제품
Sliding PECVD Furnace

3 온도 구역 슬라이딩 pecvd 튜브 용광로

  • Model Number:

    TMAX-1200-1400-1200
  • :

    Xiamen
  • 지불:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
제품 세부 사항

3 온도 구역 슬라이딩 pecvd 튜브 용광로


tmax-1200-1400-1200 시스템은 tl1200 진공관로, 석영 진공 약실, rf 전력 공급으로 구성, gx 가스 공급 시스템, 펌핑 시스템 및 진공 측정 시스템.

주요 특징:

1. 가스 석영 진공 챔버는 rf 전원 공급 장치에 의해 이온 상태로 변경됩니다.

2. pecvd는 화학 기상 증착의 경우 일반 cvd보다 낮습니다.

3. 스트레스 증착 된 막은 rf 전력 공급의 주파수에 의해 제어 될 수있다.

4. pecvd는 높다 일반적인 cvd보다 증착 속도, 우수한 균일 성, 일관성 및 안정성.

5. 널리 사용되는 siox, sinx, sioxny 및 amorphous와 같은 다양한 필름의 성장 실리콘 (a-si : h) 등

tmax1200-1400-1200-h-pe 스웨덴 칸탈 저항 와이어 발열체에 시스템 기술, 이중 쉘 구조 및 30 프로그램 온도 제어 테이블 사용 다결정을 이용한 위상 변이 트리거, 사이리스터 제어, 퍼니스 반토 섬유 물자는의 양쪽 끝에 스테인리스 플랜지 물개 할 수 있습니다 퍼니스 튜브, 스테인레스 스틸 플랜지 설치에는 입구, 밸브 및 압력 게이지, 진공, 진공도는 10-3 pa, 저온 필드에 도달 할 수 있습니다 균형, 표면 온도, 리프트 온도 속도, 에너지 절약, 가격 양보 등

1. 스웨덴의 칸탈 a1 저항선

칸탈 A1 원래 와이어 중국어 저항 와이어 퍼니스 대   수입 저항 와이어 퍼니스

(1), 높은 표면 온도는 1420에 도달 할 수 있습니다

(2) 표면은 스테인리스 스틸 (매우 밝음, 고객 주의하십시오), 녹슬지 않으며 사용 시간이 떨어지지 않습니다. 슬래그에서.

(3) 칸탈 저항선의 데이터 다운로드

(4) 칸탈 저항 와이어 웹 사이트 : www.kanthal.com

(5) 저항이 균형을 이루고 온도 장이 똑같이 좋은

대부분의 제조업체는 Mo로 도핑 된 fe-cr-al 합금을 사용합니다. 저항 와이어

때로는 저항이 고르지 않고 열의 일부가 작습니다.                                           칸탈 a1 저항은 균일하고 열 균형이 잡히고 온도 필드가 양호합니다.                                                                                                                                                                       효과

2. 공기의 설치 스위치 및 누수 방지기 :

전류 또는 누수가 발생하면 빈 회의 자동으로 연결을 끊습니다.

삼. 컴퓨터와 연결할 수 있습니다

이 퍼니스는 통신 인터페이스를 갖추고 있으며 소프트웨어는 각각의 용광로 컴퓨터 제어를 통해 직접 할 수 있습니다 난로의 컴퓨터 pv와 sv에서 볼 수 있습니다. 온도 값 및 기기 작동, 실제 온도 로 곡선 그리기 컴퓨터 실시간으로 온도 데이터를 유지할 수 있습니다 매번, 언제든지 전화 할 수 있습니다

4.

(1 ) 고품질 고순도 알루미나 다결정 진공 흡입 및 필터 몰딩을 갖춘 섬유 경화로.

(2). 형성하기 위해 일본 기술을 채택하십시오.

