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프로그래밍 가능한 질량 유량계 제어 시스템 MFS 시스템
Model Number:
TMAX-MFS:
Xiamen지불:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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다음:
분자 펌프
프로그래밍 가능한 질량 유량계 제어 시스템 MFS 시스템
1. 가스는 가스 흐름을 제어하기 위해 가스 공급 시스템의 입구에 대한 테프론 파이프를 통해 압력 감소 밸브를 통해 실린더 밖으로 흐른 다음 양성자 유량계를 통해 공기 혼합 탱크를 통해 다음으로 흐릅니다. 용광로의 공기 흡입구. 가스는 3 방향 밸브를 통해 공기 배출 파이프에서 흘러 나오고 한쪽 끝은 진공 펌프와 연결되고 다른 쪽 끝은 공기 배출구와 연결됩니다.
2. 공기 혼합 탱크는 압력계와 연결되어 있으며 압력계의 표시 패널과 양성자 유량계는 동일한 패널에 설치됩니다.
3. 각 가스 파이프라인에는 안전을 보장하기 위해 고압 스톱 밸브가 있습니다.
4. 가스 경로는 고정밀 가스 로터미터를 채택하고 내부 가스 경로는 내식성이 좋은 테플론 튜브를 채택합니다.
5. 모든 조인트는 우수한 기밀성과 높은 내압성을 지닌 페룰로 연결됩니다.
6. 장비 구성: 다중 채널 흡기 파이프라인, 양성자 유량계, 공기 혼합 탱크 및 공기 출구 파이프라인
특징
1. 여러 공기 흡입 채널은 고객, 표준 인터페이스, 편리한 연결에 의해 사용자 정의됩니다.
2. 액정 터치 스크린은 각 채널의 가스 흐름을 제어 및 입력하고 각 채널의 가스 흐름 곡선을 실시간으로 봅니다.
3. 각 가스 경로에는 고압 차단 밸브가 제공되어 가스 경로 차단에 편리합니다.
명세서
가스 경로 /채널 |
2/3/4/5/6/7/8/9/10 선택 가능 |
가스 종류 |
고객이 선택 |
유량계 범위 |
5-500SCCM, 1-10SLM 선택 가능 |
작동 전압 |
220v/50Hz |
작동 압력 차이 |
0.1-0.5MPa |
최대 압력 |
3MPa |
정확성 |
±1.5%F.S |
선의 |
±0.5~1.5% F.S |
양성자 유량계의 해당 시간 |
<1S |
측정 범위 |
0.1-0.15MPa |
섞는 탱크 |
봄 여름 시즌 30 4 |
공기 흡입구 및 배출구 |
φ 6mm 스테인리스 스틸 페룰 인터페이스 |
파이프 재질 |
6mm 직경의 스테인레스 스틸 파이프는 내부 파이프에 사용됩니다. 6mm 테플론 파이프는 외부 파이프에 사용됩니다. |
제어 시스템 |
PLC 제어 시스템, LCD 터치 스크린 입력, 각 가스 경로의 독립적인 제어 |