DC 또는 RF 고진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코팅기

DC 또는 RF 고진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코팅기 소개 높은 진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코터 재료 과학 및 샘플 준비에 이상적이며 설계되었습니다. 그것은 금속, 세라믹, 반도체, 절연체 또는 다른 종류의 멤브레인 재료 준비를 위해 코팅하기 위해 재료 과학 및 공학의 대부분의 대학 및 과학 연구 기관에 널리 사용됩니다. High Vacuum Magnetron Ion Sputtering Coater는 가장 안정적인 스퍼터링 환경을 제공하며 매우 짧은 시간 내에 마그네트론 스퍼터링의 기본 실험 조건을 달성합니다. DC/RF 2가지 스퍼터링 전원 옵션을 제공하여 시편에 전도성 또는 비전도성 물질을 스퍼터링할 수 있도록 하고 물리적 기상 증착(PVD) 성능을 향상시킵니다. 표면처리 및 코팅에도 탁월합니다. 작동하기 쉽고 사용자 친화적입니다. 진공 펌프와 칠러가 포함되어 있습니다. 모수 진공 피 음 에스 등 ( 영형 필수) 아르 자형 귀리 V 어큐움 피 ump+( 영형 무료) 티 우르보 미디엄 올레쿨란 피 펌프 세트 로타리 피 엄핑 에스 오줌 50Hz : 16 m³ / h(4.4L/s)/ 60Hz: 19.2 m³ /시간(5.2L/초) 분자 피 엄핑 에스 오줌 300L/ 에스 진공 엘 모방하다 5*10 -5 아빠 일하고 있는 피 압력 0.5-5Pa 진공청소기 티 나 나 >10분(10 -삼 아빠) 진공 미디엄 여유 대기에서 측정 범위 1*10 -6 아빠 가스 씨 제어 가스 에프 낮은 씨 컨트롤러 방 에스 이즈 φ260*200mm(높이) 미디엄 에탈 마그네트론 티 arget 에스 출처 타겟 사이즈 φ50×3mm(Cu)/ 티 대상 소스: 승 에크 미디엄 자기 에스 물질 / 미디엄 재료 작업 미디엄 방법 사용 설명서 엘 무게/ 에스 이즈 100kg/길이 610mm x 폭 420mm x 높이 490mm 힘 에스 공급하다 AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz 힘 씨 소비 <3000W 냉각 미디엄 방법 공기 씨 울링( 피 엄)+ 승 ater 씨 울링( 에스 퍼터링 티 arget) 보증 평생 제품 지원이 포함된 1년 제한 보증