제품
Sliding PECVD System

pecvd 시스템을 미끄러지는 1200 ℃ 이중 지역

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200
  • :

    Xiamen
  • 지불:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
제품 세부 사항

pecvd 시스템을 미끄러지는 1200 ℃ 이중 지역


tmax-1200-1200 미끄러짐 유형 2 온도 지역 pecvd 체계는으로 이루어져 있습니다 tmax-1200-1200 슬립 타입 2 온도 진공 튜브로, 석영 진공 챔버, 라디오 주파수 전원 공급 장치, gx 가스 공급 시스템, 펌핑 시스템 및 진공 측정 시스템.

주요 특징:

1. 가스 석영 진공 챔버는 rf 전원 공급 장치에 의해 이온 상태로 변경됩니다.

2. pecvd는 화학 기상 증착의 경우 일반 DVD보다 낮음

3. 스트레스 증착 된 막은 rf 전력 공급의 주파수에 의해 제어 될 수있다

4. pecvd는 보통보다 높은 증착 속도, 우수한 균일 성, 일관성 및 안정성 cvd.

5. 널리 사용되는 siox, sinx, sioxny 및 amorphous와 같은 다양한 필름의 성장 실리콘 (a-si : h) 등

이 슬라이드 tl1200-1200 유형 두 배 온도 pecvd 시스템 기술은 급속한 난방입니다, 냉각 온도 pecvd 시스템 기술, 온도 범위 한 쌍의 슬라이드 레일에 설치된 이중 pecvd 시스템, 기술 가능 수동 슬라이딩 시스템.

가열 및 최대 100 ° c / 분의 냉각 속도.

얻을 가장 빠른 가열, 스토브를 미리 설정된 온도로 가열 한 다음 이동 퍼니스를 샘플 위치로.

얻을 가장 빠른 냉각을 위해서는 샘플이 가열 된 후 스토브를 다른 쪽 끝으로 옮기십시오.

가열 및 진공 또는 불활성 가스 환경에서 냉각 속도는 10 ° c / s에 도달 할 수 있으며 이중 pecvd 시스템의 빠른 가열 및 냉각 온도 범위 기술.

1. 스웨덴의 칸탈 a1 저항선

칸탈 A1 원래 와이어 중국어 저항 와이어 퍼니스 대   수입 저항 와이어 퍼니스

(1), 높은 표면 온도는 1420에 도달 할 수 있습니다

(2) 표면은 스테인리스 스틸 (매우 밝음, 고객 주의하십시오), 녹슬지 않으며 사용 시간이 떨어지지 않습니다. 슬래그에서.

(3) 칸탈 저항선의 데이터 다운로드

(4) 칸탈 저항 와이어 웹 사이트 : www.kanthal.com

(5) 저항이 균형을 이루고 온도 장이 똑같이 좋은

대부분의 제조업체는 Mo로 도핑 된 fe-cr-al 합금을 사용합니다. 저항 와이어

때로는 저항이 고르지 않고 열의 일부가 작습니다.                                           칸탈 a1 저항은 균일하고 열 균형이 잡히고 온도 필드가 양호합니다.                                                                                                                                                                       효과

2. 공기의 설치 스위치 및 누수 방지기 :

전류 또는 누수가 발생하면 빈 회의 자동으로 연결을 끊습니다.

삼. 컴퓨터와 연결할 수 있습니다

이 퍼니스는 통신 인터페이스를 갖추고 있으며 소프트웨어는 각각의 용광로 컴퓨터 제어를 통해 직접 할 수 있습니다 난로의 컴퓨터 pv와 sv에서 볼 수 있습니다. 온도 값 및 기기 작동, 실제 온도 로 곡선 그리기 컴퓨터 실시간으로 온도 데이터를 유지할 수 있습니다 매번, 언제든지 전화 할 수 있습니다

4.

(1 ) 고품질 고순도 알루미나 다결정 진공 흡입 및 필터 몰딩을 갖춘 섬유 경화로.

(2). 형성하기 위해 일본 기술을 채택하십시오.

(삼). 퍼니스 내 저항 와이어의 간격과 피치 일본 최고의 열 기술에 따라 배치되고 온도 필드는 열 소프트웨어로 시뮬레이션

(4). 4 주 사용 가열, 온도가 더 균형

5. 선택적 ul 인증 된 전기 보드 (모든 수입품의 UL 인증을 통해) 가전 ​​제품)

6. 방아쇠

소프트 스타트 전류 제한 트리거                           대부분의 제조업체는 비 제한적인 샤먼 보드 트리거를 사용합니다

1 상 시프트 트리거 (소프트 스타트 및 전류 제한 포함) 함수)

2. 가열 조절 방법에 관계없이 전류 제한 기능 변압기 2 차 전류 후 전기로 시간은 170a 이하의 장비 보호. 비 제한적 트리거 가열 속도가 잘못 설정되었거나 너무 빠릅니다. 낮은 전류 전류는 매우 장치가 트립되거나 타 버릴 수 있습니다.

