진공 피 음 에스 등

( 영형 필수) 아르 자형 귀리 V 어큐움 피 ump+( 영형 무료) 티 우르보 미디엄 올레쿨란 피 펌프 세트

로타리 피 엄핑 에스 오줌

50Hz : 16 m³ / h(4.4L/s)/ 60Hz: 19.2 m³ /시간(5.2L/초)

분자 피 엄핑 에스 오줌

300L/ 에스

진공 엘 모방하다

5*10 ^-5 아빠

일하고 있는 피 압력

0.5-5Pa

진공청소기 티 나 나

>10분(10 ^-삼 아빠)

진공 미디엄 여유

대기에서 측정 범위 1*10 ^-6 아빠

가스 씨 제어

가스 에프 낮은 씨 컨트롤러

방 에스 이즈

φ260*200mm(높이) 미디엄 에탈

마그네트론 티 arget 에스 출처

타겟 사이즈 φ50×3mm(Cu)/ 티 대상 소스: 승 에크 미디엄 자기 에스 물질 / 미디엄 재료

작업 미디엄 방법

사용 설명서 엘

무게/ 에스 이즈

100kg/길이 610mm x 폭 420mm x 높이 490mm

힘 에스 공급하다

AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz

힘 씨 소비

<3000W

냉각 미디엄 방법

공기 씨 울링( 피 엄)+ 승 ater 씨 울링( 에스 퍼터링 티 arget)

보증

평생 제품 지원이 포함된 1년 제한 보증