최대 800°C에서 최대 5" 직경 웨이퍼의 급속 열처리를 위한 Two Zones Lab CSS Furnace - OTF-1200X-RTP-II-5

OTF-1200X-RTP-II-5는 11" I.D. 석영 챔버가 있는 급속 열처리로입니다. 열 증발 또는 CSS( 근접 승화 ) 최대 직경 5"의 원형 샘플 및 최대 800°C까지 필름 코팅 퍼니스는 두 그룹의 할로겐 히터(상단 및 하단)에 의해 별도로 최대로 가열됩니다. 10ºC/s 가열 속도. 2개의 30세그먼트 정밀 온도 컨트롤러가 +/-1ºC 정확도로 내장되어 있습니다. RS485 포트 및 제어 소프트웨어가 포함되어 있어 퍼니스 작동 및 PC를 통한 온도 프로파일 로깅이 가능합니다. CdTe, Sulfide 및 Perovskite 태양 전지와 같은 태양 전지용 차세대 박막 연구에 탁월한 도구입니다.

명세서:

용광로 구조 & 진공 챔버	· 두 개의 온도 조절기. · 챔버는 고순도 용융 석영 튜브로 만들어집니다. · 석영 튜브 크기: 11" OD/10.8" ID x 9" H · 진공 플랜지는 스테인리스 스틸 316으로 제작됩니다.
진공 플랜지	· 1개의 KFD-25 진공 포트와 1개의 가스 배출구(1/4" 파이프 필요)가 있는 상단 플랜지는 수동으로 위아래로 밀어 기판과 증발된 재료를 쉽게 로드 및 언로드할 수 있습니다. · 하단 플랜지에는 니들 밸브가 있는 가스 유입구(1/4" 파이프 필요)가 있는 KFD-25 진공 포트 1개가 있습니다. · 플랜지는 이중 실리콘 O-링으로 밀봉되며 최대를 달성할 수 있습니다. 고급 기계식 펌프의 진공 압력은 10E-2 Torr이고 분자 펌프의 진공 압력은 10E-5 Torr입니다(진공 펌프는 포함되어 있지 않으므로 별도로 주문하십시오). · 하나의 디지털 진공 게이지가 상단 플랜지에 설치됩니다. · 정밀 부식 방지 디지털 진공 게이지는 표준 패키지에 있습니다. (2016.03.24부터) .
가스 흐름 제어	측정 범위가 16~160mL/m로 조정 가능한 2개의 플로트 미터와 통합된 가스 혼합기
히터 및 샘플 홀더	· 2 - 30mm의 간격을 수동으로 조정할 수 있는 2개의 독립적으로 제어되는 히터. · 20개 할로겐 램프는 신속한 열처리를 위한 가열 요소로 사용됩니다. · 히터는 열 복사를 줄이고 빠른 냉각을 허용하기 위해 물 냉각 재킷이 있는 스테인리스 스틸로 만들어집니다. · 5" Dia. 원형 웨이퍼 홀더는 기판을 고정하기 위해 상단 히터에 내장되어 있습니다. · 열전도율이 높은 AlN 플레이트 또는 흑연 플레이트(직경 5" x 두께 0.5mm) 한 세트 포함(재료 증발을 위해 바닥에 배치) · 수원 절약을 위해 58L/min 순환식 냉각기가 포함되어 있습니다(자세한 사양을 보려면 아래 그림을 클릭하십시오).
온도 조절기	· 프로그래밍 가능한 30개 세그먼트가 있는 2개의 정밀 디지털 온도 컨트롤러는 상단 및 하단 히터를 독립적으로 제어합니다. · 각 컨트롤러에는 과열로부터 히터를 보호하는 PID 자동 튜닝 기능과 과열 및 열 커플이 끊어지는 것을 방지하는 알람 기능이 있습니다. · PC 통신 인터페이스 & 아래와 같이 온도 프로파일을 기록하기 위한 소프트웨어가 설치되어 있습니다. ·
작동 온도	· 각 히터의 최대 온도: <= 800ºC. · 두 히터 사이의 최대 온도 차이: <= 300ºC는 두 히터 사이의 간격에 따라 다릅니다. 영형 간격 30mm 최대 온도차: 315ºC @ 난방 바닥만
난방 및 난방 냉각 속도	· 가열: &lt; 8ºC/s(가열 단일 히터만 해당) · 냉각: &lt; 10ºC/s(600 - 100ºC) 최대
열 커플	2개의 K형 열전쌍이 상하 히터에 별도로 설치됩니다.
작동 전압	220VAC, 단상, 60A 공기 차단기 필요
전력 요구 사항	총 9.5KW
치수	1085mm L x 680mm W x 1710mm H
배송 무게 &amp; 치수	· 팔레트 2개: 525lbs 및 48" x 40" x 87" 및 165lbs(39x31x29" 치수)
선택 과목	· 하나의 진공 펌프가 필요합니다. 아래 왼쪽에서 첫 번째 사진을 클릭하여 별도로 주문하십시오. 진공 수준은 &lt; = 기계식 펌프에 의한 10E-2 torr. · 부식성 가스를 사용하는 경우에는 아래 왼쪽에서 두 번째 사진의 부식 방지 건식 펌프(독일 Pfeiffer 펌프)를 추가 비용으로 사용하는 것을 고려하십시오. · 오른쪽 아래 첫 번째 사진을 클릭하시면 디지털 MFC 가스 공급 시스템을 선택하실 수 있습니다.
보증	평생 지원으로 1년 제한(석영관 및 가열 램프와 같은 소모성 부품은 보증이 적용되지 않음).
노트북, 소프트웨어 &amp; WiFi 제어(옵션)	· 즉시 사용할 수 있는 Microsoft Window 10 및 Microsoft Office 2013(30일 무료 평가판)이 포함된 새로운 노트북. · Labview 기반 온도 제어 시스템( EQ-MTS01 ) 사용자는 온도 프로필을 편집하고 열처리 레시피를 관리하며 MTI 용광로에 대한 데이터를 기록 및 플롯할 수 있습니다. · 무선 리모콘은 최대 300미터의 작동 범위를 제공합니다. · 위의 기능은 추가 비용(최대 ,000)으로 요청 시 사용할 수 있습니다. 자세한 내용은 당사에 문의하십시오. · 메모: 이 소프트웨어는 다음과만 호환됩니다. 티맥스 의 Yudian 온도 조절기
애플리케이션 노트 &amp; 경고	· 석영 튜브가 있는 튜브 퍼니스는 진공 및 저압 &lt; 0.2바/3psi/0.02MPa. 진공 압력은 최대 1000°C까지만 안전하게 사용할 수 있습니다. 가스의 유량은 &lt; 튜브에 대한 열충격을 줄이기 위한 200SCCM(또는 200ml/min). · 주목 : 가스통에 2단계 압력 조절기를 설치하여 안전한 작동을 위해 압력을 3 PSI 이하로 제한해야 합니다. · 이 퍼니스의 풋 스탠드는 평평한 표면에서 단거리 운반을 위해 설계되었습니다.