DC 또는 RF 고진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코팅기

DC 또는 RF 고진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코팅기 소개 높은 진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코터 재료 과학 및 샘플 준비에 이상적이며 설계되었습니다. 그것은 금속, 세라믹, 반도체, 절연체 또는 다른 종류의 멤브레인 재료 준비를 위해 코팅하기 위해 재료 과학 및 공학의 대부분의 대학 및 과학 연구 기관에 널리 사용됩니다. High Vacuum Magnetron Ion Sputtering Coater는 가장 안정적인 스퍼터링 환경을 제공하며 매우 짧은 시간 내에 마그네트론 스퍼터링의 기본 실험 조건을 달성합니다. DC/RF 2가지 스퍼터링 전원 옵션을 제공하여 시편에 전도성 또는 비전도성 물질을 스퍼터링할 수 있도록 하고 물리적 기상 증착(PVD) 성능을 향상시킵니다. 표면처리 및 코팅에도 탁월합니다. 작동하기 쉽고 사용자 친화적입니다. 진공 펌프와 칠러가 포함되어 있습니다. 모수 진공 피 음 에스 등 ( 영형 필수) 아르 자형 귀리 V 어큐움 피 ump+( 영형 무료) 티 우르보 미디엄 올레쿨란 피 펌프 세트 로타리 피 엄핑 에스 오줌 50Hz : 16 m³ / h(4.4L/s)/ 60Hz: 19.2 m³ /시간(5.2L/초) 분자 피 엄핑 에스 오줌 300L/ 에스 진공 엘 모방하다 5*10 -5 아빠 일하고 있는 피 압력 0.5-5Pa 진공청소기 티 나 나 >10분(10 -삼 아빠) 진공 미디엄 여유 대기에서 측정 범위 1*10 -6 아빠 가스 씨 제어 가스 에프 낮은 씨 컨트롤러 방 에스 이즈 φ260*200mm(높이) 미디엄 에탈 마그네트론 티 arget 에스 출처 타겟 사이즈 φ50×3mm(Cu)/ 티 대상 소스: 승 에크 미디엄 자기 에스 물질 / 미디엄 재료 작업 미디엄 방법 사용 설명서 엘 무게/ 에스 이즈 100kg/길이 610mm x 폭 420mm x 높이 490mm 힘 에스 공급하다 AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz 힘 씨 소비 <3000W 냉각 미디엄 방법 공기 씨 울링( 피 엄)+ 승 ater 씨 울링( 에스 퍼터링 티 arget) 보증 평생 제품 지원이 포함된 1년 제한 보증

재료 과학 진공 마그네트론 이온 스퍼터 코팅기

재료 과학 진공 마그네트론 이온 스퍼터 코팅기 소개 재료 과학 마그네트론 이온 스퍼터링 코터 (SD900M 모델)은 실험실 SEM 샘플 준비에 이상적이며 설계되었습니다. 더 나은 이미징을 위해 비전도성 또는 열에 민감한 SEM 샘플을 Au로 코팅하는 데 널리 사용됩니다. 또한 표면 처리에 탁월하며 기판 샘플의 손상을 방지합니다. SEM 하의 코팅 결과 샘플 사진(SD-900M 모델) EPTFE(Extended Poly Tetra Fluoro Ethylene) 저진공, 적절한 진공 펌프를 사용하면 5분 이내에 빠르게 도달할 수 있습니다. 훨씬 적은 열을 발생시키고 기판 샘플에 대한 플라즈마 손상을 방지합니다. 사용자 친화적이고 조작하기 쉽습니다. 진공 펌프가 포함되어 있습니다. 냉각기는 옵션입니다. 모수 진공 피 음 에스 등 ( 영형 필수) 아르 자형 귀리 V 어큐움 피 음 로타리 피 엄핑 에스 오줌 50Hz : 8 m³ / 시간 ( 2 . 2 L/s)/60Hz : 9. 6 m³ /시간 ( 2 . 6 패/초) 진공 엘 모방하다 2 아빠 최대 스퍼터링 전류 100mA 일하고 있는 피 압력 20Pa - 8 아빠 진공청소기 티 나 나 &lt;5 최소( 2 아빠) 진공 미디엄 여유 대기에서 ~까지의 측정 범위 2*10 -2 엠바 방 에스 이즈 Φ 15 0* 12 0mm(높이) 긁힘 방지 석영 유리 마그네트론 티 arget 에스 출처 표적 크기 φ50*0.1mm(오) / 티 대상 소스: Au,Ag,Pt 작업 미디엄 방법 사용 설명서 엘 무게/ 에스 이즈 45 킬로그램/ 36 길이 0mm x 30 폭 0mm 엑스 38 높이 0mm 힘 에스 공급하다 AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz 힘 씨 소비 &lt; 15 00W 냉각 방식 수냉식(옵션) 보증 평생 제품 지원이 포함된 1년 제한 보증