입력 전압

• 220VAC 50/60Hz
• 110V 전원은 다음을 사용하여 사용할 수 있습니다. 1000W 변압기(15A 퓨즈 ). 변압기는 별도로 판매됩니다.

출력 파워

• 1600VDC
• 250W
• 최대 150mA
• 내장형 과전류 보호(>150mA)

표본실

• 석영 유리관, 165mm OD. X 150mm ID x 250mm 높이

스퍼터링 헤드 &
표본 단계

• 수냉 재킷이 있는 2" 유연한 마그네트론 스퍼터링 헤드가 포함되어 있습니다(그림 1).
• 하나의 50mm 직경 스테인리스 스틸 샘플 스테이지는 0 - 5 RPM에서 회전 가능합니다.
• 표적 보호를 위한 수동 작동 셔터 1개. (그림 2)
• 스퍼터링 헤드 홀더는 작동하지 않는 동안 스퍼터링 헤드를 고정할 수 있습니다.
• 스퍼터링 헤드와 샘플 스테이지 사이의 거리는 60 - 100mm로 조정 가능합니다.
• 최대 코팅 면적: 최대 직경 4"
• 하나 공기 냉각 재순환 물 냉각기 10 L/min 유량 냉각 스퍼터링 헤드에 포함되어 있습니다. (그림 6)
• 

제어판

• 손쉬운 조작을 위한 PLC 통합 기능이 있는 6" 컬러 터치스크린 제어판
• 모든 매개변수 모니터링 및 제어를 위한 하나의 패널: 진공, 전류.

궁극의 진공 압력

• 내장형 KF25 진공 포트
• 시스템에는 압력 조절기가 있는 Ar 가스 탱크가 필요합니다. (포함되지)
• < 1.0E-2토르 베인 진공 펌프(포함되지 않음) Au, Ag, Pt, Cu, Mo 타겟용(공기에 민감하지 않음)
• < 1.0E-5 토르 터보 분자 펌프(포함되지 않음) Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn 타겟용(공기 민감)
• 가장 낮은 진공은 < 밤새 펌핑하여 4.0E-6 Torr 베이킹

가스 분위기

• Ar 가스 주입구가 더 나은 플라즈마 코팅을 달성할 수 있도록 하나의 니들 밸브 설치
• 시스템에는 압력 조절기가 있는 Ar 가스 탱크가 필요합니다(포함되지 않음).

표적

· 하나의 2" 구리 타겟이 테스트용으로 포함되어 있습니다. 타겟 크기: 2" Dia.x 2.5mm.

• 그것은 또한 코팅 할 수 있습니다 Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg 등 거의 모든 종류의 금속 재료.
• 경고 : 알루미늄, 크롬 또는 니켈 타겟 본 기계로도 도장이 가능하나 권장 도장방법을 확인하신 후 사용하시기 바랍니다.
• 알루미나 코팅을 위해 RF 플라즈마 마그네트론 스퍼터링을 사용하십시오.

선택적 필름 두께 모니터

• 필름 두께 모니터는 추가 비용으로 선택 사항입니다.
• 추가 비용으로 요청 시 최대 500°C까지 가열 가능한 샘플 스테이지 사용 가능
• 정확한 가스 주입구 제어를 위한 유량계는 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다.

전체 치수

• L440mm×W330mm×H290mm

순중량

• 20kg

배송 무게 & 치수

• 160파운드
• 45" x 45" x 40"

규정 준수

• CE 승인
• NRTL 인증은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다. 견적을 받으려면 영업 담당자에게 문의하십시오.

보증

• 평생 지원으로 1년 제한

애플리케이션 노트

• 경고: 스퍼터링 헤드는 고전압에 연결됩니다. 작업자는 작동 중에 장갑을 착용해야 합니다.
• 코팅하기 전에 대상, 스퍼터링 헤드, 기판 및 가열 단계가 깨끗한지 확인하고 사포와 알코올을 사용하여 매번 Al 또는 니켈 대상을 청소하고 신선하게 해야 합니다.