입력 전원

• 220VAC, 50/60Hz, 단상
• 800W(펌프 포함)
• 전압이 110VAC인 경우 1000W 변압기가 필요합니다. 왼쪽 그림을 클릭하여 주문하십시오.

소스 전원

• 하나 자동 매칭 기능이 있는 13.5MHz, 300W RF 발생기 기능은 캐비닛에 내장되어 있으며 2" 스퍼터링 헤드에 연결됩니다.
• 선택 사항: DC 스퍼터링 전원은 금속 재료 코팅에 사용할 수 있습니다.

마그네트론 스퍼터링 헤드

• 수냉 재킷이 있는 2" 마그네트론 스퍼터링 헤드 1개가 포함되어 있으며 빠른 클램프를 통해 석영 챔버에 삽입됩니다.
• 플랜지에 하나의 셔터 내장(수동 작동)
• 마그네트론 스퍼터링 헤드를 냉각하려면 16L/min 디지털 제어식 재순환 냉각기 1개가 필요합니다.
• 1" 스퍼터링 헤드는 추가 비용으로 교체 가능하고 선택 사항입니다.
• 148cm RF 케이블은 추가 비용으로 교체 가능
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스퍼터링 타겟

• 대상 크기 요구 사항: 최대 직경 2" x 두께 1/4"
• 데모 테스트를 위해 하나의 SiO2 타겟이 포함되어 있습니다.
• Al2O3 세라믹 타겟 권장 코팅 방법
• 옵션인 2" 스퍼터링 타겟(백킹 플레이트 포함)은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다.

진공 챔버

• 진공 챔버: 160mm OD x 150mm ID x 250mm 높이. 고순도 석영으로 만든
• 밀봉 플랜지: 165mm Dia. 고온 실리콘 O-링이 있는 알루미늄으로 제작
• 챔버의 RF 방사선을 100% 차폐하기 위해 스테인리스 스틸 메쉬 커버가 포함되어 있습니다.
• 진공 수준: 2단 기계식 펌프가 포함된 경우 1.0E-2 Torr 및 옵션인 터보 펌프가 있는 경우 1.0E-5 Torr

샘플 홀더

• 샘플 홀더는 스테인레스 스틸 커버가 있는 세라믹 히터로 제작되어 회전 및 가열이 가능합니다.
• 샘플 홀더 크기: 50mm Dia. 최대 2" 웨이퍼용
• 회전 속도 조절 가능: 균일한 코팅을 위한 1 - 10 rpm
• 홀더 온도는 RT에서 최대 500°C까지 디지털 온도 컨트롤러를 통해 +/- 1.0°C의 정확도로 조정할 수 있습니다.
• 800-1000ºC 가열 샘플 홀더는 요청 시 제공됩니다.
• 옵션인 진동 샘플 홀드는 파워 PVD 코팅에 사용할 수 있습니다. ( 아래 그림 3 )
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진공 펌프장

• KF25 진공 포트는 진공 펌프에 연결하기 위해 내장되어 있습니다.
• KF25 어댑터가 있는 진공 펌프가 필요하지만 포함되어 있지 않습니다.. 별도로 주문하려면 사진을 클릭하십시오.
• 진공 수준: 듀얼 스테이지 기계식 펌프의 경우 1.0E-2 Torr 및 터보 펌프의 경우 1.0E-5 Torr

선택 과목

• 정밀 석영 두께 센서는 선택 사항이며 챔버에 내장되어 0.10Å의 정확도로 코팅 두께를 모니터링할 수 있습니다. 노트북은 디스플레이 두께 코브에 필요합니다.
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전반적인 차원

순중량

• 70kg

보증 및 보증 규정 준수

• 평생 지원이 포함된 1년 제한 보증
• CE 인증
• NRTL 또는 CSA 인증은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다.

애플리케이션 노트

• 이 소형 2" RF 마그네트론 스퍼터링 코터는 일반적으로 고진공 설정이 필요하지 않은 산화물 단결정 기판에 산화물 박막을 코팅하도록 설계되었습니다.
• >를 이용하십시오. 플라즈마 스퍼터링용 5N 순도의 Ar 가스
• 최상의 필름-기판 접착 강도를 위해 코팅하기 전에 기판 표면을 청소하십시오.
• (1) 아세톤, (2) 이소프로필 알코올 - 오일과 그리스를 제거하기 위해 순차적인 수조를 사용한 초음파 세척. 기판을 N2로 불어 건조시킨 다음 진공에서 가열 베이킹하여 흡수된 수분을 제거합니다.
• 표면 거칠기, 표면 화학 결합 활성화 또는 추가 오염 제거를 위해 플라즈마 세척이 필요할 수 있습니다.
• Cr, Ti, Mo, Ta와 같은 얇은 버퍼층(~5nm)을 적용하여 금속 및 합금의 접착력을 향상시킬 수 있습니다.
• 최상의 성능을 위해서는 비전도성 타겟을 구리 백킹 플레이트와 함께 설치해야 합니다. 타겟 본딩에 대해서는 아래 지침 비디오(#3)를 참조하십시오.
• TMAX는 Coater를 사용하여 Al에 ZnO를 성공적으로 코팅했습니다. 2 영형 삼 500 °C의 기판(그림 #5의 XRD 프로파일)
• 물 냉각기에 수돗물을 사용하지 마십시오. 탈이온수, 증류수 또는 방청 첨가제를 콜런트로 사용하십시오.
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