(삼). 퍼니스 내 저항 와이어의 간격과 피치 일본 최고의 열 기술에 따라 배치되고 온도 필드는 열 소프트웨어로 시뮬레이션

(4). 4 주 사용 가열, 온도가 더 균형

5. 선택적 ul 인증 된 전기 보드 (모든 수입품의 UL 인증을 통해) 가전 ​​제품)

6. 방아쇠

소프트 스타트 전류 제한 트리거                           대부분의 제조업체는 비 제한적인 샤먼 보드 트리거를 사용합니다

1 상 시프트 트리거 (소프트 스타트 및 전류 제한 포함) 함수)

2. 가열 조절 방법에 관계없이 전류 제한 기능 변압기 2 차 전류 후 전기로 시간은 170a 이하의 장비 보호. 비 제한적 트리거 가열 속도가 잘못 설정되었거나 너무 빠릅니다. 낮은 전류 전류는 매우 장치가 트립되거나 타 버릴 수 있습니다.

3 소프트 스타트 기능으로 전류가 천천히 증가합니다. 발열체의 영향이 작은 전류는 발열체 수명 연장

4 전류가 한계를 초과하는 경우 보호 기능 현재 트리거는 자동으로 트리거 기능을 차단하여 차단합니다. 현재 보호로.

7. ul 공인 변압기

1 변압기 케이블이 순수 구리

2 변압기 소리가 작다

3 변압기 온도는 낮은

8. 다양한 플랜지를 선택하는 다양한 옵션 (직경 25에서 250mm까지)

모델

tmax-1200-1400-1200

6kw

튜브 크기

직경 60 (od) x2700mm

전원 전압

220 볼트

단계의 수

단상

발열체

스웨덴 canthal a1 저항 가져 오기   데이터 다운로드에 와이어 클릭

제어 모드

유 전기 프로그램 제어를 사용하여   온도계 (표준)
1. 30 프로그램 제어 온도 지능형 pid 조정.
2. 전기로의 가열 회로는 자동적으로 차단 될 수 있습니다   따뜻하거나 실수로 파손 된 경우. (퍼니스 때   온도가 1200도를 초과하거나 열전대가 고장 나면 AC 릴레이   주 회로에서 자동으로 연결이 끊어지고 주 회로가   파손, 패널의 표시등이 꺼져 있음   전기로.
3. 485 통신 인터페이스 (표준 및 표준 선택   소프트웨어)
4. 그것은 정전 보호의 기능, 즉 전원   꺼져 있으면 프로그램이 시작 온도에서 시작되지 않지만   전원이 꺼지면 퍼니스가 상승하기 시작합니다.
계기는 온도 각자 조정의 기능이 있습니다


(수입 된 장비를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다.)

FP93 온도 제어 테이블 유럽 악기          터치 스크린 기기

(시마 덴)

온도 제어 모드

pid

심지어 보호 및 디스플레이 고장

과열 보호

과전류 보호

제어 정밀도

+ /-1

방아쇠

위상 변이 트리거

가전 ​​제품

절강 Chint

실리콘 제어 정류기

106 / 16e West Gate, 독일

가장 높은 온도

온도 영역 1 : 1200 온도   지역 2 : 1200

정격 온도

온도 영역 1 : 1100 온도   지역 2 : 1100

가열 속도

20 / 분 이하   (요구 사항에 따라 수정 가능)

권장 가열 속도

10 / 분 이하

열전대의 모델

구역 1 : k 유형의 온도 범위   2 : K 타입

가열 길이

구역 1 : 200 mm의 온도 범위.   2 : 200 mm

전기 인증

ce

주변 표면 온도

45 이하

rf 전력 공급

(플라즈마 발생기)

전력 출력 범위

0-500w

최대 반사 전력

200 주

작동 주파수

rf : 13.56 백만 헤르쯔 플러스 또는 마이너스 0.005 %

전력 안정성

+ /-0.1 %

고조파 성분

-50 이하 dbc

rf 폭

0-600-mm 조정 가능

매칭 모드

자동적 인

냉각 모드

공기 감기

소음

& lt; 50 db

무선 주파수 인터페이스

50 Ω n-유형

입력 파워

208-240-v 50/60 헤르쯔

gx 가스 공급의 주요 매개 변수   체계

질량 유량계
표준 범위
양성자 유량 제어기 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm 사용,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(범위의 범위와 가스의 종류를 선택할 수 있습니다)
최대 작동 압력 3 mp
플러스 또는 마이너스 1.5 %의 정확도
압력 강하 & lt; 0.01mpa & lt; p = ""& gt;
반복 정확도 플러스 또는 마이너스 0.2 % f.s

channles :

