
  • 6.7x10 -4 mbar        처리 튜브 내부에서 진공을 달성 할 수 있습니다.
  • 디지털        진공 게이지 (만든        왼쪽 플랜지에 설치되어 있습니다. 를 클릭하십시오        자세한 내용은 아래 두 번째 사진
  • 더 높은 진공 수준        10 ^ -5 torr, 아래 모바일 주문하십시오 터보 펌프 추가 비용으로 :

물 냉각 기능

플랜지의 수냉은 주로 O 링을 냉각시키기위한 것입니다.   고온에서 가장 밀봉 된 챔버를 보장하기 위해 플랜지 내부 :

  • 수냉식 플랜지 필요        & gt; = 10l / m 물 흐름.
  • 수돗물을        냉각수를 재순환하는 것이 좋습니다.        환경을 고려한 냉각기. 아래의 엄지 손가락을 클릭하십시오        추가 비용으로 물 냉각기를 주문하십시오.

옵션 부품 (건물   단일 튜브 퍼니스 위로)

당신은 80mm를 구축 할 수 있습니다   디아. 여분의 밀봉 플랜지를 주문하여 단일 튜브 반응 챔버   내부 튜브에 설치하십시오.

  • 왼쪽 플랜지 : 미늘 피팅        니들 밸브와 가스 흡입구 및 1/4 ''피드 스루 피팅        고객이 측정 센서를 삽입
  • 우측 플랜지 : kf25 피팅        기계식 게이지 및 진공 해제 밸브

치수

  • 용광로 : 550 x        380 x 520mm
  • 하단 모바일 케이스 x 2 : 600 x        600 x 600mm (하나는 가스 혼합 스테이션 용이고 다른 하나는 진공 펌프 용)

배송

  • 배송 중량 : ~ 800 lb
  • 세화물 운송        팔레트
  • 상자 요금이 적용됩니다

보증

1 년 제한   제조업체 보증 (가공 튜브, O- 링과 같은 소모품,   가열 요소에는 보증이 적용되지 않습니다.   아래 관련 제품에서 교체 주문).

노트북, 소프트웨어 및   와이파이 제어 (옵션)

  • Microsoft와 함께 새로운 노트북        Windows 10 및 Microsoft Office 2013 (30 일 무료 평가판)        사용하다.
  • 랩뷰 기반 온도        제어 시스템 사용자가 편집 할 수 있습니다        온도 프로파일, 열처리 레시피 관리, 기록 및 플롯 데이터        mti 용광로 용.
  • 무선 리모콘        최대 300 미터 작동 범위를 제공합니다.
  • 위의 기능을 사용할 수 있습니다        추가 비용 (최대 $ 1,000)으로 요청시. 더 문의하시기 바랍니다        정보.

· 노트:
이 소프트웨어는 mti의 yudian 온도와 만 호환됩니다   제어 장치

응낙

  • ce        인증
  • 모두        전기 부품 (> 24V)은 UL / MET / CSA 인증
  • 그만큼        퍼니스는 tuv (ul61010) 또는 csa 인증을 통과 할 준비가되었습니다.        추가 비용.

어플리케이션 노트

  • 석영 관이있는 관상로 설계        진공 및 저압에서 사용하기위한 & lt; 0.2 바 / 3 psi /        0.02 mpa
  • 주의 : ㅏ        가스 실린더에 2 단계 압력 조절기를 설치해야합니다.        안전한 작동을 위해 압력을 3psi 미만으로 제한하십시오.
  • 흐름        가스 속도는 & lt; 200 sccm (또는 200        튜브에 대한 열 충격을 줄이기위한 ml / min)
  • 모든 석영 관에 대한 진공 한계 정의        용광로 : * 진공 압력은 최대 1000 ° C까지 안전하게 사용할 수 있습니다.
  • 여기를 클릭하십시오        배우다 설정 방법        mti 튜브 퍼니스 용 석영 / 세라믹 튜브 및 진공 플랜지 .
  • 하나의 슬라이드        퍼니스의 위치를 ​​유지하기 위해 정지 클램프가 포함됩니다.

  • 후        cvd, 그래 핀은 금속 촉매에서 다른 것으로 옮겨 져야한다        대부분의 응용 분야에서 인쇄물. 사용하여 그래 핀        전사 테이프에 잔류 물이 적을 수 있습니다.

경고

  • 빠른 샘플        가열 챔버를 밀어서 냉각시킬 수 있습니다. 입어주세요        내열 슈트 등의 보호 기어 당신이 의도하는 경우 장갑        그렇게하기 위해.
  • 만지지 마십시오        튜브 표면이 뜨거울 때!

CVD Sliding Furnace


1. 우리는 기계를 공급 배터리 기술 지원.

2. 우리는 공급 전 세트 리튬 배터리 장비 실험실 연구, 파일럿 규모 연구 및 생산 린 이자형.


 Vacuum Tube Furnace


1 표준 수출 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장.

2 배송 익스프레스, 공기, 바다 고객의 요구 사항에 따라 가장 적합한.

3 운송 과정에서 손상에 대한 책임은 무료로 손상 부분을 변경합니다.