특징

• SEM 시료용 전도성 금막 코팅용으로 특별히 설계됨
• 금, 백금 및 은과 같은 금속 코팅용으로 설계된 소형 플라즈마 스퍼터링 코터
• 하나 2" 금(4N) 타겟 포함되어 있다

입력 전압

• 220VAC 50/60Hz, 200W
• < 1000W(진공 펌프 동력 포함)
• 110VAC 전원은 다음을 사용하여 사용할 수 있습니다. 1000W 변압기(15A 퓨즈) . 변압기는 별매입니다

출력 전압

• 500VDC

스퍼터링 전류

• 0 - 50mA(최대) 조정 가능한 스퍼터링 전류
• 디지털 전류계(mA)
• 과전류 보호

스퍼터링 시간

• 1 -120초 조정 가능

표본실

• 석영 유리관, 165mm OD. x 150mm ID x 150mm 높이

표본 단계

• 2" 직경
• 높이 조절 가능, 샘플에서 대상까지 30 - 80mm

스퍼터링 헤드

• 2" 마그네트론 스퍼터링 헤드
• 표적 보호를 위한 수동 작동 셔터 1개

진공 압력

• 디지털 진공 압력계(Pa)
• KF25 진공 펌프 커넥터
• 기계식 펌프에 의한 최종 진공 압력 1 Pa. 펌프는 포함되어 있지 않습니다

진공 펌프(옵션)

• 2단 로터리 베인 펌프 EQ-FYP를 권장합니다.
• 선택 사항: 다음을 사용할 수 있습니다. 터보 펌프 터보 펌프로 1.0E-5 Torr 진공 달성 (우측 하단 사진 클릭)

입력 가스

• 불활성 가스 실린더를 연결하기 위해 1/4 Swagelok 유형 튜브 피팅 1개가 설치됩니다.
• 입력 가스를 조정하기 위한 하나의 계량 밸브가 전면 패널에 있습니다.

표적

• 하나의 50mm 직경. x 0.12mm 골드 타겟 포함
  
  
• 4N 순도 금박: 50mm(2인치) Dia. x 0.12 mm (코터에 포함 및 사전 설치됨)
  
• 선택적 대상을 사용할 수 있습니다. (주문은 아래 클릭)
  • Au 대상 (직경 50mm x 0.12mm, 4N 순도)
  • PT 대상 (직경 50mm x 0.12mm, 4N 순도)
  • Ag 대상 (직경 50mm x 0.5mm, 4N 순도)

Gold, Silver, Platinium 코팅에 적합한 모델입니다. 에너지가 낮아 Al, Mg, Zn, Carbon target 등의 경금속 소재 코팅에는 적합하지 않습니다. 당사의 고전력 DC/RF 마그네트론 스퍼터링 코터 또는 열 증발 코터를 고려하십시오.

제품 치수 및 무게

• 460mm(길이) × 330mm(너비) × 520mm(높이)
• 20kg

배송 무게 & 치수

• 80파운드
• 45" x 45" x 40"

규정 준수

• CE 인증
• 추가 비용으로 UL/CSA 인증을 통과할 준비가 되었습니다.

보증

• 평생 지원으로 1년 제한

애플리케이션 노트

• 최상의 필름-기판 접착 강도를 위해 코팅하기 전에 기판 표면을 청소하십시오.
• 오일과 그리스를 제거하기 위해 (1) 아세톤, (2) 이소프로필 알코올과 같은 순차 수조를 사용한 초음파 세척(주문하려면 아래 그림 클릭). 기판을 N2로 불어 건조시킨 다음 진공에서 가열 베이킹하여 흡수된 수분을 제거합니다.
• 표면 거칠기, 표면 화학 결합 활성화 또는 추가 오염 제거를 위해 플라즈마 세정(주문하려면 아래 그림 클릭)이 필요할 수 있습니다.
• Cr, Ti, Mo, Ta와 같은 얇은 버퍼층(~5nm)을 적용하여 금속 및 합금의 접착력을 향상시킬 수 있습니다.

• 안전한 사용을 위해 가스의 출력압력을 0.02 MPa 이하로 제한하기 위해 가스통에 2단 압력조절기(별매품)를 설치해야 합니다. >를 이용하십시오. 플라즈마 스퍼터링용 5N 순도의 Ar 가스
• 스퍼터링 코터는 코팅을 위해 Ar 및 N2 가스 글러브 박스에 넣을 수 있습니다.
• 코팅 두께를 늘리기 위해 여러 번 코팅하십시오. 물 냉각 장치가 없으므로 각 사용 사이에 몇 분 동안 기계를 식히십시오.
• 높은 전압! 스퍼터링 헤드는 고전압에 연결됩니다. 안전을 위해 작업자는 샘플 로드 및 대상 변경 작업 전에 장비를 종료해야 합니다.
• 이 모델은 낮은 에너지로 인해 Al, Mg, Zn 또는 Carbon target과 같은 가벼운 금속 물질을 코팅하는 데 적합하지 않습니다. 당사의 마그네트론 스퍼터링 코터 또는 열 증발 코터를 고려하십시오. (자세한 내용은 아래 사진 클릭)