3 소프트 스타트 기능으로 전류가 천천히 증가합니다. 발열체의 영향이 작은 전류는 발열체 수명 연장

4 전류가 한계를 초과하는 경우 보호 기능 현재 트리거는 자동으로 트리거 기능을 차단하여 차단합니다. 현재 보호로.

7. ul 공인 변압기

1 변압기 케이블이 순수 구리

2 변압기 소리가 작다

3 변압기 온도는 낮은

8. 다양한 플랜지를 선택하는 다양한 옵션 (직경 25에서 250mm까지)

모델

tmax-1200-1200-나는

tmax-1200-1200-ii

tmax-1200-1200-iii

tmax-1200-1200-iv

3 개 kw

3 개 kw

4 개 kw

4 개 kw

튜브   크기

120   (대) x1800mm 직경

60   (대) x1800mm 직경

80   (대) x1800mm 직경

100   (대) x1800mm 직경

사무용 겉옷   치수 (lxdxh)

1800   x480x680

1800   x410x610

1800   x410x610

1800   x460x660

그만큼   전원 전압

220 볼트

미끄러지 다   레일 소재

304   스테인레스

슬라이딩   방법

스테인리스   스틸 롤링 베어링

번호   단계

단일   단계

난방   요소

수입   스웨덴어 canthal a1 저항 와이어 클릭하여 데이터 다운로드

그만큼   제어 모드

yu 전기 프로그램 제어 온도계 사용 (표준)
1. 30 프로그램 제어 온도 지능형 pid 조정.
2. 전기로의 가열 회로는 자동적으로 차단 될 수 있습니다   따뜻하거나 실수로 파손 된 경우. (퍼니스 때   온도가 1200도를 초과하거나 열전대가 고장 나면 AC 릴레이   주 회로에서 자동으로 연결이 끊어지고 주 회로가   파손, 패널의 표시등이 꺼져 있음   전기로.
3. 485 통신 인터페이스 (표준 및 표준 선택   소프트웨어)
4. 그것은 정전 보호의 기능, 즉 전원   꺼져 있으면 프로그램이 시작 온도에서 시작되지 않지만   전원이 꺼지면 퍼니스가 상승하기 시작합니다.
계기는 온도 각자 조정의 기능이 있습니다

(수입 된 계측기를 교체하려면 지불해야합니다.   다른 수수료.)

fp93   온도 조절 테이블 (시마 덴) 유럽 ​​사람   기구

터치 스크린 기기

그만큼   온도 제어 모드

pid

부서진   균일 한 보호 및 디스플레이

위에   온도 보호

위에   현재 보호

제어   정도

+ /-   1

그만큼   방아쇠

단계   시프트 트리거

전기 같은   기구

절강   Chint

규소   제어 정류기

106 / 16e   서쪽 문, 독일

그만큼   최고 온도

온도   zone1 : 1200 온도 영역 2 : 1200

그만큼   정격 온도

온도   zone1 : 1100 온도 영역 2 : 1100

난방   율

그만큼   20 / min 이하 (요구 사항에 따라 수정 가능)

추천   가열 속도

10 / 분 이하

모델   열전대의

존   1 : k 타입의 온도 범위 2 : k 타입

난방   길이

존   1 : 200 mm의 온도 범위. 2 : 200 mm

전기 같은   인증

ce

주변   표면 온도

45 이하

rf   전력 공급

(플라즈마 발생기)

힘   출력 범위

0-500   승

최고   반사 전력

200   w.

일   회수

rf :   13.56 백만 헤르쯔 플러스 또는 마이너스 0.005 %

힘   안정

+ /-   0.1 %

고조파   구성 요소

-50   이하 dbc

rf   폭

0-600   -mm 조정 가능

어울리는   방법

자동적 인

냉각   방법

공기   춥다

소음

그만큼   & lt; 50 db

그만큼   무선 주파수 인터페이스

50Ω   n-유형

입력   힘

208-240   -v 50/60 헤르쯔

본관   gx 가스 공급 시스템의 매개 변수

질량   유량계
표준 범위
양성자 유량 제어기 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm 사용,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(범위의 범위와 가스의 종류를 선택할 수 있습니다)
최대 작동 압력 3 mp
플러스 또는 마이너스 1.5 %의 정확도
압력 강하 & lt; 0.01mpa & lt; p = ""& gt;
반복 정확도 플러스 또는 마이너스 0.2 % f.s

channles :

1, 2,   3, 4, 5, 6, 7, 8 (선택 사항)

