제품
PVD Coater

DC 마그네트론 침을 뱉고 & 진동 단계를 가진 실험실 분말 PVD Coater 기계

  • Model Number:

    VTC-16--PW
  • :

    Xiamen
  • MOQ:

    1
  • 지불:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
제품 세부 사항

DC 마그네트론 침을 튀기는 &를 가진 실험실 분말 PVD Coater 기계; 진동 스테이지


VTC-16--PW는 컴팩트 파우더 PVD 코터 , 2" 수냉 마그네트론 스퍼터링 헤드와 진동 단계로 구성됩니다. 입자는 코팅 중에 진동 단계에서 점프하여 코어-쉘 구조를 형성합니다. DC 마그네트론 스퍼터는 금속 재료 코팅에 적합합니다. RF 전원은 선택 사항입니다. 비전도성 물질이나 탄소에 대한 코터는 3D 프린팅용 특수 분말 및 고체 전해질 분말을 준비하는 데 유용합니다.

명세서

입력 전압

  • 220VAC 50/60Hz
  • 110V 전원은 다음을 사용하여 사용할 수 있습니다. 1000W 변압기(15A 퓨즈 ). 변압기는 별매입니다

출력 파워

  • 1600VDC
  • 250W
  • 최대 150mA
  • 내장형 과전류 보호(>150mA)


스퍼터링 헤드


  • 수냉 재킷이 있는 2" 유연한 마그네트론 스퍼터링 헤드 포함
  • 표적 보호를 위한 수동 작동 셔터 1개
  • 스퍼터링 헤드 홀더는 작동하지 않는 동안 스퍼터링 헤드를 고정할 수 있습니다.
  • 스퍼터링 헤드와 샘플 스테이지 사이의 거리는 60 - 100mm로 조정 가능
  • 하나 물 냉각 재순환 물 냉각기 16 L/min 흐름 스퍼터링 헤드 냉각용 포함

진동 스테이지

  • 진동 스테이지는 진공 챔버 바닥에 내장되어 있습니다.
  • 진동 속도는 400 - 2000 RPM(6 - 33Hz)에서 조정 가능합니다.
  • 2인치 분말 용기 하나를 진동 스테이지에 놓습니다. 진동 중에 회전합니다.
  • 제안된 분말 양: < 최대 500mg
  • 제안된 입자 크기: 1 ~ 1000 미크론

진공 챔버

  • 석영 유리관, 165mm OD. X 150mm ID x 250mm 높이

제어판

  • 손쉬운 조작을 위한 PLC 통합 기능이 있는 6" 컬러 터치스크린 제어판
  • 모든 매개변수 모니터링 및 제어를 위한 하나의 패널: 진공, 전류

궁극의 진공 압력

  • 내장형 KF25 진공 포트
  • 시스템에는 압력 조절기가 있는 Ar 가스 탱크가 필요합니다(포함되지 않음).
  • < 1.0E-2토르 베인 진공 펌프(포함되지 않음) Au, Ag, Pt, Cu, Mo 타겟용(공기에 민감하지 않음)
  • < 1.0E-5 토르 터보 분자 펌프(포함되지 않음) Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn 타겟용(공기 민감)
  • 가장 낮은 진공은 < 밤새 펌핑하여 4.0E-6 Torr 베이킹

가스 분위기

  • Ar 가스 주입구가 더 나은 플라즈마 코팅을 달성할 수 있도록 하나의 니들 밸브 설치
  • 시스템에는 압력 조절기가 있는 Ar 가스 탱크가 필요합니다(포함되지 않음).


표적

  • 테스트를 위해 2" 구리 타겟 1개 포함, 타겟 크기: 2" Dia. × 2.5mm
  • 그것은 또한 코팅 할 수 있습니다 Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg 등 거의 모든 종류의 금속재료
  • 경고: 알루미늄, 크롬 또는 니켈 이 기계로 코팅할 수 있지만 아래 대상 링크에서 권장 코팅 방법을 확인하십시오.
  • 비전도성 물질 및 탄소 코팅에는 RF 플라즈마 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용하십시오.

전체 치수

순중량

  • 20kg

배송 무게 & 치수

  • 160파운드
  • 45" x 45" x 40"

규정 준수

  • CE 승인
  • NRTL(UL 6100) 인증은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다. 견적을 받으려면 영업 담당자에게 문의하십시오.

보증

  • 평생 지원으로 1년 제한

애플리케이션 노트

  • 경고: 스퍼터링 헤드는 고전압에 연결됩니다. 작업자는 작동 중에 장갑을 착용해야 합니다.
  • 코팅하기 전에 대상, 스퍼터링 헤드, 기판 및 가열 단계가 깨끗한지 확인하고 사포와 알코올을 사용하여 매번 Al 또는 니켈 대상을 청소하고 신선하게 해야 합니다.
  • 참고: 분말은 코팅하기 전에 잘 건조되고 분산되어야 합니다.

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