입력 전압

• 220VAC 50/60Hz
• 110V 전원은 다음을 사용하여 사용할 수 있습니다. 1000W 변압기(15A 퓨즈 ). 변압기는 별매입니다

출력 파워

• 1600VDC
• 250W
• 최대 150mA
• 내장형 과전류 보호(>150mA)

스퍼터링 헤드

• 수냉 재킷이 있는 2" 유연한 마그네트론 스퍼터링 헤드 포함
• 표적 보호를 위한 수동 작동 셔터 1개
• 스퍼터링 헤드 홀더는 작동하지 않는 동안 스퍼터링 헤드를 고정할 수 있습니다.
• 스퍼터링 헤드와 샘플 스테이지 사이의 거리는 60 - 100mm로 조정 가능
• 하나 물 냉각 재순환 물 냉각기 16 L/min 흐름 스퍼터링 헤드 냉각용 포함

진동 스테이지

• 진동 스테이지는 진공 챔버 바닥에 내장되어 있습니다.
• 진동 속도는 400 - 2000 RPM(6 - 33Hz)에서 조정 가능합니다.
• 2인치 분말 용기 하나를 진동 스테이지에 놓습니다. 진동 중에 회전합니다.
• 제안된 분말 양: < 최대 500mg
• 제안된 입자 크기: 1 ~ 1000 미크론

진공 챔버

• 석영 유리관, 165mm OD. X 150mm ID x 250mm 높이

제어판

• 손쉬운 조작을 위한 PLC 통합 기능이 있는 6" 컬러 터치스크린 제어판
• 모든 매개변수 모니터링 및 제어를 위한 하나의 패널: 진공, 전류

궁극의 진공 압력

• 내장형 KF25 진공 포트
• 시스템에는 압력 조절기가 있는 Ar 가스 탱크가 필요합니다(포함되지 않음).
• < 1.0E-2토르 베인 진공 펌프(포함되지 않음) Au, Ag, Pt, Cu, Mo 타겟용(공기에 민감하지 않음)
• < 1.0E-5 토르 터보 분자 펌프(포함되지 않음) Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn 타겟용(공기 민감)
• 가장 낮은 진공은 < 밤새 펌핑하여 4.0E-6 Torr 베이킹

가스 분위기

• Ar 가스 주입구가 더 나은 플라즈마 코팅을 달성할 수 있도록 하나의 니들 밸브 설치
• 시스템에는 압력 조절기가 있는 Ar 가스 탱크가 필요합니다(포함되지 않음).

표적

• 테스트를 위해 2" 구리 타겟 1개 포함, 타겟 크기: 2" Dia. × 2.5mm
• 그것은 또한 코팅 할 수 있습니다 Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg 등 거의 모든 종류의 금속재료
• 경고: 알루미늄, 크롬 또는 니켈 이 기계로 코팅할 수 있지만 아래 대상 링크에서 권장 코팅 방법을 확인하십시오.
• 비전도성 물질 및 탄소 코팅에는 RF 플라즈마 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용하십시오.

전체 치수

순중량

• 20kg

배송 무게 & 치수

• 160파운드
• 45" x 45" x 40"

규정 준수

• CE 승인
• NRTL(UL 6100) 인증은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다. 견적을 받으려면 영업 담당자에게 문의하십시오.

보증

• 평생 지원으로 1년 제한

애플리케이션 노트

• 경고: 스퍼터링 헤드는 고전압에 연결됩니다. 작업자는 작동 중에 장갑을 착용해야 합니다.
• 코팅하기 전에 대상, 스퍼터링 헤드, 기판 및 가열 단계가 깨끗한지 확인하고 사포와 알코올을 사용하여 매번 Al 또는 니켈 대상을 청소하고 신선하게 해야 합니다.
• 참고: 분말은 코팅하기 전에 잘 건조되고 분산되어야 합니다.
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