로타리 PECVD 튜브 용광로 (60 m m OD)와 단일가 열 1200 ° C 최대 영역.

티 맥스-DSP-1200PECVD-XZ s는 3 영역 1200ºC PE-CVD 500W RF 플라즈마 소스는 통합된 채널 정밀 질량 흐름 미터 가스 혼합 탱크, 보일 러 튜브의 튜브로 시스템 구성 및 높은-품질 오일 레 스 진공 펌프. 같은 PE CVD로 나노와이어 나 그래 핀 성장 또는 SiC를 코팅 하는 새로운 도구.

사양:

전원	3.5 KW
튜브 크기	Dia 60(OD) X1200mm
제품 치수 (mm)	1300 x 420 x 1200
튜브 회전 속도	0-25 RPM 변수
로 기울기 각도	-10-30 °
	기능 1. 2 개의 프로그래밍 가능한 정밀 임시입니다. 30 세그먼트는 컨트롤러 2. 두 별도로 제어 난방 영역: 200 m m 길이 각각에 대 한 난방 영역 난방에 총 400 m m 길이 250 m m 정 중앙 두 영역 동시가 열 했다 경우 지역 난방 온도 온도
로 구조	1. 슬라이딩 레일 와 분할 튜브로 2. 연속 난방에 대 한 최대 1150ºC 3. 다중 프로그래밍 가능한 정밀 디지털 30 세그먼트는 온도 컨트롤러 4. 입력 전원: 208-240V AC 입력된, 단일 최대 단계입니다. 4KW
플라즈마 RF 전원 공급	1. 출력 전력: 5-500W ± 1% 안정성과 조정 가능한. 2. RF 주파수: 13.56 m h z 0.005% 안정성입니다. 3. 반사 전력: 10W 최대. 4. 일치: 자동 5. RF 출력 포트: 50 Ω, N 형, 여성 6. 잡음: < 30 dB. 7. 냉각: 공기 냉각입니다. 8. 전원: 208-240VAC, 단상, 50/60 Hz
방식 제 압력	측정 1. 1125 Torr에 3.8x10 -5 측정 범위 2. 방식 제, 가스 유형과 독립적인 3. 높은 정확성과 재현성에 신뢰할 수 있는 대기 압력 감지 분위기 4. 빠른 대기 탐지 제거 대기 시간을 단축 프로세스 사이클 5. 쉬운 교환 플러그 앤 플레이 센서 요소
진공 펌프 역 및 밸브	1. 파이퍼의 고속 (120 L/min) 기름 보다 적게 드라이 진공 펌프, 10E-3 Torr 제한 헤비 듀티 내부 설치 모바일 카트 2. KF25 어댑터와 스테인레스 스틸 파이프 고객의 플러그 볼 밸브와 펌프 및 관 플랜지 사이 연결 재생 3. 10E-2 Torr 진공 달성 될 수 있다 처리 내부 튜브
질량 유량 & 가스 혼합 역	에 설치 되는 튼튼한 모바일 카트 어디 튜브로 위에 놓일 수 있다. LCD 터치 스크린은 가스 흐름에 쉬운 컨트롤을 제공 하기 위해 통합 각 채널의 속도입니다. 1. 작동 온도: 5 ~ 45 º C 2. 최대. 압력: 3 x 10 6 Pa 3. 정확도: ± 1.5% FS 4. 라이너: ±(0.5-1.5) % F.S. 5. 중복 정확도: ±0.2%F.S. 6. 제어 범위: 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM 또는 1,2,3,5, 10SLM.
난방 및 냉각	RS485 포트 속도 및 소프트웨어 설치 및 원격 제어 온도 허용 pc의 프로 파일입니다. 달성 하기 위해 Max.heating 속도, 사용자 원하는 예 열 합니다. 온도, 다음 슬라이드는 튜브 달성 하기 위하여의 샘플 영역에로 최대입니다. 추위를 뜨거운 지역에서가 열된로 이동 냉각 속도, 난방 속도 영역: 15 ° C/sec (RT- 150 ° C); 10 ° C/sec (150 ° C-250 ° C); 7 ° C/sec (250 ° C -350 ° C); 4 ° C/sec (350 ° C -500 ° C); 3 ° C/sec (350 ° C -550 ° C); 2 ° C/sec (550 ° C -650 ° C); 1 ° C/sec (650 ° C -800 ° C); 0.5 ° C/sec (800 ° C-1000 ° C); 냉각 속도: 15 ° C/sec (1000-950 ° C); 10 ° C/sec (950 ° C-900 ° C); 7 ° C/sec (900 ° C-850 ° C); 4 ° C/sec (850 ° C-750 ° C); 2 ° C/sec (750 ° C-600 ° C); 1.5 ° C/sec (600 ° C-500 ° C); 1 ° C/sec (500 ° C-400 ° C); 0.5 ° C/sec (400 ° C-300 ° C);
보증	1 년 제한 평생 보증 지원 합니다.
애플리케이션 노트	튜브 용광로 석 영 튜브는 진공 및 저압 < 0.12 MPa (절대 사용 하기 위한 설계 압력)입니다. 주의: A 2 단계 압력 레 귤 레이 터 제한 하도록 가스 실린더에 설치 되어야 합니다. 안전 작동을 위한 3 PSI 아래 하는 압력. 흐름 율 가스에 대 한 < 200 SCCM (또는 200 ml/min)을 줄이기 위한 제한 되어야 한다 튜브를 열 충격입니다. 진공도 모든 석 영 튜브 용광로 대 한 정의: * 진공 압력만 있을 수 있습니다 안전 하 게 사용 하는 1000 ° c.까지 운영에 대 한 튜브 크기 보다 4"큰 PECVD 시스템 하시기 바랍니다 항상 계속 이상 플라즈마 생성기 시작 후 플라즈마 소스에서 1 미터 거리 작업.

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