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (선택 사항)

조인트 타입

이중 카세트 스테인리스   커넥터

시스템 작업 압력 범위

0.1 ~ 0.5 mpa

작동 온도

5-45

압력 진공 시계

0.1 ~ 0.15 mpa ~ 0.01 mpa / 케이스

정적 혼합 챔버

직경 50 x 400 mm

상호 작용

dia6 1/4 "

전원

220 볼트

크기

600 x600x600

골판지 파이프

kf25x1000mm

진공도는   이 시스템

10-1 PA

진공 배플 밸브

kf25

VRD ~ 8 진공 펌프

모델

vrd에서 8

분압 제한

5 x10-2 pa

입구 배기 인터페이스

kf25

모터 속도

1440 분당 회전 수

추출 속도

2.2 l / 초

모터 파워

0.4 킬로와트

perfeer acp1 오일 프리 멀티 스테이지   루츠 펌프 (계획 2)

모델

acp15

전력 공급

AC100 ~ 240V 50 / 60Hz

450 주

배기 인터페이스

kf25

무게

25 키로그램

최대 헬륨 누출 률은

5 · 10-8 pa m3 / s

극도의 진공도

0.02 torr

추출 속도는

14m3 / 시간

모델

zdr-1

25 개

진공도 측정 범위

0.1-10 5 개 pa

저항 실리콘

zj가 52 t에 가져간 것

스웨덴 (인피 콘) 피 라니 커패시턴스   진공 측정기 (옵션)

모델

pcg554

입력 전압

24v 1a dc (220v 장착)   변신 로봇)

진공 게이지 인터페이스

kf16

디지털 디스플레이

디지털 디스플레이 (화면 크기 20x14mm),   데이터 표시 단위가 torr 인

제품 크기

46mm x 28mm x 126mm (L x W x H)

의 무게

5 파운드

가스 감지

다양한 가스를 감지 할 수 있습니다   정확하고 반복 가능한 혼합 가스 포함.

부식 방지 여부

부식 방지

응답 시간

30ms 이하

측정 범위

3.8 x10-5-1125 torr.

분자 펌프 장치 (옵션)

단위 입력 전압

380 볼트 / 220 볼트

골판지 파이프

kf40x1000

진공 배플 밸브

kf40

케이스 크기

600 x600x600

분자 펌프

분자 펌프 모델

fj620

입력 전압

380 볼트

분자 펌프 입구 플랜지

dn160

분자 펌프 펌핑 속도 l / s   공기)

600

분자 펌프 한계 압력 (PA)

6 x 10-7

냉각 시스템

차가 워진 물

냉각수 압력 (mpa)

0.1에서 0.2

냉각수 온도

& lt; 25 & lt; p =   ""& gt;

환경 온도

0 ~ 40

제안 된 시작 압력

& lt; 100 pa & lt; p = ""& gt;

엔진 진공 펌프 RVP-6

0.75 킬로와트

전압

380 볼트

속도

1450 분당 회전 수

입구 직경

kf25 / kf40

펌프 펌핑 속도 (l / s)

6

궁극적 인 압력

4 x10-2 pa

독일 파이퍼 진공 펌프

전압

220 볼트

110 와트

추출 인터페이스

kf40

의 무게

150 키로그램

전면 펌프의 펌프 속도

0.9m 3 / 시간

추출 속도 (n2)

33m / s

복합 진공 게이지

복합 진공 게이지 모델

zdf

전원

220 볼트 55 와트

제어 정밀도

더하기 또는 빼기 1 %

진공 게이지 측정 범위

10-5-10 5 명

PECVD Furnace


1. 우리는 기계를 공급 배터리 기술 지원.

2. 우리는 공급 전 세트 리튬 배터리 장비 실험실 연구, 파일럿 규모 연구 및 생산 린 이자형.


laboratory muffle furnace


1 표준 수출 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장.

2 배송 익스프레스, 공기, 바다 고객의 요구 사항에 따라 가장 적합한.

3 운송 과정에서 손상에 대한 책임은 무료로 손상 부분을 변경합니다.