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pecvd 시스템을 미끄러지는 1200 ℃ 이중 지역
Model Number:
TMAX-1200-PECVD:
Xiamen지불:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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pecvd 시스템을 미끄러지는 1200 ℃ 이중 지역
주요 특징:
1. 가스 석영 진공 챔버는 rf 전원 공급 장치에 의해 이온 상태로 변경됩니다.
2. pecvd는 화학 기상 증착의 경우 일반 DVD보다 낮음
3. 스트레스 증착 된 막은 rf 전력 공급의 주파수에 의해 제어 될 수있다
4. pecvd는 보통보다 높은 증착 속도, 우수한 균일 성, 일관성 및 안정성 cvd.
5. 널리 사용되는 siox, sinx, sioxny 및 amorphous와 같은 다양한 필름의 성장 실리콘 (a-si : h) 등
이 슬라이드 tl1200-1200 유형 두 배 온도 pecvd 시스템 기술은 급속한 난방입니다, 냉각 온도 pecvd 시스템 기술, 온도 범위 한 쌍의 슬라이드 레일에 설치된 이중 pecvd 시스템, 기술 가능 수동 슬라이딩 시스템.
가열 및 최대 100 ° c / 분의 냉각 속도.
얻을 가장 빠른 가열, 스토브를 미리 설정된 온도로 가열 한 다음 이동 퍼니스를 샘플 위치로.
얻을 가장 빠른 냉각을 위해서는 샘플이 가열 된 후 스토브를 다른 쪽 끝으로 옮기십시오.
가열 및 진공 또는 불활성 가스 환경에서 냉각 속도는 10 ° c / s에 도달 할 수 있으며 이중 pecvd 시스템의 빠른 가열 및 냉각 온도 범위 기술.
1. 스웨덴의 칸탈 a1 저항선
칸탈 A1 원래 와이어 중국어 저항 와이어 퍼니스 대 수입 저항 와이어 퍼니스
(1), 높은 표면 온도는 1420에 도달 할 수 있습니다 ℃
(2) 표면은 스테인리스 스틸 (매우 밝음, 고객 주의하십시오), 녹슬지 않으며 사용 시간이 떨어지지 않습니다. 슬래그에서.
(3) 칸탈 저항선의 데이터 다운로드
(4) 칸탈 저항 와이어 웹 사이트 : www.kanthal.com
(5) 저항이 균형을 이루고 온도 장이 똑같이 좋은
대부분의 제조업체는 Mo로 도핑 된 fe-cr-al 합금을 사용합니다. 저항 와이어
때로는 저항이 고르지 않고 열의 일부가 작습니다. 칸탈 a1 저항은 균일하고 열 균형이 잡히고 온도 필드가 양호합니다. 효과
2. 공기의 설치 스위치 및 누수 방지기 :
전류 또는 누수가 발생하면 빈 회의 자동으로 연결을 끊습니다.
삼. 컴퓨터와 연결할 수 있습니다
이 퍼니스는 통신 인터페이스를 갖추고 있으며 소프트웨어는 각각의 용광로 컴퓨터 제어를 통해 직접 할 수 있습니다 난로의 컴퓨터 pv와 sv에서 볼 수 있습니다. 온도 값 및 기기 작동, 실제 온도 로 곡선 그리기 컴퓨터 실시간으로 온도 데이터를 유지할 수 있습니다 매번, 언제든지 전화 할 수 있습니다
4. 방
(1 ) 고품질 고순도 알루미나 다결정 진공 흡입 및 필터 몰딩을 갖춘 섬유 경화로.
(2). 형성하기 위해 일본 기술을 채택하십시오.
(삼). 퍼니스 내 저항 와이어의 간격과 피치 일본 최고의 열 기술에 따라 배치되고 온도 필드는 열 소프트웨어로 시뮬레이션
(4). 4 주 사용 가열, 온도가 더 균형
5. 선택적 ul 인증 된 전기 보드 (모든 수입품의 UL 인증을 통해) 가전 제품)
6. 방아쇠
소프트 스타트 전류 제한 트리거 대부분의 제조업체는 비 제한적인 샤먼 보드 트리거를 사용합니다
1 상 시프트 트리거 (소프트 스타트 및 전류 제한 포함) 함수)
2. 가열 조절 방법에 관계없이 전류 제한 기능 변압기 2 차 전류 후 전기로 시간은 170a 이하의 장비 보호. 비 제한적 트리거 가열 속도가 잘못 설정되었거나 너무 빠릅니다. 낮은 전류 전류는 매우 장치가 트립되거나 타 버릴 수 있습니다.
3 소프트 스타트 기능으로 전류가 천천히 증가합니다. 발열체의 영향이 작은 전류는 발열체 수명 연장
4 전류가 한계를 초과하는 경우 보호 기능 현재 트리거는 자동으로 트리거 기능을 차단하여 차단합니다. 현재 보호로.
