진공 피 음 에스 등

( 영형 필수) 아르 자형 귀리 V 어큐움 피 음

로타리 피 엄핑 에스 오줌

50Hz : 8 m³ / 시간 ( 2 . 2 L/s)/60Hz : 9. 6 m³ /시간 ( 2 . 6 패/초)

진공 엘 모방하다

2 아빠

최대 스퍼터링 전류

0-20mA

일하고 있는 피 압력

30Pa - 7 아빠

진공청소기 티 나

<5 최소( 2 아빠)

진공 미디엄 여유

대기에서 측정 범위 2*10 ^-2 엠바

가스 씨 제어

가스 에프 낮은 씨 컨트롤러

방 에스 이즈

Φ 15 0* 12 0mm(높이) 긁힘 방지 석영 유리

마그네트론 티 arget 에스 출처

타겟 사이즈 φ50* 0.1 mm( ㅏ 유)/ 티 대상 소스: Au,Ag,Pt

작업 미디엄 방법

사용 설명서 엘

무게/ 에스 이즈

45 킬로그램/ 36 길이 0mm x 30 폭 0mm 엑스 38 높이 0mm

힘 에스 공급하다

AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz

힘 씨 소비

< 15 00W

냉각 미디엄 방법

공기 씨 울링

보증

평생 제품 지원이 포함된 1년 제한 보증 티