구조

· 회전을 안정적으로 유지하는 알루미늄 주조 케이스

· 배수구 및 진공 펌프 커넥터는 후면 패널에 있습니다.

· 하나의 필터가 표준 패키지에 포함되어 있습니다. 폐수가 펌프로 유입되는 것을 방지하기 위해 펌프와 코터를 연결하는 데 사용됩니다.

· 오일리스 펌프 하나 내가 포함 n 표준 패키지.

챔버 및 진공 척

· 챔버 직경은 250 mm이며, 웨이퍼 8 "직경 최대 또는 5"x5 "사각형 수용 가능

· 방적 챔버는 부식 방지 pp로 제작

· 6 "및 8"웨이퍼를 고정하기위한 6 "진공 척 및 척 O- 링 1 개 포함

· 불규칙한 형태의 기판 또는 크기가 & lt; 1 인 웨이퍼를 코팅하기 위해 1 개의 접착 테이프 (6 ''w x 24 ''l)가 포함된다. 6

회전 속도

· 회전 시간과 속도가 다른 두 개의 프로그래밍 가능한 세그먼트가있는 디지털 제어판

· 각 세그먼트에 대해 500-6000 rpm의 조절 가능한 회전 속도

액체 주입

· 20ml 주사기는 코팅 재료를 포함하는 데 사용됩니다

· 지지대를 따라 주사기 홀더 높이를 자유롭게 조절하고 회전 할 수 있습니다.

선택 과목

· 보다 정확한 코팅을 위해 정밀한 전자 단일 채널 피펫 : 20-200ul을 선택할 수 있습니다

· 코팅 전에 기판 표면을 처리하기 위해 플라즈마 클리너를 사용하여 필름 품질을 향상시킬 수 있음

· 당신은 우리의 신제품을 고려할지도 모릅니다 : 가열 가능한 주사기

· 진공 플래시 보조 용액 공정 (VAPS)을위한 진공 플래시 어셈블리, 최대 5mtorr 사용 가능

· 최대 100 ° c의 디지털 온도 컨트롤러가있는 가열 덮개 (최대 지속 시간 & lt; 1 분) 추가 비용 ($ 2495)으로 제공되므로 코팅 중 및 코팅 후 샘플 건조가 가능합니다.

입력 파워

· AC 110V / 220V 선택 가능

· vtc-200 스핀 코터의 오른쪽에는 전원 소켓이 내장되어 있습니다. 진공 펌프에 전원을 공급하는 데 사용됩니다. 이 전원 공급 장치의 출력 전압은 스핀 코터 주 회로의 입력 전압에 따라 다릅니다. (예 : 스핀 코터가 AC 110V 전원 소켓에 연결되어 있으면 내장 전원 소켓이 AC 110V를 공급합니다)

모터 파워

90VDC, 150W

제품 치수

500mm (l) x 400mm (d) x 400mm (h)

순중량

20kg (44 파운드)

응낙

· ce 인증

보증

· 평생 지원으로 1 년 제한

· 부적절한 보관 조건 또는 유지 보수로 인한 녹 및 손상은 보증 대상이 아닙니다