2 in 1 Film Coater: 플라즈마 스퍼터 및 탄소 증발 코팅기

GSL-1100X-SPC-16C-LD는 2-in-1 소형 코팅 장치입니다. 플라즈마 스퍼터링 및 증발을 하나의 소형 기계에 통합하는 이중 단계 로터리 베인 진공 펌프. 재료 분석에서 미세 구조 및 미세 영역 구성 분석을 위한 SEM 및 EDAX 샘플을 저렴한 비용으로 준비하기 위해 특별히 설계되었습니다. 카본을 비롯한 다양한 소재를 코팅합니다.

명세서

입력 전압	208 - 240VAC, 단상, 50/60Hz 110V 버전은 1500W 변압기와 함께 사용할 수 있습니다.
힘	< 2000W(펌프 포함)
출력 파워	플라즈마 스퍼터링: 1600VDC 및 최대 50mA 증발: 10VAC 및 최대 전류 20A(텅스텐 와이어 바스켓용).
작업실	용융 유리관, 직경 160mm x 110mm 높이
코팅 헤드	2개의 코팅 헤드가 포함되어 있습니다. DC 스퍼터링 헤드(2" 타겟) ( 그림 1 ) 텅스텐 와이어 바스켓을 통한 열 증발(그림 2)
샘플 스테이지	50mm 직경 1개 샘플 스테이지, 최대 코팅 면적: 45mm Dia Al, Li, Mg와 같은 경량 금속 재료를 코팅하기 위한 증발 고정구가 포함되어 있습니다.
액세서리 포함	더블 스텝 로터리 베인 진공 펌프 (외부) Pirani 게이지 및 10-2 torr까지 진공에 도달할 수 있는 오일 미스트를 제거하는 Vapor trap 포함 자동 에어 블리드용 솔레노이드 밸브 1개가 포함되어 있습니다. 더 나은 탄소 증발을 위해, 최대 10-5 torr의 진공에 도달할 수 있는 추가 비용으로 아래 그림과 같이 분자 펌프를 사용하는 것이 좋습니다.
가스 분위기	Ar 가스 주입구가 더 나은 플라즈마 코팅을 달성할 수 있도록 하나의 니들 밸브 설치
타겟 & 증발원	하나 Au 대상: 50mm Dia. x 0.12mm, 1개 포함되어 있습니다. 탄소 증발을 위한 3피트 탄소 섬유(원사) 1개 포함(탄소 코팅에 탄소 막대를 사용할 수 없음)
전체 치수	L360mm x W300mm x H380mm
순중량	50kg
규정 준수	CE 승인 NRTL 또는 CSA 인증은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다. 견적을 받으려면 영업 담당자에게 문의하십시오.
보증	평생 지원으로 1년 제한
스퍼터 코팅에 대한 지식	(주)티맥스는 고객과 최첨단 스퍼터 코팅 기술을 공유합니다. 시스템에는 포함되지 않은 압력 조절기가 있는 Ar 가스 탱크가 필요합니다.