모든 유형의 기판 세척을 위한 기판 히터가 있는 탁상용 자외선(UV) 오존 클리너

특징

TMAX-PCE-22는 기판 히터가 있는 탁상용 자외선(UV) 오존 세정기 , 어느 모든 유형의 기판을 청소하는 데 사용됩니다. 저렴한 비용으로 더 나은 박막 품질을 달성합니다. 또한 포토레지스트 제거 및 박리, 표면 습윤성 개선, SEM & TEM 샘플, UV 폴리머 활성화, 조립 등

UV-오존 클리너는 매우 효과적인 강렬한 185nm 및 254nm UV 광선을 사용하여 비산성, 건식, 비파괴 원자 세정 및 유기 오염 물질 제거용 . 대기 및 실온에서 185 라인은 오존을 생성하고 254 라인은 표면의 유기 분자를 여기시킵니다. 이 조합은 유기 오염 물질을 빠르게 파괴하고 제거합니다.

명세서

입력 전원

· AC 220V, 50/60Hz, (요청 시 110VAC 가능)

· 전력 350W Max.

환경 요구 사항

· 실내 전용; 고도 사용 최대 5,500피트;

· 온도 범위 화씨 41-104도;

· 최대 상대 습도 80%, 화씨 87도까지 선형으로 감소하여 화씨 104도에서 상대 습도 50%;

· 공칭 전압의 10%를 초과하지 않는 주 전원 공급 변동; 과전압 범주 II;

· 오염도 2; <45ppb에서 오존 수준(주위) 측정.

UV 램프

· 고체 금속 이중파 수은 램프

· 파장: 253.7nm 및 184.9nm

· UV 램프 수명: 5000시간

· 자외선 영역: 200 x 200 mm

· 최대 직경 12" x 35mm 두께의 크리스탈 웨이퍼를 세척할 수 있습니다.

· UV 램프는 잠재적인 운송 손상을 방지하기 위해 기계와 함께 별도로 배송됩니다.

챔버 & 샘플 단계

· 스테인리스 스틸 케이스

· 간편한 시료 적재를 위한 슬라이딩 서랍

· 샘플 스테이지 영역은 310mm x 320mm( ~12"x12" )입니다.

· 최대. 샘플 두께: 40mm

· 챔버 내부에 오존 배출 장치 내장

· 타이머 범위는 0.01초에서 99.9시간까지입니다.

가열 가능한 샘플 스테이지

· 샘플 스테이지는 정밀 온도 컨트롤러로 최대 150ºC까지 가열 가능

· 온도 컨트롤러는 +/-2 C 정확도로 프로그래밍 가능한 20 세그먼트입니다.

· 온도 균일성: 6인치 직경 영역 내에서 <10C; 직경 12인치 이내 <20C

· 가열 속도: 최대 15C.

· 샘플 스테이지와 램프 사이의 거리는 20mm에서 40mm까지 조정 가능합니다.

벤트 포트

· 3인치 직경의 벤트 포트는 기계 후면에 내장되어 있습니다.

· 실험실 환기 시스템에 클리너 배기구를 연결하기 위한 10피트 유연한 파이프 1개와 환기 클램프 1개가 포함되어 있습니다.

치수

· 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

순중량

· 62파운드

배송 무게 & 치수

· 160파운드

· 47" x 39" x 32"

보증

평생 지원이 포함된 2년 제한 보증. 깨지기 쉬운 UV 램프는 보증에 포함되지 않습니다.

신청

· 클린 실리콘 웨이퍼, 갈륨 비소 웨이퍼, 석영 및 ITO 유리

· 사파이어, STO, LAO 등 모든 종류의 산화물 단결정 기판 세정.

· 깨끗한 금과 Pt 표면

· 경금속 재료의 산화 표면

· 폴리머 활성화 및 폴리머 가교

· UV Strip Photo Resist / 포토레지스트

· UV 클린 생산 라인 LED 디스플레이

입력 전원	· AC 220V, 50/60Hz, (요청 시 110VAC 가능) · 전력 350W Max.
환경 요구 사항	· 실내 전용; 고도 사용 최대 5,500피트; · 온도 범위 화씨 41-104도; · 최대 상대 습도 80%, 화씨 87도까지 선형으로 감소하여 화씨 104도에서 상대 습도 50%; · 공칭 전압의 10%를 초과하지 않는 주 전원 공급 변동; 과전압 범주 II; · 오염도 2; <45ppb에서 오존 수준(주위) 측정.
UV 램프	· 고체 금속 이중파 수은 램프 · 파장: 253.7nm 및 184.9nm · UV 램프 수명: 5000시간 · 자외선 영역: 200 x 200 mm · 최대 직경 12" x 35mm 두께의 크리스탈 웨이퍼를 세척할 수 있습니다. · UV 램프는 잠재적인 운송 손상을 방지하기 위해 기계와 함께 별도로 배송됩니다.
챔버 & 샘플 단계	· 스테인리스 스틸 케이스 · 간편한 시료 적재를 위한 슬라이딩 서랍 · 샘플 스테이지 영역은 310mm x 320mm( ~12"x12" )입니다. · 최대. 샘플 두께: 40mm · 챔버 내부에 오존 배출 장치 내장 · 타이머 범위는 0.01초에서 99.9시간까지입니다.
가열 가능한 샘플 스테이지	· 샘플 스테이지는 정밀 온도 컨트롤러로 최대 150ºC까지 가열 가능 · 온도 컨트롤러는 +/-2 C 정확도로 프로그래밍 가능한 20 세그먼트입니다. · 온도 균일성: 6인치 직경 영역 내에서 <10C; 직경 12인치 이내 <20C · 가열 속도: 최대 15C. · 샘플 스테이지와 램프 사이의 거리는 20mm에서 40mm까지 조정 가능합니다.
벤트 포트	· 3인치 직경의 벤트 포트는 기계 후면에 내장되어 있습니다. · 실험실 환기 시스템에 클리너 배기구를 연결하기 위한 10피트 유연한 파이프 1개와 환기 클램프 1개가 포함되어 있습니다.
치수	· 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
순중량	· 62파운드
배송 무게 & 치수	· 160파운드 · 47" x 39" x 32"
보증	평생 지원이 포함된 2년 제한 보증. 깨지기 쉬운 UV 램프는 보증에 포함되지 않습니다.
신청	· 클린 실리콘 웨이퍼, 갈륨 비소 웨이퍼, 석영 및 ITO 유리 · 사파이어, STO, LAO 등 모든 종류의 산화물 단결정 기판 세정. · 깨끗한 금과 Pt 표면 · 경금속 재료의 산화 표면 · 폴리머 활성화 및 폴리머 가교 · UV Strip Photo Resist / 포토레지스트 · UV 클린 생산 라인 LED 디스플레이