rf 발생기, 가스 혼합 및 1200 ℃의 수직 페 브류로 펌핑 시스템

tmax-1200-pecvd 시리즈 화학 증착 (cvd) 및 플라즈마 강화 화학 기상 증착 (PECVD) 다중 구역 분할 튜브 용광로는 유명한 특징 칸탈 ® (스웨덴) 와이어 고품질에 내장 된 발열체 미쓰비시 ® (일본) 알루미나 섬유 절연. 모든 강철 이중층 하우징으로 내구성 보장 및 외부 표면으로의 열 손실을 최소화하십시오.

퍼니스 작동 ~에 의해 통제되는 시마 덴 ® (일본) RS485 디지털 통신 포트가 내장 된 40 세그먼트 디지털 컨트롤러 및 USB 어댑터, 사용자가 PC에 연결하여 원격 제어 및 퍼니스의 모니터링. 테스트 결과를 저장하거나 내보낼 수도 있습니다.
우리의 모든 용광로는 ce입니다 준수합니다.

풍모

· 작고 휴대 가능하며 가벼운 디자인.

· 낮은 처리 필요한 온도는 기존의 DVD와 비교됩니다.

· 필름 스트레스는 고주파수 / 저주파 혼합 기술로 제어됩니다.

· 용광로 챔버 빠르고 쉬운 튜브 접근.

· 표준 패키지 포함 밸브 및 압력계가있는 스테인레스 스틸 진공 밀봉 플랜지 세트.

· 마이크로 프로세서 기반 자체 튜닝 pid 제어는 최소의 최적 열 프로세스를 제공합니다 지나치게 달리다.

· 여러 분위기 단일 사이클로 공정 가능 (예 : 공기 및 부품에서 바인더 연소 거친 진공 또는 불활성 가스 환경에서 소결.)

· 내장 앰프 미터 및 간편한 모니터링 및 문제 해결을위한 이중 전압계.

· 내장 컴퓨터 상호 작용.

· 장수명 k 열전대.

· 슬라이드 식 퍼니스 옵션 초고속 냉각 속도 제공

안전

· 과열 보호 차단 온도가 허용 범위를 벗어나면 퍼니스를 내립니다 (참조 컨트롤러 설명서) 또는 열전대가 고장 나거나 오작동하는 경우.

· 정전 보호 전원이 공급되면 오류 발생 직후 퍼니스 작동을 재개합니다. 다시 설립되었습니다.

경고! 용광로를 폭발물로 채우지 마십시오 수소, 일산화탄소 및 메탄을 포함한 가스.

퍼니스, 진공 펌프 가스 혼합 시스템 사양

튜브 재료	석영
발열체	칸탈 ® (스웨덴)   저항 코일 와이어
최대 대 상수   작동 온도	최대 1200 ° C 과   1100 ° C 상수
열 커플   유형	케이
내화 안감	미쓰비시 ® (일본)   1500 등급 섬유 알루미나
온도   제어 장치	시마 덴 ® (일본)   4 개의 프로그램과 40 개의 세그먼트가있는 fp93 (예 : 4 x 10 세그먼트 또는 2 x 20 세그먼트)
최대 가열   & amp; 냉각 속도	& lt; 30 ° c / 분
온도   컨트롤러 정밀도	+/- 1 ° c (+/-   1.8 ° f)
진공 밀봉   플랜지 키트	스테인레스   하나의 진공 게이지가있는 진공 밀봉 플랜지, 두 개의 밸브와 네 개의 열 세라믹 블록.
전기 같은   요구 사항	220vac, 3.5kw,   단상

rf 발전기 사양

전기 같은   요구 사항	208-240 볼트   50/60 헤르쯔
출력 파워	5 ~ 500 와트,   +/- 1 % 단계로 조정 가능
rf 주파수	와 13.56 MHz   +/- 0.005 % 안정성
반사 력	최대 10 와트
어울리는	자동적 인
rf 출력 포트	50Ω, n 형,   여자
냉각	공기

부품 설명	수량	부품 이미지
쪼개지는 관로	1 세트
다 채널 가스   공급 시스템	1 세트
플라즈마 rf 전력   공급 (옵션)	1 세트
진공 펌프   인클로저 (옵션)	1 세트
석영 관	1 개
테플론 튜브 (n   튜브 수를 의미합니다)	n * 5
스테인레스   압력계가있는 진공 밀봉 플랜지	1 세트
스테인레스   훅	1 개
반토 세라믹   열 블록	2 쌍
열 장갑	1 쌍
높은 온도   알 2 영형 삼 알루미나   도가니	5 개
예비 퓨즈	2 개
USB / RS485 컴퓨터   인터페이스 키트	1 세트
용광로   시마 덴 컨트롤러 매뉴얼	2 개

1. 우리는 기계를 공급 배터리 기술 지원.

2. 우리는 공급 전 세트 리튬 배터리 장비 실험실 연구, 파일럿 규모 연구 및 생산 린 이자형.

1 표준 수출 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장.

2 배송 익스프레스, 공기, 바다 고객의 요구 사항에 따라 가장 적합한.

3 운송 과정에서 손상에 대한 책임은 무료로 손상 부분을 변경합니다.