최대 800°C에서 최대 5x5"의 회전 웨이퍼 홀더가 있는 2구역 CSS 전기로 - OTF-1200X-RTP-II-5-R

OTF-1200X-RTP-II-5-R은 11" I.D. 석영 챔버와 5"x5" 회전 샘플 홀더가 있는 고급 급속 열처리로입니다. 최대 800°C의 작동 온도에서 최대 5" 원형 또는 정사각형 웨이퍼 샘플을 코팅하는 CSS 필름용으로 설계되었습니다. 퍼니스는 최대 2개 그룹의 할로겐 히터(상단 및 하단)에 의해 별도로 가열됩니다. 10 º C/s 가열 속도. 상단 샘플 홀더는 높은 균일성 코팅을 달성하기 위해 회전 가능합니다. CdTe, Sulfide 및 P와 같은 태양 전지용 차세대 박막 연구에 탁월한 도구입니다. 에로브스카이트 태양전지.

명세서:

용광로 구조

용광로, 2개의 온도 컨트롤러, 2채널 가스 유량계가 이동식 알루미늄 합금 프레임에 통합되어 있습니다.

약실은 dimesion를 가진 고순도 융합 석영 관으로 만듭니다 11" 외경/10.8" ID x 9" 높이

진공 플랜지는 스테인레스 스틸 316으로 만들어졌으며 전기 모터로 들어 올립니다.

2개의 5"x5" IR 가열판과 간격을 조정할 수 있습니다.

상단 샘플 홀더는 0 - 7 RPM의 속도로 회전할 수 있습니다.

진공 플랜지

1개의 KFD-25 진공 포트와 1개의 가스 배출구(1/4" 파이프 필요)가 있는 상단 플랜지는 수동으로 위아래로 밀어 기판과 증발된 재료를 쉽게 로드 및 언로드할 수 있습니다.

하단 플랜지에는 니들 밸브가 있는 가스 유입구(1/4" 파이프 필요)가 있는 KFD-25 진공 포트 1개가 있습니다.

플랜지는 이중 실리콘 O-링으로 밀봉되며 최대를 달성할 수 있습니다. 품질에 따라 10E-2 Torr의 진공 압력 기계식 펌프 및 분자 펌프에 의한 10E-5 Torr(진공 펌프는 포함되지 않음, 별도로 주문하십시오).

하나의 디지털 진공 게이지가 상단 플랜지에 설치됩니다.

정밀 부식 방지 디지털 진공 게이지는 표준 패키지에 있습니다. (2016.03.24부터) .

히터 및 샘플 홀더

2 - 30mm 간격으로 수동으로 조정 가능한 2개의 독립적으로 제어되는 히터.

20개 할로겐 램프는 신속한 열처리를 위한 가열 요소로 사용됩니다.

히터는 열 복사를 줄이기 위해 수냉 재킷이 있는 스테인레스 스틸로 만들어졌으며 빠른 냉각이 가능합니다.

5" Dia. 원형 웨이퍼 홀더는 기판을 고정하기 위해 상단 히터에 내장되어 있습니다.

열전도율이 높은 AlN 플레이트 한 세트(직경 5" x 두께 0.5mm)가 포함되어 있습니다(기판 뒷면에 놓으면 균일하게 가열됨).

수원 절약을 위해 58L/min 순환식 냉각기가 포함되어 있습니다(자세한 사양을 보려면 아래 그림을 클릭하십시오).

상단 샘플 홀더는 0 - 7 RPM의 조정 가능한 속도로 회전 가능합니다.

온도 조절기

프로그래밍 가능한 30개 세그먼트가 있는 2개의 정밀 디지털 온도 컨트롤러는 상단 및 하단 히터를 독립적으로 제어합니다.

각 컨트롤러에는 과열로부터 히터를 보호하는 PID 자동 조정 기능과 과열로 인해 열전쌍이 손상되는 것을 방지하는 경보 기능이 있습니다.

