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2 in 1 Film Coater: 플라즈마 스퍼터 및 탄소 증발 코팅기
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4개의 열원이 있는 초음파 고진공 열 증발 코터 기계(10-6 torr)
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최대 800°C에서 최대 5" 직경 웨이퍼의 급속 열 처리를 위한 Two Zones Lab CSS Furnace
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SEM 샘플 준비를 위한 마그네트론 이온 열 증발 탄소 스퍼터 코터
SEM 샘플 준비를 위한 마그네트론 이온 열 증발 탄소 스퍼터 코터 소개 마그네트론 이온 스퍼터링 장치 & 열의 증발 탄소 코터 실험실 SEM 샘플 준비에 이상적이며 설계되었습니다. SD900C 모델(마그네트론 이온 스퍼터링 장치)은 더 나은 이미징을 위해 비전도성 또는 열에 민감한 SEM 샘플을 Au로 코팅하는 데 널리 사용됩니다. 또한 표면 처리에 탁월하며 기판 샘플의 손상을 방지합니다. SD900C 모델(Thermal Evaporation Carbon Unit) 탄소 코팅기는 시료 표면에 얇은 전도성 탄소 필름을 도포합니다. 비전도성 샘플에 이 코팅을 적용하는 것은 SEM에서 분석을 위한 전하 전자 아티팩트를 줄이기 위한 효과적인 준비 기술입니다. 적절한 진공 펌프를 사용하면 5분 이내에 작업 진공 압력에 빠르게 도달할 수 있습니다. 사용자 친화적이고 조작하기 쉽습니다. 진공 펌프가 포함되어 있습니다. 냉각기는 옵션입니다. (마그네트론 이온 스퍼터링 장치용) 모수 진공 피 음 에스 등 ( 영형 필수) 아르 자형 귀리 V 어큐움 피 음 로타리 피 엄핑 에스 오줌 50Hz : 8 m³ / 시간 ( 2 . 2 L/s)/60Hz : 9. 6 m³ /시간 ( 2 . 6 패/초) 진공 엘 모방하다 2 아빠 최대 스퍼터링 전류 100mA 최대 증발 현재의 100A 일하고 있는 피 압력 20Pa - 8 아빠 진공청소기 티 나 <5 최소( 2 아빠) 진공 미디엄 여유 대기에서 ~까지의 측정 범위 2*10 -2 엠바 가스 씨 제어 가스 에프 낮은 씨 컨트롤러 방 에스 이즈 Φ 15 0* 12 0mm(높이) 긁힘 방지 석영 유리 마그네트론 티 arget 에스 출처 타겟 사이즈 φ50* 0.1 mm( ㅏ 유)/ 티 대상 소스: Au,Ag,Pt 증발 t arget 에스 출처 타겟 소재:카본 로프 /타겟 소스:카본 로프 작업 미디엄 방법 사용 설명서 엘 (2개) 무게/ 에스 이즈 55 킬로그램/ 36 길이 0mm x 30 폭 0mm 엑스 38 높이 0mm 힘 에스 공급하다 AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz 힘 씨 소비 < 20 00W 냉각 미디엄 방법 공기 씨 울링 (증발)+수냉(스퍼터링) 보증 평생 제품에 대한 1년 제한 보증 지지하다 티