4개의 열원이 있는 초음파 고진공 열 증발 코터 기계(10-6 torr)

명세서

입력 & 출력 파워	· 입력: 208 - 240VAC, 20A, 50/60Hz, 단상 · 필요한 총 전력: 8KW(펌프 포함) · 다른 3상 전압은 요청 시 제공 가능 · 출력: 최대 5VAC 300A 최대.
진공 챔버	· 스테인리스 스틸 챔버: 280mm ID. x 375 mm 높이, ( ~23 리터) 샌드 블라스팅 전해 연마 표면 · 챔버 앞의 100mm 관찰 창 · 간편한 시료 로딩을 위한 경첩식 도어 · 각각의 증발 W 보트 위에 수동 작동 셔터가 있어 4가지 종류의 물질을 하나씩 증발시킬 수 있습니다. · 필요한 장치에 연결하기 위해 챔버에 내장된 4개의 KF40 포트
진공 펌프	· 고속 터보 진공 펌프가 포함되어 진공 챔버에 연결됩니다. (pls는 위 왼쪽 그림을 클릭) 영형 진공 속도: 600L/S 영형 진공 수준: 5.0x10 -6 Torr (펌핑 40분 후) 영형 한계 진공: 5.0x10 -7 Torr(100 -150°C에서 베이킹 후) 영형 새는 비율: 5.0x10 -7 아빠. 영형 진공 포트: 직경 150mm
증발원 & 샘플 홀더	· 4개의 텅스텐 가열 보트가 수냉식 전극으로 지원됩니다. · 텅스텐 가열 보트의 치수는 70mm L x 12mm W x 3mm H입니다. 。 여분의 W 보트는 추가 비용으로 이용 가능합니다. 。 · 보트의 각 상단에는 수동 작동 셔터가 있습니다. · 수동 셔터가 내장되어 있어 증발원을 오염 없이 사용할 수 있습니다. · 직경 100mm의 회전 샘플 홀더는 최대 600°C까지 가열할 수 있는 직경 260mm의 챔버 상단에 있습니다. +/1 °C 정확도의 디지털 온도 컨트롤러를 통해 · 증발 소스와 샘플 홀더 사이의 거리는 150-300mm 조정 가능
두께 제어 （ 선택 과목 ）	· 하나의 고해상도 필름 두께 모니터 및 컨트롤러는 옵션입니다. （ 자세한 사양을 보려면 아래 사진을 클릭하십시오) · 두께 제어의 정확도는 1.0A입니다.
컨트롤 유닛	· 진공, 두께 및 전력 제어가 하나의 컨트롤 박스에 통합됨 · 컨트롤 유닛은 이동이 용이하도록 진공 챔버와 분리되어 있습니다. · 제어 장치를 진공 스테이션 상단에 놓을 수 있습니다.
전반적인 차원	L600mm× W860mm× H1500mm
순중량	600kg
설치를 위한 시설 요구사항	· 공간: 250SF, 높이 > 6 피트 · 전원: 208 - 240V AC, 최대 10KW(50A 차단기)가 있는 단상 · 물: > 전극 냉각에 필요한 흐르는 물은 분당 15L입니다. 추가 비용으로 아래 그림을 클릭하여 물을 절약하기 위해 재순환 냉각기를 주문할 수 있습니다.
애플리케이션 노트	· 코팅된 박막/전극의 유연성 시험 EQ-MBT-12-LD 맨드릴 굽힘 시험기 . ·
보증 및 보증 자격증	평생 지원이 포함된 2년 제한 보증 CE 인증