소형 스핀 코터 (최대 8000 rpm, 4 "웨이퍼 최대), 3 세트의 진공 척 및 완벽한 액세서리

구조

· 회전을 안정적으로 유지하는 알루미늄 주조 케이스

· 대부분의 부식성 용액에 견딜 수있는 액체 디스크

· 배수구 및 진공 펌프 커넥터는 후면 패널에 있습니다.

· 하나의 필터가 표준 패키지에 포함되어 있습니다. 폐수가 펌프로 유입되는 것을 방지하기 위해 코터를 연결하는 데 사용됩니다.

· 오일리스 진공 펌프 1 개가 표준 패키지에 포함되어 있습니다.

챔버 및 진공 척

· 챔버 직경 : 145 mm

· 척 오링이있는 3 세트의 pp 부식 방지 진공 척은 크기가 다릅니다 (1 '', 2 ''및 4 '')

· 불규칙한 모양의 기판을 코팅하기 위해 접착 테이프 1 장 (6 ''w x 24 ''l)이 포함되어 있습니다 (예 : 불규칙한 기판을 접착 테이프에 놓으면 진공 척이 테이프를 흡입으로 고정합니다).

· 소형 흡입 컵은 직경이 1 인치 미만인 소형 웨이퍼 또는 규칙적 (5x5 또는 10x10mm) 또는 불규칙한 모양의 기판에 사용할 수 있습니다.

진공 펌프

· 진공 등급 고무 파이프가 즉시 사용 가능

스핀 속도 & amp; 시각

· 디지털 제어판 두 다른 회전 시간과 속도를위한 프로그램 가능한 세그먼트

· 회전 속도 : 500-8000 rpm

· 회전 시간 : 1-60 초

액체 주입

· 20ml 주사기는 코팅 재료를 포함하는 데 사용됩니다

· 지지대를 따라 주사기 홀더 높이를 자유롭게 조절하고 회전 할 수 있습니다.

선택 과목

· 보다 정확한 코팅을 위해 정밀한 전자 단일 채널 피펫 : 20-200ul을 선택할 수 있습니다

· 코팅 전에 기판 표면을 처리하기 위해 플라즈마 클리너를 사용하여 필름 품질을 향상시킬 수 있음

· 당신은 우리의 신제품을 고려할지도 모릅니다 : 가열 가능한 주사기

· 진공 플래시 보조 용액 공정 (VAPS)을위한 진공 플래시 어셈블리, 최대 5mtorr 사용 가능

입력 파워

110vac 또는 220vac 옵션 막대에서 전압을 선택하십시오 (10a 퓨즈)

모터 파워

최대 150W의 24V DC 모터

제품 치수

13 인치 (l) x 10 인치 (w) x 8.5 인치 (h)

순중량

15kg (33 파운드)

응낙

· ce 인증

보증

· 평생 지원으로 1 년 제한

· 부적절한 보관 조건 또는 유지 보수로 인한 녹 및 손상은 보증 대상이 아닙니다

선적 무게

46kg (100 파운드)

어플리케이션 노트

· 최적의 코팅 품질을 얻으려면 코팅 전에 플라즈마 클리너로 인쇄물을 청소하십시오. 이것은 기판상의 표면 장력을 상당히 감소시킬 것이다.

· 스핀 코터에 대한 청소 지침.

· 새로운 제품인 가열식 주사기와 가열식 덮개가있는 스핀 코터를 고려할 수 있습니다.

· 아래 오른쪽과 같이 코터를 hood 후드 아래에 두는 것이 좋습니다.

· ar 가스가있는 글로브 박스에서 코터를 사용할 때 진공 펌프는 진공 피드 스루 또는 어댑터를 통해 글로브 박스 외부에 넣어야합니다.

경고

· 물 그릇 / 받침대에 액체를 너무 많이 흘리지 마십시오. 과도한 액체는 모터 샤프트로 누출되어 손상 될 수 있습니다. 활 /베이스에 남아있는 잔여 물을 닦아내려면 천을 사용하십시오.

· 필요한 경우, 물통 / 받침대를 세척 할 때 작동 중에 액체가 넘치지 않도록 물 배출구를 켜십시오.

배송 치수

40 "(l) x 28"(w) x 24 "(h)

선적 무게

46kg (100 파운드)