제품
RTP Tube Furnace

터보 분자 진공 스테이션 및 완전한 액세서리가 포함 된 소형 4 "rtp 튜브 퍼니스 시스템 (최대 1e-4 torr 및 1100c)

  • Model Number:

    TMAX-1200X-RTP-HV-LD
  • :

    Xiamen
  • 지불:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
제품 세부 사항

터보 분자 진공 스테이션 및 완전한 액세서리가 포함 된 소형 4 "rtp 튜브 퍼니스 시스템 (최대 1e-4 torr 및 1100c)


tmax-1200x-rtp-4-hv 이다 UL 인증 가능 컴팩트 고진공의 급속 열처리 튜브 (4 "i.d.) 퍼니스 스테이션 (다이어프램 펌프 + 터보 분자 펌프) 및 KF-D25 진공 플랜지 어셈블리. 그것은 반도체 웨이퍼 또는 태양 어닐링을 위해 설계되었습니다 최대 3 "직경의 셀. 퍼니스는 처리 튜브 주위에 1kw 할로겐 빛 8 단위로 가열 최대 최대 가열 속도 50c / 초 50 세그먼트 정밀 온도 컨트롤러는 +/- 1 정확도로 내장 ° 씨.


구조

콤팩트   4”RTP 튜브 퍼니스 겹켜 강철 상자   멀 라이트 라이너)

난방   요소

8   PC 할로겐 조명 튜브 (d = 10 l = 300 t = 200, mm)

일   온도

1100 ° C   최대 ( 이 RTP 퍼니스의 최대 유지 시간   1000ºC ~ 1100ºC에서 600 초 미만이어야합니다. 그렇지 않으면 O- 링이   녹다 )

최대   가열 속도

50 ° c / 초

최대   냉각 속도

64 ° c / 분   (진공 하에서 : 200 mtorr), 117 ° c / 분 (대기압 하에서)

난방   존

12 "   +/- 1 ° c 균일 성 내에서 4 "항온 영역의 길이

프로그램   온도 제어 장치

  • pid 자동 제어        통하다 scr        (실리콘 제어 정류기) 전력 제어        위상 각 발사, 전류 제한 저항.
  • 30 개의 프로그래밍 가능한 세그먼트        가열 속도, 냉각 속도 및 체류 시간을 정확하게 제어합니다.
  • 이유를 알아 보려면 여기를 클릭하십시오 scr        ssc (솔리드 스테이트 릴레이)보다 정확합니다.
  • pid 자동 튜닝 기능 내장        과열 및 열전대 파손 보호가 손상되었습니다.
  • 위에        온도 보호 및 경보로 작동 가능        교환 원없이.
  • +/- 1 ℃ 온도 정확도.
  • RS485 통신 포트.
  • pc        제어:
    • MTS-02 제어 모듈 이다         이 퍼니스의 PC 제어에 포함됩니다.
    • 그만큼         PC 모듈의 새 버전은 이제 실험실보기와 호환됩니다 2014 년 5 월 8 일
    • ㅏ         노트북 PC는 퍼니스와 함께 900 달러에 주문할 수 있습니다. 우리         소프트웨어를 피하려면 컴퓨터 (랩탑)를 주문하는 것이 좋습니다         설치 문제 우리         배송 전에 설치 및 테스트를 수행합니다 .

석영   튜브 & amp; 샘플 홀더

  • 석영 관 크기 : 4.33 "o.d x        4.05 인치 i.d x 16.2 "        길이
  • 삼"        직경 샘플 홀더는 슬라이딩 플랜지에 삽입되며        석영
  • 하나        3 "직경 aln 웨이퍼는 홀더 중앙에 위치합니다.        최대 3 "직경의 어닐링 샘플.
  • 알른        가장 높은 온도를 제공하는 열전도율이 매우 높습니다.        시료 영역의 균일 성
  • 그만큼        샘플 홀더는 플랜지에서 분리 가능

진공   플랜지

kf-d25   고진공 플랜지는 이중 고온의 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다. 실리콘   O- 링, 니들 밸브.
슬라이딩 플랜지는 샘플 로딩을위한 쉬운 방법입니다. 3 "쿼츠 샘플   정확한 측정을 위해 삽입 가능한 열전대.

