질량 흐름 제어 시스템이 있는 1200°C 이중 구역 CVD 튜브 퍼니스 & 진공 시스템

이것은 우리 제품에 대한 비디오 링크입니다.

https://www.youtube.com/watch?v=FzLjvMXq1pY&t=37s

진공 상태 및 차폐 가스 보호 하에서 CVD, 확산 및 기타 열 처리와 같은 실험에 적합합니다. 퍼니스에는 2채널 디지털 LED 디스플레이 매스 흐름 가스 제어 스테이션이 함께 제공됩니다.

1. 관상로

상세한 기술적인 매개변수 에스

모델	TL1200-1200-I	TL1200-1200-II	TL1200-1200-III	TL1200-1200-IV
힘	3.6KW	3.6KW	3.6KW	5.2KW
튜브 크기 （ 외경 ） (mm)	Dia60 （ 외경 ） X1000mm	디아80 （ 외경 ） X1000mm	디아100 （ 외경 ） X1000mm	Dia150 （ 외경 ） X1000mm
치수	1140X460X695	1140X460X695	1140X460X695	1110X530X647
전원 전압	220V
단계	단상
발열체	저항선 수입 스웨덴 Kanthal A1 제품(저항선 2년 보증)
온도 제어	UAV 프로그램 온도 제어 기기(표준) 1, 30단계 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 와 함께 과열 보호, 그만큼 전기 같은 노 난방 회로 ~이다 자동으로 자르다 끄다 언제 그만큼 온도 과열되거나 파손된 경우( 전기로 온도가 1200도를 초과하거나 열전대가 끊어지면 주 회로의 AC 릴레이가 자동으로 분리됩니다. 주 회로가 고장났습니다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시등이 꺼지고 꺼짐 표시등이 켜져 있고 제한된 보호 전기 노).

	3, 485 통신 인터페이스(소프트웨어 구매 시 기본 제공) 4, 전원 차단 보호 기능, 즉 전원이 전원이 꺼진 후 프로그램이 켜지면 프로그램이 처음부터 시작되지 않습니다. 시작 온도, 그러나 퍼니스 온도는 시간부터 상승합니다. 정전. 5, 미터는 온도 자가 조정 기능
용광로 재료	1. 고품질 진공 성형 고순도 알루미나 다결정 섬유 경화로 흡입관 여과법. 2. 에 의해 형성 일본어 기술. 삼. 간격과 용광로의 저항선 피치는 모두 다음에 따라 배열됩니다. 일본 최고의 열 기술, 온도 필드 시뮬레이션 열에 의해 소프트웨어.
밸브 및 플랜지

60/80/100 평면도
제어 정확도	+/- 1 ℃
방아쇠	위상 이동 트리거
전기 제품	Zhejiang chint
실리콘 제어	106/16E 독일 시멘강
1차와 2차 최고온도 온도 구역	1200 ℃
정격 온도 안에 첫 번째와 두번째 온도 구역	1100 ℃
가열 섹션의 길이 첫 번째 온도 존	205mm
두 번째 가열 섹션의 길이 온도대	205mm
의 길이 끊임없는 첫 번째 온도의 온도 섹션	80mm

존
상수 길이 두 번째 온도 섹션 온도 존	80mm
가열 속도	≤30 ℃ / Min (필요에 따라 수정 가능)
온도장 곡선
추천 비율 온도 증가	≤15 ℃ / 분
열전대 유형	케이 유형
일정한 온도 길이	150mm
주변기기 표면 온도	≤45 ℃
오픈 커버 보호 체계	언제 용광로 덮개가 열리면 릴레이가 자동으로 메인을 차단합니다. 전원 공급 장치, 효과적으로 보장 안전 사용자의

2. 가스 공급 시스템

가스 공급 시스템 소개:

(1) (혼합) 가스 시스템의 구성 요소:

a) 플로트 흐름 미터 또는 양성자 유량계

b) 압력 계량기

c) 컷오프 판막

d) 인터페이스 판자

e) 밸브 커넥터

f) 실린더 커넥터

g) 테플론 튜브(가스 공급 또는 혼합 시스템 스테이션과 가스 실린더용 연결 파이프 연결 파이프)

h) 혼합 가스 탱크

i) 스테인리스 강관(가스 공급 또는 혼합 제어 시스템 스테이션용 연결관)

j) 커버

주요 기술 데이터

아니	안건	D08-2E
1	산출 힘	+15V±5% 300mA -15V±5% 600mA
2	참조 원천	+5.00V±0.1% 5mA
삼	힘 공급	~220V/~110±10% 50/60Hz
4	최고 힘	25W
5	입력 및 출력 신호	0~+5V
6	치수	기준 치수 ：（ 440X100X220 ） mm 최고 치수 ：（ 440X114X278 ） mm
7	무게	4.2kg
8	제어 채널 그림 및 디스플레이 기능	2 MFC/MFM 채널 및 디스플레이 모니터 2개

3. 진공 시스템

시스템(관로의 진공을 펌핑하여 0.6Pa)는 KF25 인터페이스가 있는 흡입 플랜지(자체 제작)로 구성되며, 진공배플방식, 저항진공게이지, 벨로우즈, 브라켓(국산), 진공 펌프 플랜지 배출구에 티 파이프를 연결하고 저항을 연결하십시오. 3방향 파이프 한쪽 끝에 실리콘, 고진공 플래퍼 밸브 연결 다른 쪽 끝에는 플래퍼 밸브와 진공 펌프를 Dia25의 주름을 잡고 연결 포트에는 KF25 퀵 클램프를 사용하십시오.

기술적인 매개변수:

* 분배 규정: ZJ-52T 저항 게이지

* 측정 범위: 10 5 ～ 10-1Pa

* 측정 횟수: 1 way

* 제어 채널 수: 2개 도로 확장 가능 4개 또는 8개 도로

* 제어 범위: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pa

* 제어 모드: 릴레이 접점 출력, 부하 용량 AC220V/3A(또는 DC28V/3A) 무유도 부하

* 전원: 90-260V/50Hz 또는 220V ± 10% 50Hz

* 소비 전력: 25W

* 무게: 4Kg/3Kg/0.5Kg(섀시에 따라 다름)

* 섀시 크기: 240 × 88 × 280 또는 265 × 119 × 280 또는 96 × 96 × 120

480 × 88 × 280 또는 480 × 119 × 280(너비 × 높이 × 깊이)

성능 특성:

*LED 녹색 화면 디지털 디스플레이.

* 다양한 별 조사

* 빠른 응답 속도

* 마이크로 컴퓨터 보정은 비선형성을 규제하고 측정 오류를 줄입니다.

* 광학적 절연, 디지털 필터링, 향상된 간섭 방지 능력.

* PVC 컬러 패널, 아름다운 외관.

* 포인트 제어 또는 영역 릴레이 제어 출력, 동안 세트 포인트에는 전원 차단 보호 메모리 기능이 있습니다.

FX-16 진공 펌프 채택

표준 패키지

부분 설명	수량	부품 이미지
TMAX-2-1200-C 쪼개지는 관로	1 세트
다채널 가스 공급 시스템	1 세트
진공 펌프 및 인클로저(옵션)	1 세트
석영 튜브	1개
비슷한 물건 유량계	1개
스테인리스 압력계가 있는 강철 진공 밀봉 플랜지	1 세트
스테인리스 스틸 후크	1개
알루미나 세라믹 열 블록	2쌍
열의 장갑	1쌍
높은 온도 알 2 영형 삼 알루미나 도가니	5개
여분의 퓨즈	2개
USB/RS485 컴퓨터 인터페이스 키트	1 세트