최대 직경 3" 및 650ºC의 급속 열 처리를 위한 Lab Two Zones CSS Furnace.

OTF-1200X-RTP-II는 11" OD 석영 튜브가 있는 2개의 가열 영역 급속 열처리로입니다. PVD 또는 CSS( 근접 승화 ) 최대 3" 직경 또는 2"x2" 정사각형의 필름 코팅 퍼니스는 최대 20ºC/s의 가열 속도로 개별적으로 두 그룹의 할로겐 히터(상단 및 하단)에 의해 가열됩니다. 2개의 30 세그먼트 정밀 온도 컨트롤러가 내장되어 있습니다. +/-1ºC 정확도. RS485 포트 및 제어 소프트웨어가 포함되어 PC를 통해 가열로 작동 및 온도 프로파일 로깅이 가능합니다. CdTe, Sulfide 및 P와 같은 태양 전지용 차세대 박막 연구에 탁월한 도구입니다. 에로브스카이트 태양전지.

명세서:

용광로 구조 & 진공 챔버	· 듀얼 히터, 온도 컨트롤러 2개, 2채널 가스 유량계가 모바일 알루미늄 합금 프레임에 통합되었습니다. · 챔버는 고순도 용융 석영 튜브로 만들어집니다. · 석영 튜브 크기: 11" OD/10.8" ID x 9" H · 진공 플랜지는 스테인리스 스틸 316으로 제작되었습니다. · 전체 치수: 850(L)×745(W)×1615(H)mm
진공 플랜지	· 1개의 KFD-25 진공 포트와 2개의 가스 배출구(1/4" 파이프 필요)가 있는 상단 플랜지는 기판과 증발된 재료를 쉽게 로드 및 언로드하기 위해 수동으로 위아래로 슬라이드할 수 있습니다. · 하단 플랜지에는 2개의 가스 유입구(1/4" 파이프 필요)와 니들 밸브가 있는 1개의 KFD-25 진공 포트가 있습니다. · 플랜지는 이중 실리콘 O-링으로 밀봉되며 고품질 기계식 펌프로 10E-2 Torr, 분자 펌프로 10E-5 Torr의 최대 진공 압력을 달성할 수 있습니다(진공 펌프는 포함되어 있지 않으므로 별도로 주문하십시오). · 정밀 부식 방지 디지털 진공 게이지는 표준 패키지에 있습니다. (2016.03.24부터) .
가스 유량계	측정 범위가 다음과 같은 두 개의 플로트 미터가 제어 패널에 설치됩니다. · 16 -160mL/분 · 400 - 4000 mL/m(퍼지용)
히터 및 샘플 홀더	· 빠른 가열을 위한 발열체 역할을 하는 2개의 단파장 IR 램프. · 두 히터 사이의 거리는 10 - 50mm로 조정 가능 · 히터는 열 복사를 줄이고 빠른 냉각을 허용하기 위해 수냉 재킷이 있는 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다. · 3" 원형 웨이퍼 홀더 기판을 로드하기 위한 상단 히터가 내장되어 있습니다. · 열전도율이 높은 AlN 플레이트(3"Dia x 0.5mm 두께) 1개가 포함되어 있으며 기판 뒷면에 놓아 균일하게 가열되도록 합니다. · 3" 그라파이트 플레이트 1개를 AIN 플레이트 대신 사용할 수 있습니다. 주문하려면 아래 사진을 클릭하십시오. · 할로겐 라이트 히터 교체는 추가 비용으로 가능합니다.
온도 조절기	· 프로그래밍 가능한 30개 세그먼트가 있는 2개의 정밀 디지털 온도 컨트롤러는 상단 및 하단 히터를 독립적으로 제어합니다. · 각 컨트롤러에는 PID 자동 조정 기능이 있어 과열 및 열 커플 파손을 방지하기 위한 알람 기능과 과열로부터 히터를 보호합니다. · PC 통신 인터페이스 & 아래와 같이 온도 프로파일을 기록하기 위해 소프트웨어가 설치됩니다(자세한 내용은 아래 그림 클릭).
작동 온도	· 각 히터의 최대 온도: <= 650ºC · 두 히터 사이의 최대 온도 차이: <= 300ºC는 두 히터 사이의 간격에 따라 다릅니다. 영형 간격 30mm 최대 온도차: 315ºC @ 난방 바닥만 영형 간격 40mm 최대 온도차: 350ºC @ 난방 바닥만 영형 간격 50mm 최대 온도차: 395ºC @ 난방 바닥만
난방 및 난방 냉각 속도	· 가열: &lt; 8ºC/s(가열 단일 히터만 해당) · 냉각: &lt; 10ºC/s(600 - 100ºC) 최대
열 커플	K형 열전대(노출형) 2개를 상하 히터에 별도로 설치
작동 전압	208 - 240VAC, 단상, 20A 공기 차단기
전력 요구 사항	총 2200W(히터당 1100W)
선택 과목	· 하나의 진공 펌프가 필요합니다. 아래 왼쪽에서 첫 번째 사진을 클릭하여 별도로 주문하십시오. 진공 수준은 &lt; = 기계식 펌프에 의한 10E-2 torr · 부식성 가스를 사용하실 경우 아래 왼쪽에서 두 번째 사진의 부식 방지 건식 펌프(독일 Pfeiffer 펌프)를 추가 비용으로 사용하는 것을 고려하십시오. · 수원 절약을 위한 재순환 냉각기를 별도로 주문할 수 있습니다. · 오른쪽 아래에서 첫 번째 사진을 클릭하여 디지털 MFC 가스 공급 시스템을 선택할 수 있습니다.
보증	평생 지원으로 1년 제한(석영관 및 가열 램프와 같은 소모성 부품은 보증 대상이 아님)
노트북, 소프트웨어 &amp; WiFi 제어(옵션)	· 즉시 사용할 수 있는 Microsoft Window 10 및 Microsoft Office 2013(30일 무료 평가판)이 포함된 새로운 노트북. · Labview 기반 온도 제어 시스템( EQ-MTS01 ) 사용자는 온도 프로필을 편집하고 열처리 레시피를 관리하며 MTI 용광로에 대한 데이터를 기록 및 플롯할 수 있습니다. · 무선 리모콘은 최대 300미터의 작동 범위를 제공합니다. · 위의 기능은 추가 비용(최대 ,000)으로 요청 시 사용할 수 있습니다. 자세한 내용은 당사에 문의하십시오. · 메모: 이 소프트웨어는 MTI의 Yudian 온도 컨트롤러와만 호환됩니다. ·
애플리케이션 노트	기사를 읽으십시오: 고효율 CSS CdTe 태양전지
경고	· 석영 튜브가 있는 튜브 퍼니스는 진공 및 저압에서 사용하도록 설계되었습니다. 0.2바/3psi/0.02MPa. 진공 압력은 최대 1000°C까지만 안전하게 사용할 수 있습니다. 가스의 유량은 &lt; 튜브에 대한 열 충격을 줄이기 위한 200SCCM(또는 200mL/분). · 주목 : 가스통에 2단계 압력 조절기를 설치하여 안전한 작동을 위해 압력을 3 PSI 이하로 제한해야 합니다.