입력 전원

• 단상 AC220V, 50/60Hz
• 1000W(진공 펌프 및 물 냉각기 포함)
• 전압이 110V인 경우 TMAX에서 1500W 변압기를 주문할 수 있습니다.

전원

• 수동 매칭 기능이 있는 13.5MHz, 100W RF 발생기가 포함되어 스퍼터링 헤드에 연결됨
• 지속적인 노동 시간:
• 100W: ≤ 1시간
• 80W: ≤ 1.5시간
• 70W: ≤ 2시간
• 60W: ≤ 4시간
• 50W: ≤ 8시간
• 하중 범위: 0 – 80 조정 가능. 튜닝 범위: -200j – 200j 조정 가능
• 회전식 스위치는 한 번에 하나의 스퍼터링 헤드를 활성화할 수 있습니다. 스퍼터링 헤드는 "플라즈마에서" 전환 가능(다층 공정 중 진공 및 플라즈마 중단 없음)
• DC 전원 공급 장치를 사용하면 코터를 금속 필름 증착을 위한 1인치 DC 스퍼터링 소스로 쉽게 수정할 수 있으므로 3개의 DC, 1개의 RF/2개의 DC 및 2개의 RF/1개의 DC 스퍼터링 헤드 구성이 가능합니다. (왼쪽 하단 사진. 제품 옵션에서 선택하세요.)
• 옵션인 300W 자동 일치 RF 발생기는 추가 비용으로 사용할 수 있습니다.

마그네트론 스퍼터링 헤드

• 수냉 재킷이 있는 3개의 1" 마그네트론 스퍼터링 헤드가 포함되어 있으며 빠른 클램프를 통해 석영 챔버에 삽입됩니다.
• RF 케이블 교체는 TMAX에서 구입할 수 있습니다.
• 하나의 수동 작동 셔터가 플랜지에 내장되어 있습니다(그림 #3 참조).
• 스퍼터링 헤드 냉각을 위한 10L/min 디지털 제어식 재순환 냉각기 1개가 포함되어 있습니다.
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스퍼터링 타겟

• 대상 크기 요구 사항: 최대 직경 1" x 1/8" 두께
• 스퍼터링 거리 범위: 50 – 80mm 조절 가능
• 스퍼터링 각도 범위: 0 – 25° 조정 가능
• 1" 직경 Cu 타겟 및 Al 2 영형 삼 대상은 데모 테스트에 포함됩니다.
• 요청 시 추가 비용으로 다양한 산화물 1" 스퍼터링 타겟을 사용할 수 있습니다.
• 타겟 본딩을 위해 1mm 및 2mm 구리 백킹 플레이트가 포함되어 있습니다. 실버 에폭시(그림 #1) 및 추가 구리 백킹 플레이트(그림 #2)는 TMAX에서 주문할 수 있습니다.

진공 챔버

• 진공 챔버: 256mm OD x 238mm ID x 276mm 높이, 고순도 석영으로 제작
• 밀봉 플랜지: 274mm Dia. 고온 실리콘 O-링이 있는 알루미늄으로 제작
• 챔버의 RF 방사선을 100% 차폐하기 위해 스테인리스 스틸 실드 케이지가 포함되어 있습니다.
• 최대 진공 수준: 1.0E-5 Torr(옵션인 터보 펌프 및 챔버 베이킹 포함)

샘플 홀더

• 샘플 홀더는 스테인리스 스틸 커버가 있는 세라믹 히터로 제작된 회전 및 가열 가능한 스테이지입니다.
• 샘플 홀더 크기: 50mm Dia. 을 위한. 최대 2" 웨이퍼(아래 그림 참조)
• 회전 속도: 균일한 코팅을 위해 조정 가능한 1 - 10 rpm
• 홀더 온도는 RT에서 최대 600°C(600°C에서 최대 5분, 500°C에서 최대 2시간)에서 디지털 온도 컨트롤러를 통해 +/- 1.0°C의 정확도로 조정 가능합니다.

진공 펌프

• KF40 진공 포트는 진공 펌프에 연결하기 위해 내장되어 있습니다.
• 진공 수준: 2단 기계식 펌프가 포함된 1.0E-2 Torr
• 옵션 터보 펌프가 있는 1.0E-5 Torr

선택 과목

• 정밀 석영 두께 센서는 옵션입니다. 0.1Å의 정확도로 코팅 두께를 모니터링하기 위해 챔버에 내장할 수 있습니다(수냉 필요).
• 원격 두께 및 코팅 속도 모니터링을 위해 PC에 간편한 USB 연결
• 5개의 석영 센서(소모품)가 포함되어 있습니다.
• 온도 컨트롤러의 원격 PC 제어는 옵션입니다.
• 원격 온도 제어를 위해 PC에 간편한 USB 연결
• 온도 제어 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 모듈은 LabView와 호환됩니다.
• DC 마그네트론 스퍼터링의 경우 터보 펌프를 권장합니다(그림 #3).
• N 반응성 스퍼터링 2 또는 O 2 선택적 가스 혼합 제어 스테이션과 함께 사용할 수 있습니다.
• 

크기

• 540mm L x 540mm W x 1000mm H

순중량

• 60kg

규정 준수

• CE 승인
• MET 인증(UL 1450)은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다. 견적을 받으려면 영업 담당자에게 문의하십시오.

보증

• 평생 지원이 포함된 1년 제한 보증

애플리케이션 노트

• 이 소형 1" RF 마그네트론 스퍼터링 코터는 일반적으로 고진공 설정이 필요하지 않은 산화물 단결정 기판에 산화물 박막을 코팅하도록 설계되었습니다.
• 안전한 사용을 위해 가스의 출력압력을 0.02 MPa 이하로 제한하기 위해 가스통에 2단 압력조절기(별매품)를 설치해야 합니다. >를 이용하십시오. 플라즈마 스퍼터링용 5N 순도의 Ar 가스
• 최상의 필름-기판 접착 강도를 위해 코팅하기 전에 기판 표면을 청소하십시오.
• (1) 아세톤, (2) 이소프로필 알코올 - 오일과 그리스를 제거하기 위해 순차적인 수조를 사용한 초음파 세척. 기판을 N2로 불어 건조시킨 다음 진공에서 가열 베이킹하여 흡수된 수분을 제거합니다.
• 표면 거칠기, 표면 화학 결합 활성화 또는 추가 오염 제거를 위해 플라즈마 세척이 필요할 수 있습니다.
• Cr, Ti, Mo, Ta와 같은 얇은 버퍼층(~5nm)을 적용하여 금속 및 합금의 접착력을 향상시킬 수 있습니다.

• 최상의 성능을 위해 비전도성 타겟을 구리 백킹 플레이트와 함께 설치해야 합니다. 타겟 본딩에 대해서는 아래 지침 비디오(#3)를 참조하십시오.
• TMAX는 A에서 Z까지 단결정 기판을 공급합니다.
• TMAX RF 플라즈마 스퍼터링 코팅기는 Al에 ZnO를 성공적으로 코팅했습니다. 2 영형 삼 500 °C의 기판(그림 #5의 XRD 프로파일)
• 박막/코팅 전극의 유연성을 EQ-MBT-12-LD 맨드릴 굽힘 시험기 .
• 높은 전압! 스퍼터링 헤드는 고전압에 연결됩니다. 안전을 위해 작업자는 샘플 로드 및 대상 변경 작업 전에 RF 발생기를 종료해야 합니다.
• 물 냉각기에 수돗물을 사용하지 마십시오. 냉각수, 탈이온수, 증류수 또는 방청 첨가제를 물과 함께 사용
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