7. ul 공인 변압기
1 변압기 케이블이 순수 구리
2 변압기 소리가 작다
3 변압기 온도는 낮은
8. 다양한 플랜지를 선택하는 다양한 옵션 (직경 25에서 250mm까지)
모델 |
tmax-1200-1200-나는 |
tmax-1200-1200-ii |
tmax-1200-1200-iii |
tmax-1200-1200-iv |
|
힘 |
3 개 kw |
3 개 kw |
4 개 kw |
4 개 kw |
|
튜브 크기 |
120 (대) x1800mm 직경 |
60 (대) x1800mm 직경 |
80 (대) x1800mm 직경 |
100 (대) x1800mm 직경 |
|
사무용 겉옷 치수 (lxdxh) |
1800 x480x680 |
1800 x410x610 |
1800 x410x610 |
1800 x460x660 |
|
그만큼 전원 전압 |
220 볼트 |
||||
미끄러지 다 레일 소재 |
304 스테인레스 |
||||
슬라이딩 방법 |
스테인리스 스틸 롤링 베어링 |
||||
번호 단계 |
단일 단계 |
||||
난방 요소 |
수입 스웨덴어 canthal a1 저항 와이어 클릭하여 데이터 다운로드 |
||||
그만큼 제어 모드 |
yu 전기 프로그램 제어 온도계 사용 (표준)
(수입 된 계측기를 교체하려면 지불해야합니다. 다른 수수료.)
fp93 온도 조절 테이블 (시마 덴) 유럽 사람 기구
터치 스크린 기기 |
||||
그만큼 온도 제어 모드 |
pid |
||||
부서진 균일 한 보호 및 디스플레이 |
예 |
||||
위에 온도 보호 |
예 |
||||
위에 현재 보호 |
예 |
||||
제어 정도 |
+ /- 1 ℃ |
||||
그만큼 방아쇠 |
단계 시프트 트리거 |
||||
전기 같은 기구 |
절강 Chint |
||||
규소 제어 정류기 |
106 / 16e 서쪽 문, 독일 |
||||
그만큼 최고 온도 |
온도 zone1 : 1200 ℃ 온도 영역 2 : 1200 ℃ |
||||
그만큼 정격 온도 |
온도 zone1 : 1100 ℃ 온도 영역 2 : 1100 ℃ |
||||
난방 율 |
그만큼 20 ℃ / min 이하 (요구 사항에 따라 수정 가능) |
||||
추천 가열 속도 |
10 ℃ / 분 이하 |
||||
모델 열전대의 |
존 1 : k 타입의 온도 범위 2 : k 타입 |
||||
난방 길이 |
존 1 : 200 mm의 온도 범위. 2 : 200 mm |
||||
전기 같은 인증 |
ce |
||||
주변 표면 온도 |
45 ℃ 이하 |
||||
rf 전력 공급 |
(플라즈마 발생기) |
||||
힘 출력 범위 |
0-500 승 |
||||
최고 반사 전력 |
200 w. |
||||
일 회수 |
rf : 13.56 백만 헤르쯔 플러스 또는 마이너스 0.005 % |
||||
힘 안정 |
+ /- 0.1 % |
||||
고조파 구성 요소 |
-50 이하 dbc |
||||
rf 폭 |
0-600 -mm 조정 가능 |
||||
어울리는 방법 |
자동적 인 |
||||
냉각 방법 |
공기 춥다 |
||||
소음 |
그만큼 & lt; 50 db |
||||
그만큼 무선 주파수 인터페이스 |
50Ω n-유형 |
||||
입력 힘 |
208-240 -v 50/60 헤르쯔 |
||||
본관 gx 가스 공급 시스템의 매개 변수
|
질량 유량계 |
||||
channles : |
1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (선택 사항) |
||||
관절 유형 |
더블 카세트 스테인레스 스틸 커넥터 |
||||
체계 일 압력 범위 |
0.1 ~ 0.5mpa |
||||
일 온도 |
5-45 ℃ |
||||
압력 진공 시계 |
0.1 ~ 0.15 mpa ~ 0.01 mpa / 케이스 |
||||
공전 믹싱 챔버 |
dia50 x 400mm |
||||
상호 작용 |
dia6 1/4 " |
||||
그만큼 전력 공급 |
220 볼트 |
||||
크기 |
600 x600x600 |
||||
골판지 파이프 |
kf25x1000mm |
||||
그만큼 이 시스템으로 진공도에 도달 할 수 있습니다 |
10-1 아빠 |
||||
진공 배플 밸브 |
kf25 |
||||
vrd 8 진공 펌프 |
|||||
모델 |
vrd ~ 8 |
||||
제한 분압 |
5 x10-2 pa |
||||
입구 배기 인터페이스 |
kf25 |
||||
모터 속도 |
1440 rpm |
||||
추출 율 |