PC 통신 인터페이스 & 아래와 같이 온도 프로파일을 기록하기 위해 소프트웨어가 설치됩니다(자세한 내용은 아래 그림 클릭).

작동 온도

각 히터의 최대 온도: ≤ 800ºC.

두 히터 사이의 최대 온도 차이: ≤ 300ºC는 두 히터 사이의 간격에 따라 다릅니다.

간격 30mm 최대 온도차: 315ºC @ 난방 바닥만

난방 및 난방 냉각 속도
가열: < 8ºC/s(가열 단일 히터만 해당)

냉각: < 10ºC/s(600 - 100ºC) 최대

열 커플 2개의 K형 열전쌍이 상하 히터에 별도로 설치됩니다.

작동 전압 208 - 240VAC, 단상, 50A 공기 차단기

전력 요구 사항 총 10KW

치수

(치수를 보려면 그림을 클릭하십시오)

배송 무게 & 치수

팔레트 2개: 525lbs 및 48" x 40" x 87" 및 165lbs(39x31x29" 치수)

선택 과목

하나의 진공 펌프가 필요합니다. 아래 왼쪽에서 첫 번째 사진을 클릭하여 별도로 주문하십시오. 진공 수준은 기계식 펌프로 ≤ 10E-2 torr에 도달할 수 있습니다.

부식성 가스를 사용하실 경우 그림 2-3과 같은 부식방지 건식펌프나 콜드트랩을 별도 비용으로 사용하시기 바랍니다.

오른쪽 아래 첫 번째 사진을 클릭하시면 디지털 MFC 가스 공급 시스템을 선택하실 수 있습니다.

보증 평생 지원으로 1년 제한(석영관 및 가열 램프와 같은 소모성 부품은 보증이 적용되지 않음).

애플리케이션 노트 & 경고

석영 튜브가 있는 튜브 퍼니스는 진공 및 저압에서 사용하도록 설계되었습니다. 0.2바/3psi/0.02MPa. 진공 압력은 최대 1000°C까지만 안전하게 사용할 수 있습니다. 가스의 유량은 < 튜브에 대한 열충격을 줄이기 위한 200SCCM(또는 200ml/min).

ㅏ 주의 : 가스통에 2단계 압력 조절기를 설치하여 안전한 작동을 위해 압력을 3 PSI 이하로 제한해야 합니다.

이 용광로의 받침대는 평평한 표면(움푹 들어간 곳이나 요철이 없는)에서만 단거리 운반용으로 설계되었습니다.

