제품
Plasma Sputtering Coater

실험실 DC/RF 이중 헤드 진공 2인치 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터 기계

  • Model Number:

    VTC-600-2HD-LD
  • :

    Xiamen
  • MOQ:

    1
  • 지불:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
제품 세부 사항

실험실 DC/RF 이중 헤드 진공 2인치 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터 기계



VTC-600-2HD-LD는 콤팩트한 마그네트론 스퍼터링 시스템으로 이중 2" 타겟 소스(예: 금속 필름 코팅용 DC 소스 하나와 비금속 재료 코팅용 RF 소스)이 있습니다. 이 코팅 시스템은 둘 다 코팅하도록 설계되었습니다. 합금, 강유전체, 반도체, 세라믹, 유전체, 광학, PTFE 등과 같은 광범위한 재료를 위한 단일 또는 다중 필름 레이어 (2015년 9월 25일 이후 개정. 도막 두께 모니터는 포함되어 있지 않습니다.)

명세서


조밀한 구조


입력 전원

  • 단상 AC220V 50/60Hz
  • 2000W(진공 펌프 및 물 냉각기 포함)




소스 전원

  • 두 개의 스퍼터링 전원이 하나의 컨트롤 박스에 통합되었습니다.
    • DC 소스: 금속 재료 코팅용 500W 전력(그림 1)
    • RF 소스: 비전도성 재료 코팅용 300W 전력, 13.56MHz 주파수(그림 2)






마그네트론 스퍼터링 헤드

  • 2개의 2" 마그네트론 스퍼터링 헤드 수냉 재킷과 셔터 포함
  • 하나의 스퍼팅 헤드 모델도 사용 가능 이 상품 페이지에서(상품 옵션에서)
    • 하나는 금속 재료 코팅을 위해 DC 소스에 연결됩니다.
    • 다른 하나는 비전도성 재료용 RF 소스에 연결됩니다.
    • 대상 크기 요구 사항: 직경 2"
    • 두께 범위: 금속 및 비전도성 대상 모두에 대해 0.1 - 5mm(백킹 플레이트 포함)
    • 하나 스테인레스 스틸 목표 대상 및 연구 등급 1개 Al2O3 타겟 데모 테스트용으로 포함됨
    • 옵션인 2" 스퍼터링 타겟(또는 백킹 플레이트)은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다.
    • 권장 스퍼터링 레시피 및 유용한 팁
  • 맞춤형 코터: RF가 없는 2개의 DC 헤드; DC가 없는 2개의 RF 헤드; RF 헤드 3개 요청 시 이용 가능
  • 선택 사항: 148cm RF 케이블은 교체를 위해 추가 비용으로 주문할 수 있습니다. (오른쪽에서 첫 번째 사진을 클릭하여 주문하십시오)




진공 챔버

  • 진공 챔버: 300mm Dia. x 300 mm 높이, 스테인레스 스틸로 제작
  • 뷰포트: 100mm Dia. 유리. 하나는 고정; 세척 및 교체를 위해 분리 가능
  • 공압식 전신주가 있는 경첩식 뚜껑으로 대상 변경이 용이함




샘플 스테이지

  • 샘플 홀더는 구리 커버가 있는 세라믹 히터로 만든 회전 및 가열 가능한 스테이지입니다.
  • 샘플 홀더 크기: 140mm Dia. 을 위한. 4" 웨이퍼 최대
  • 회전 속도: 균일한 코팅을 위해 조정 가능한 1 - 20 rpm
  • 홀더 온도는 RT에서 최대 500°C(최대 2시간)까지 디지털 온도 컨트롤러를 통해 +/- 1.0°C의 정확도로 조정할 수 있습니다.

가스 흐름 제어

  • 두 가지 유형의 가스 유입이 가능하도록 두 개의 정밀 질량 흐름 컨트롤러(MFC)가 설치되어 있습니다.
    • 유속: 터치 스크린 제어판에서 조정 가능한 0 – 200mL/분
  • 진공 해제를 위해 공기 흡입 밸브가 설치되어 있습니다.

