rf 발생기를 갖는 1200 ℃ pe / cvd로, 가스 혼합 및 펌핑 시스템

tmax-1200pecvd 화학 기상 증착 (cvd) 및 플라즈마 강화 화학 기상 증착 (pecvd) 다중 구역 분할 관상로는 유명한 특징 칸탈 ^® (스웨덴) 와이어 가열 요소 내장 고품질로 미쓰비시 ^® (일본) 알루미나 섬유 절연. 모두 강철 이중층 하우징으로 내구성 보장 및 열 손실 최소화 외부 표면.

퍼니스 작동 ~에 의해 통제되는 시마 덴 ^® (일본) 40 세그먼트 디지털 컨트롤러 내장 RS485 디지털 통신 포트 및 USB 어댑터 퍼니스의 원격 제어 및 모니터링을 위해 PC에 연결합니다. 당신 테스트 결과를 저장하거나 내보낼 수도 있습니다.

우리의 모든 용광로는 ce입니다 준수합니다.

풍모

1 콤팩트, 휴대용 경량 디자인.

2 보다 낮은 필요한 가공 온도는 기존의 DVD와 비교됩니다.

삼 필름 고주파수 / 저주파 혼합 기술로 응력을 제어 할 수 있습니다.

4 스플릿 빠르고 쉬운 튜브 접근을위한 퍼니스 챔버.

5 표준 패키지에는 밸브가있는 스테인레스 스틸 진공 밀봉 플랜지 세트와 압력계.

6 마이크로 프로세서 기반의 자체 조정 pid 제어는 최소의 최적 열 프로세스를 제공합니다 지나치게 달리다.

7 배수 단일 사이클에서 대기 공정이 가능합니다 (예 : 바인더가 공기에서 타 버립니다. 거친 진공 또는 불활성 가스 환경에서 소결하는 부품.)

8 내장 간편한 모니터링 및 문제 해결을위한 전류계 및 이중 전압계

9 내장 컴퓨터 인터페이스.

10 장수 k 열전대를 입력하십시오.

11 슬라이딩 퍼니스 옵션은 매우 빠른 냉각 속도를 제공합니다

안전

1 과열 온도가 허용 범위를 벗어나면 보호로가 퍼니스를 종료합니다 (컨트롤러 설명서 참조) 또는 열전대가 파손되거나 오작동.

2 힘 고장 발생 직후 고장 방지 기능이 퍼니스 작동을 재개합니다. 권력이 회복됩니다.

경고! 수소, 일산화탄소를 포함한 폭발성 가스로 용광로를 채우지 마십시오 메탄.

퍼니스, 진공 펌프 및 가스 혼합 시스템 명세서

튜브   재료	석영
난방   요소	칸탈 ® (스웨덴) 저항 코일 와이어
최대   일정한 작동 온도	1200 ° c   최대 1100 ° C 상수
열   커플 타입	케이
내화 물질   안	미쓰비시 ® (일본) 1500 급 섬유 알루미나
온도   제어 장치	시마 덴 ® 4 개의 프로그램과 40 개의 (일본) fp93   세그먼트 (예 : 4 x 10 세그먼트 또는 2 x 20 세그먼트)
최고   가열 및 냉각 속도	& lt;   30 ° c / 분
온도   컨트롤러 정밀도	+/-   1 ° c (+/- 1.8 ° f)
진공   실링 플랜지 키트	스테인리스   하나의 진공 게이지가있는 강철 진공 밀봉 플랜지, 두 개의 밸브와 네 개의 열 세라믹 블록.
전기 같은   요구 사항	208-240vac,   50 / 60Hz, 단상

rf 발전기 사양

전기 같은   요구 사항	208-240   볼트 50/60 hz
산출   힘	5   최대 500 와트, +/- 1 % 단계로 조정 가능
rf   회수	13   +/- 0.005 % 안정성의 mhz
반사   힘	200   최대 와트
어울리는	자동적 인
rf   출력 포트	50   Ω, n 형, 암
냉각	공기

표준 패키지

부품 설명	수량	부품 이미지
쪼개지는 관로	1   세트
다 채널   가스 공급 시스템	1 세트
혈장   RF 전원 공급 장치 (옵션)	1 세트
진공   펌프 및 인클로저 (옵션)	1 세트
석영   튜브	1 개
비슷한 물건   유량계	1 개
스테인리스   압력계가있는 스틸 진공 밀봉 플랜지	1   세트
스테인리스   스틸 훅	1   pc
알루미나   세라믹 열 블록	2   한 쌍
열의   장갑	1   쌍
여윈   퓨즈	2 개
USB / RS485 컴퓨터   인터페이스 키트	1   세트

1. 우리는 기계를 공급 배터리 기술 지원.

2. 우리는 공급 전 세트 리튬 배터리 장비 실험실 연구, 파일럿 규모 연구 및 생산 린 이자형.

1 표준 수출 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장.

2 배송 익스프레스, 공기, 바다 고객의 요구 사항에 따라 가장 적합한.

3 운송 과정에서 손상에 대한 책임은 무료로 손상 부분을 변경합니다.