용광로 구조	용광로, 2개의 온도 컨트롤러, 2채널 가스 유량계가 이동식 알루미늄 합금 프레임에 통합되어 있습니다. 약실은 dimesion를 가진 고순도 융합 석영 관으로 만듭니다 11" 외경/10.8" ID x 9" 높이 진공 플랜지는 스테인레스 스틸 316으로 만들어졌으며 전기 모터로 들어 올립니다. 2개의 5"x5" IR 가열판과 간격을 조정할 수 있습니다. 상단 샘플 홀더는 0 - 7 RPM의 속도로 회전할 수 있습니다.
진공 플랜지	1개의 KFD-25 진공 포트와 1개의 가스 배출구(1/4" 파이프 필요)가 있는 상단 플랜지는 수동으로 위아래로 밀어 기판과 증발된 재료를 쉽게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 하단 플랜지에는 니들 밸브가 있는 가스 유입구(1/4" 파이프 필요)가 있는 KFD-25 진공 포트 1개가 있습니다. 플랜지는 이중 실리콘 O-링으로 밀봉되며 최대를 달성할 수 있습니다. 품질에 따라 10E-2 Torr의 진공 압력 기계식 펌프 및 분자 펌프에 의한 10E-5 Torr(진공 펌프는 포함되지 않음, 별도로 주문하십시오). 하나의 디지털 진공 게이지가 상단 플랜지에 설치됩니다. 정밀 부식 방지 디지털 진공 게이지는 표준 패키지에 있습니다. (2016.03.24부터) .
히터 및 샘플 홀더	2 - 30mm 간격으로 수동으로 조정 가능한 2개의 독립적으로 제어되는 히터. 20개 할로겐 램프는 신속한 열처리를 위한 가열 요소로 사용됩니다. 히터는 열 복사를 줄이기 위해 수냉 재킷이 있는 스테인레스 스틸로 만들어졌으며 빠른 냉각이 가능합니다. 5" Dia. 원형 웨이퍼 홀더는 기판을 고정하기 위해 상단 히터에 내장되어 있습니다. 열전도율이 높은 AlN 플레이트 한 세트(직경 5" x 두께 0.5mm)가 포함되어 있습니다(기판 뒷면에 놓으면 균일하게 가열됨). 수원 절약을 위해 58L/min 순환식 냉각기가 포함되어 있습니다(자세한 사양을 보려면 아래 그림을 클릭하십시오). 상단 샘플 홀더는 0 - 7 RPM의 조정 가능한 속도로 회전 가능합니다.
온도 조절기	프로그래밍 가능한 30개 세그먼트가 있는 2개의 정밀 디지털 온도 컨트롤러는 상단 및 하단 히터를 독립적으로 제어합니다. 각 컨트롤러에는 과열로부터 히터를 보호하는 PID 자동 조정 기능과 과열로 인해 열전쌍이 손상되는 것을 방지하는 경보 기능이 있습니다. PC 통신 인터페이스 & 아래와 같이 온도 프로파일을 기록하기 위해 소프트웨어가 설치됩니다(자세한 내용은 아래 그림 클릭).
작동 온도	각 히터의 최대 온도: ≤ 800ºC. 두 히터 사이의 최대 온도 차이: ≤ 300ºC는 두 히터 사이의 간격에 따라 다릅니다. 간격 30mm 최대 온도차: 315ºC @ 난방 바닥만
난방 및 난방 냉각 속도	가열: < 8ºC/s(가열 단일 히터만 해당) 냉각: < 10ºC/s(600 - 100ºC) 최대
열 커플	2개의 K형 열전쌍이 상하 히터에 별도로 설치됩니다.
작동 전압	208 - 240VAC, 단상, 50A 공기 차단기
전력 요구 사항	총 10KW
치수	(치수를 보려면 그림을 클릭하십시오)
배송 무게 & 치수	팔레트 2개: 525lbs 및 48" x 40" x 87" 및 165lbs(39x31x29" 치수)
선택 과목	하나의 진공 펌프가 필요합니다. 아래 왼쪽에서 첫 번째 사진을 클릭하여 별도로 주문하십시오. 진공 수준은 기계식 펌프로 ≤ 10E-2 torr에 도달할 수 있습니다. 부식성 가스를 사용하실 경우 그림 2-3과 같은 부식방지 건식펌프나 콜드트랩을 별도 비용으로 사용하시기 바랍니다. 오른쪽 아래 첫 번째 사진을 클릭하시면 디지털 MFC 가스 공급 시스템을 선택하실 수 있습니다.
보증	평생 지원으로 1년 제한(석영관 및 가열 램프와 같은 소모성 부품은 보증이 적용되지 않음).
애플리케이션 노트 & 경고	석영 튜브가 있는 튜브 퍼니스는 진공 및 저압에서 사용하도록 설계되었습니다. 0.2바/3psi/0.02MPa. 진공 압력은 최대 1000°C까지만 안전하게 사용할 수 있습니다. 가스의 유량은 < 튜브에 대한 열충격을 줄이기 위한 200SCCM(또는 200ml/min). ㅏ 주의 : 가스통에 2단계 압력 조절기를 설치하여 안전한 작동을 위해 압력을 3 PSI 이하로 제한해야 합니다. 이 용광로의 받침대는 평평한 표면(움푹 들어간 곳이나 요철이 없는)에서만 단거리 운반용으로 설계되었습니다.