2.2 l / s |
||||
모터 힘 |
0.4 kw |
||||
퍼 페어 acp1 오일 프리 다단계 루츠 펌프 (계획 2) |
|||||
모델 |
acp15 |
||||
힘 공급 |
ac100 ~ 240v 50/60 헤르쯔 |
||||
힘 |
450 주 |
||||
배출 상호 작용 |
kf25 |
||||
무게 |
25 키로그램 |
||||
그만큼 최대 헬륨 누출 률은 |
5 · 10-8 pa m3 / s |
||||
극단 진공도 |
0.02 토르 |
||||
그만큼 추출 속도는 |
14m3 / 시간 |
||||
모델 |
zdr- 1 |
||||
힘 |
25 개 |
||||
진공 정도 측정 범위 |
0.1-10 5 명 |
||||
저항 규소 |
뭐 zj는 52 t로했다 |
||||
스웨덴 (인피 콘) 피 라니 커패시턴스 진공 측정기 (옵션) |
|||||
모델 |
pcg554 |
||||
입력 전압 |
24v 1a dc (220v 변압기 장착) |
||||
진공 게이지 인터페이스 |
kf16 |
||||
디지털 디스플레이 |
디지털 데이터 표시 단위가 torr 인 디스플레이 (화면 크기 20x14mm) |
||||
생성물 크기 |
46mm x 28mm x 126mm (l x w x h) |
||||
그만큼 의 무게 |
5 파운드 |
||||
발각 가스 |
여러 정확하고 반복 가능한 혼합 가스를 포함한 가스를 감지 할 수 있습니다. |
||||
인지 어떤지 부식 방지 |
부식 보호 |
||||
그만큼 응답 시간 |
30ms 이하 |
||||
자질 범위 |
3.8 x10-5-1125 torr. |
||||
분자 펌프 장치 (옵션) |
|||||
단위 입력 전압 |
380 볼트 / 220 볼트 |
||||
골판지 파이프 |
kf40x1000 |
||||
진공 배플 밸브 |
kf40 |
||||
케이스 크기 |
600 x600x600 |
||||
분자 펌프 모델 |
fj620 |
||||
입력 전압 |
380 볼트 |
||||
분자 펌프 입구 플랜지 |
dn160 |
||||
분자 펌프 펌핑 속도 l / s (공기 용) |
600 |
||||
분자 펌프 한계 압력 (pa) |
6 개 10-7 |
||||
냉각 체계 |
물 냉각 |
||||
냉각 수압 (mpa) |
0.1 0.2 |
||||
냉각 수온 |
& lt; 25 ℃ & lt; p = ""& gt; |
||||
그만큼 환경 온도 |
0 ~ 40 ℃ |
||||
제안 시작 압력 |
& lt; 100 pa & lt; p = ""& gt; |
||||
엔진 진공 펌프 rvp-6 |
|||||
힘 |
0.75 kw |
||||
전압 |
380 볼트 |
||||
속도 |
1450 rpm |
||||
입구 직경 |
kf25 / kf40 |
||||
펌프 펌핑 속도 (l / s) |
6 |
||||
최고의 압력 |
4 x10-2 pa |
||||
독일 사람 파이퍼 진공 펌프 |
|||||
전압 |
220 볼트 |
||||
힘 |
110 w. |
||||
추출 상호 작용 |
kf40 |
||||
그만큼 의 무게 |
150 킬로그램 |
||||
펌프 프론트 펌프의 속도 |
0.9m 3 시간 |
||||
추출 요율 (n2) |
33 m / s |
||||
화합물 진공 게이지 |
|||||
화합물 진공 게이지 모델 |
zdf |
||||
그만큼 전력 공급 |
220 볼트 55 주 |
||||
제어 정도 |
...을 더한 또는 마이너스 1 % |
||||
진공 게이지 측정 범위 |
10-5-10 5 명 |
부속 |
번호 |
tl1200-1200 관상로 |
1 세트 |
석영 튜브 |
1 |
ss 플랜지 |
1 세트 |
스테인리스 스틸 훅 |
1 |
알루미나 퍼니스 플러그 |
삼 |
높은 온도 장갑 |
1 쌍 |
알루미나 도가니 |
1 |
K 열전대 |
1 |
485 인터페이스 및 소프트웨어 변환 ( 선택 과목 ) |
1 세트 |
교수 책 |
1 |
플랜지 지원하다 |
1 |
가스 공급 시스템 |
1 |
vs.0.1air 추출 시스템 |
1 |
rf 힘 |
1 |
물미 |
4 个 |
소 우는 소리 |
1 |
진공 배플 밸브 |
1 |
실 커넥터 ( n은 채널 수를 나타냅니다. ) |
엔 |
판막 커넥터 |
2 |
ptfe 파이프 (n은 채널 수를 나타냄) |
n * 5 |
1. 우리는 기계를 공급 배터리 기술 지원.
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