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가스 혼합 및 펌핑 시스템을 갖춘 1700 ° C DVD 튜브 퍼니스
가스 혼합 및 & amp; 펌핑 시스템
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1200 ° C 듀얼 존 DVD 튜브 퍼니스
1200 ° C 듀얼 존 DVD 튜브 퍼니스
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고진공 스테이션 (1.0E-5 Torr) + 4 채널 MFC 주유소가있는 1200C 3 구역 DVD 튜브 용광로
tmax-otf-1200x 시리즈 퍼니스 워크 스테이션은 3 존 튜브 퍼니스, 정밀 질량 유량 가스 제어 스테이션, 고진공 스테이션 및 기타 조립 부품으로 구성됩니다. 최대 이 워크 스테이션의 작동 온도는 1200 ° C입니다.
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DVD 퍼니스를 미끄러지는 1200 ℃ 이중 지역
DVD 퍼니스를 미끄러지는 1200 ℃ 이중 지역
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3 온도 영역 150 mm od pecvd 퍼니스
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3 온도 구역 슬라이딩 pecvd 튜브 용광로
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소형 단일 온도 영역 슬라이딩 pecvd 튜브로
소형 단일 온도 영역 슬라이딩 pecvd 튜브로
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질량 흐름 제어 시스템 및 진공 시스템을 갖춘 1200°C 이중 구역 CVD 튜브 전기로
1200°C 이중 구역 CVD 튜브 전기로