물   냉각 재킷

  • 냉각수가 필요합니다.
  • 유속을 확인하십시오        냉각수는 ≥ 10l / min, 수온입니다. & lt; 25 ℃; 압력 & gt; 25        psi.
  • eq-kj5000 시리즈를 사용하는 것이 좋습니다. 재순환 물 냉각기 로        냉각 시스템 (관련 제품에서 별도로 주문하십시오)        아래) 물을 절약하십시오.

경고 :이 rtp   퍼니스의 최대 체류 시간은 1000ºc ~ 1100ºc에서 600 초 미만이어야합니다.   수돗물로 O- 링이 녹을 수 있습니다. 재순환 수 사용   냉각기의 경우이 유지 시간을 1200 초로 연장 할 수 있습니다.

흐름   미터

하나   유량계는 전면 패널에 설치되어 가스 유량을 0-160으로 조정합니다.   ml / 분

힘   입력

208-240   ac, 50/60 hz 단상, 9 kw 이하 (> 60a 차단기 필요)

hv   역
고진공 스테이션

구조

  • 변하기 쉬운        카트 크기 : 600 (l) x 600 (w) x 700 (w), mm
  • 최대        적재 : 상단에 600 파운드
  • 분자        펌프 제어판 : LCD 디지털
  • 다이어프램 펌프 터보 분자 펌프 아르        강철 케이스 안에 설치.

진공   정도

6.3e-5   mbar (40 분 내에 4 "rtp 튜브 퍼니스 포함)

제어   패널

  • 하나의 버튼 조작 -다이어프램 펌프        "시작"을 누르면 터보 분자 펌프가 시작됩니다        단추.
  • 시스템 제어 스피닝 속도 -컨트롤러는        에 따라 터빈의 회전 속도를 제어합니다        반응 챔버의 진공 수준 및 누출 속도.
  • 자기 보호 -시스템은        과열로 인해 펌프가 손상되지 않도록 보호하십시오.        반응 챔버의 누출 속도가 너무 높아서 높은 진공을 달성 할 수 없습니다.

  • LCD 화면 -이중선        매개 변수 확인 인터페이스 하다        작업을보다 쉽게 ​​처리 할 수 ​​있습니다.

자체 테스트 회전

스타트 업   시각

2   의사록

역행   10mbar에서 펌프 체적 유량

3.8   50hz의 경우 l / min, 60hz의 경우 4.4l / min

힘   입력

110v   AC 또는 220V AC 전환 가능, 50 / 60Hz

힘   소비

지속 시간 / 최대   힘 : 100 / 110watt

배송   정보

무게   그리고 차원

rtp   퍼니스 : 110 lbs, 760 x 330 x 530mm (30 "x 13"x 21 "   인치) l x w x h
HV 스테이션 : 40 파운드, 600 x 600 x 700mm (24 "x 24"x 28 ")   l x 승 x h

보증

평생 지원으로 2 년 제한 보증 (가공 등의 소모품   튜브, O- 링은 보증 범위에 포함되지 않습니다.   아래 관련 제품.)

노트북,   소프트웨어 및 와이파이 제어 (옵션)

  • 새로운 노트북        Microsoft Windows 10 및 Microsoft Office 2013 (30 일 무료 평가판)        즉시 사용하십시오.
  • 랩뷰 기반 온도 제어        체계 사용자가 편집 할 수 있습니다        온도 프로파일, 열처리 레시피 관리, 기록 및 플롯 데이터        mti 용광로 용.
  • 무선 리모컨으로        300 미터 작동 범위.

  • 위의 기능을 사용할 수 있습니다        추가 비용으로 요청하십시오 (최대 $ 1,000). 더 문의하시기 바랍니다        정보.

응낙

  • ce        인증
  • 그만큼        퍼니스는 NRTLS로 테스트 한 UL 61010, IEC 61010, SPE-1000을 통과 할 준비가되었습니다.        추가 비용으로. 견적 및 세부 정보는 당사에 문의하십시오.
  • 온도        컨트롤러가 충족되고 ce 인증되었습니다
  • 높은        진공 스테이션은 tuv 인증을 받았습니다

sliding furnace


1. 우리는 기계를 공급 배터리 기술 지원.

2. 우리는 공급 전 세트 리튬 배터리 장비 실험실 연구, 파일럿 규모 연구 및 생산 린 이자형.


 Vacuum Tube Furnace


1 표준 수출 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장.

2 배송 익스프레스, 공기, 바다 고객의 요구 사항에 따라 가장 적합한.

3 운송 과정에서 손상에 대한 책임은 무료로 손상 부분을 변경합니다.