진공 펌프장

  • 이동식 펌프 스테이션이 포함되어 있습니다. 스퍼터링 코터는 스테이션 위에 놓을 수 있습니다.
  • 80L/S 속도의 고속 터보 펌프는 최대 진공 수준과 더 빠른 펌핑 속도를 위해 2단계 기계식 펌프(220L/min)와 결합됩니다.
  • 챔버와 연결된 표준 진공 수준: < 4.0E-5 토르. . (챔버 베이킹 시 1.0E-6 Torr)
  • 추가 비용으로 옵션
  • 150L/S 고속 터보 펌프를 선택하면 진공이 챔버로 10-6 torr에 도달할 수 있습니다(베이킹 시 6x10-7 torr).
  • 10^-7 torr까지의 초고진공을 위해서는 터보펌프 외에 게터펌프(100L/s H2 & O2)가 필요하다. 자세한 사용자 정의는 엔지니어에게 문의하십시오.

물 냉각기

  • 하나의 디지털 온도 제어 재순환 냉각기 포함되어 있습니다.
    • 냉장 범위: 5~35 °C
    • 유속: 16L/분
    • 펌프 압력: 14psi




선택 과목

  • 정확한 석영 필름 두께 모니터 0.10Å의 정확도로 코팅 두께를 모니터링하기 위해 챔버에 들어갈 수 있는 옵션입니다.
  • 정도 박막 & 코팅 분석 시스템 - EQ-TFMS-LD 추가 비용으로 이용 가능
  • 요청 시 추가 비용으로 다양한 2인치 산화물 및 금속 타겟을 사용할 수 있습니다. 실버 에폭시 및 구리 백킹 플레이트는 MTI에서 주문할 수 있습니다.




전반적인 차원


코터 순 중량

  • 160kg

배송 무게 & 치수

  • 총 2개의 팔레트
  • #1: 520파운드, 52" x 40" x 50"
  • #2: 420파운드, 48" x 40" x 45"

규정 준수

  • CE 승인
  • MET 인증(UL 1450)은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다. 견적을 받으려면 영업 담당자에게 문의하십시오.

보증

  • 평생 지원이 포함된 1년 제한 보증

애플리케이션 노트

  • 안전한 사용을 위해 가스 출력 압력을 0.02MPa 이하로 제한하기 위해 가스 실린더에 2단계 압력 조절기(별매)를 설치해야 합니다.
  • 챔버에서 산소를 제거하려면 5% 수소 + 95% 질소를 사용하여 챔버를 2-3회 청소하는 것이 좋습니다. 이렇게 하면 산소 수준을 < 10ppm
  • >를 이용하십시오. 플라즈마 스퍼터링을 위한 5N 순도의 아르곤 가스. 5N 순도의 Ar은 일반적으로 공급자에 따라 10 - 100ppm의 산소와 H2O를 포함합니다. MTI는 당신이 사용하는 것이 좋습니다 가스 정화 장치 충전하기 전에 가스를 정화합니다.
  • 최상의 성능을 위해 비전도성 타겟을 구리 백킹 플레이트와 함께 설치해야 합니다. 타겟 본딩은 아래 지침 비디오를 참조하십시오.
  • TMAX는 A에서 Z까지 단결정 기판을 공급합니다.
  • TMAX Sputtering Coater는 Al에 ZnO를 성공적으로 코팅했습니다. 2 영형 500 °C에서 기판
  • 박막/코팅 전극의 유연성 시험 EQ-MBT-12-LD 맨드릴 굽힘 시험기 .
  • 높은 전압! 스퍼터링 헤드는 고전압에 연결됩니다. 안전을 위해 작업자는 샘플 로딩 및 대상 변경 작업 전에 RF/DC 발생기를 종료해야 합니다.
  • 물 냉각기에 수돗물을 사용하지 마십시오. 냉각수, 탈이온수, 증류수 또는 방청 첨가제를 물과 함께 사용

Magnetron Plasma Sputtering Coater