관절   유형

더블   카세트 스테인레스 스틸 커넥터

체계   일 압력 범위

0.1 ~   0.5mpa

일   온도

5-45

압력   진공 시계

0.1 ~   0.15 mpa ~ 0.01 mpa / 케이스

공전   믹싱 챔버

dia50   x 400mm

상호 작용

dia6   1/4 "

그만큼   전력 공급

220 볼트

크기

600   x600x600

골판지   파이프

kf25x1000mm

그만큼   이 시스템으로 진공도에 도달 할 수 있습니다

10-1   아빠

진공   배플 밸브

kf25

vrd   8 진공 펌프

모델

vrd   ~ 8

제한   분압

5   x10-2 pa

입구   배기 인터페이스

kf25

모터   속도

1440   rpm

추출   율

2.2   l / s

모터   힘

0.4   kw

퍼 페어   acp1 오일 프리 다단계 루츠 펌프 (계획 2)

모델

acp15

힘   공급

ac100   ~ 240v 50/60 헤르쯔

450 주

배출   상호 작용

kf25

무게

25 키로그램

그만큼   최대 헬륨 누출 률은

5 ·   10-8 pa m3 / s

극단   진공도

0.02   토르

그만큼   추출 속도는

14m3   / 시간

모델

zdr-   1

25 개

진공   정도 측정 범위

0.1-10   5 명

저항   규소

뭐   zj는 52 t로했다

스웨덴   (인피 콘) 피 라니 커패시턴스 진공 측정기 (옵션)

모델

pcg554

입력   전압

24v   1a dc (220v 변압기 장착)

진공   게이지 인터페이스

kf16

디지털   디스플레이

디지털   데이터 표시 단위가 torr 인 디스플레이 (화면 크기 20x14mm)

생성물   크기

46mm   x 28mm x 126mm (l x w x h)

그만큼   의 무게

5 파운드

발각   가스

여러   정확하고 반복 가능한 혼합 가스를 포함한 가스를 감지 할 수 있습니다.

인지 어떤지   부식 방지

부식   보호

그만큼   응답 시간

30ms   이하

자질   범위

3.8   x10-5-1125 torr.

분자   펌프 장치 (옵션)

단위   입력 전압

380 볼트   / 220 볼트

골판지   파이프

kf40x1000

진공   배플 밸브

kf40

케이스   크기

600   x600x600

분자   펌프 모델

fj620

입력   전압

380 볼트

분자   펌프 입구 플랜지

dn160

분자   펌프 펌핑 속도 l / s (공기 용)

600

분자   펌프 한계 압력 (pa)

6 개   10-7

냉각   체계

물   냉각

냉각   수압 (mpa)

0.1   0.2

냉각   수온

& lt;   25 & lt; p = ""& gt;

그만큼   환경 온도

0 ~   40

제안   시작 압력

& lt;   100 pa & lt; p = ""& gt;

엔진   진공 펌프 rvp-6

0.75   kw

전압

380 볼트

속도

1450   rpm

입구   직경

kf25   / kf40

펌프   펌핑 속도 (l / s)

6

최고의   압력

4   x10-2 pa

독일 사람   파이퍼 진공 펌프

전압

220 볼트

110   w.

추출   상호 작용

kf40

그만큼   의 무게

150   킬로그램

펌프   프론트 펌프의 속도

0.9m   3 시간

추출   요율 (n2)

33   m / s

화합물   진공 게이지

화합물   진공 게이지 모델

zdf

그만큼   전력 공급

220 볼트   55 주

제어   정도

...을 더한   또는 마이너스 1 %

진공   게이지 측정 범위

10-5-10   5 명

부속

번호

tl1200-1200   관상로

1 세트

석영   튜브

1

ss   플랜지

1 세트

스테인리스   스틸 훅

1

알루미나   퍼니스 플러그

높은   온도 장갑

1   쌍

알루미나   도가니

1

열전대

1

485   인터페이스 및 소프트웨어 변환 선택 과목

1 세트

교수   책

1

플랜지   지원하다

1

가스   공급 시스템

1

vs.0.1air   추출 시스템

1

rf   힘

1

물미

4

소 우는 소리

1

진공   배플 밸브

1

실   커넥터 n은 채널 수를 나타냅니다.

판막   커넥터

2

ptfe   파이프 (n은 채널 수를 나타냄)

n * 5

PECVD Furnace


1. 우리는 기계를 공급 배터리 기술 지원.

2. 우리는 공급 전 세트 리튬 배터리 장비 실험실 연구, 파일럿 규모 연구 및 생산 린 이자형.


laboratory muffle furnace


1 표준 수출 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장.

2 배송 익스프레스, 공기, 바다 고객의 요구 사항에 따라 가장 적합한.

3 운송 과정에서 손상에 대한 책임은 무료로 손상 부분을 변경합니다.