조밀한 구조

입력 전원

• 단상 AC220V 50/60Hz
• 2000W(진공 펌프 및 물 냉각기 포함)

소스 전원

• 세 개의 스퍼터링 전원이 하나의 제어 상자에 통합되어 있습니다(자세한 사양을 보려면 아래 그림을 클릭하십시오).
• DC 소스: 금속 재료 코팅용 500W 전력(그림 1)
• RF 소스: 비전도성 재료 코팅용 300W 전력, 13.56MHz 주파수(그림 2)

마그네트론 스퍼터링 헤드

• 3개의 2" 마그네트론 스퍼터링 헤드 수냉 재킷과 셔터 포함
• 하나의 스퍼팅 헤드 모델도 사용할 수 있습니다.
• 대상 크기 요구 사항: 직경 2"
• 두께 범위: 금속 및 비전도성 대상 모두에 대해 0.1 - 5mm(백킹 플레이트 포함)
• 하나 스테인리스 스틸 대상 그리고 하나의 연구 등급 Al2O3 타겟 데모 테스트용으로 포함됨
• 옵션인 2" 스퍼터링 타겟(또는 백킹 플레이트)은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다.
• 권장 스퍼터링 레시피 및 유용한 팁
• 맞춤형 코터: DC 2개 - RF 1개; RF 2개 - DC 1개; 3개의 DC; Three RF(제품 옵션에서 선택하세요)
• 선택 사항: 148cm RF 케이블은 교체 시 추가 비용을 지불하고 주문할 수 있습니다.

진공 챔버

• 진공 챔버: 300mm Dia. x 300 mm 높이, 스테인레스 스틸로 제작
• 뷰포트: 100mm Dia. 유리. 하나는 고정; 세척 및 교체를 위해 분리 가능
• 공압식 전신주가 있는 경첩식 뚜껑으로 대상 변경이 용이함

샘플 스테이지

• 샘플 홀더는 구리 커버가 있는 세라믹 히터로 만든 회전 및 가열 가능한 스테이지입니다.
• 샘플 홀더 크기: 140mm Dia. 을 위한. 4" 웨이퍼 최대
• 회전 속도: 균일한 코팅을 위해 조정 가능한 1 - 20 rpm
• 홀더 온도는 RT에서 최대 500°C(최대 2시간)까지 디지털 온도 컨트롤러를 통해 +/- 1.0°C의 정확도로 조정할 수 있습니다.

가스 흐름 제어

• 두 가지 유형의 가스 유입이 가능하도록 두 개의 정밀 질량 흐름 컨트롤러(MFC)가 설치되어 있습니다.
  
  
• 유속: 0 – 200 mL/min & 터치 스크린 제어판에서 0 - 100ml/min 조정 가능
• 진공 해제를 위해 공기 흡입 밸브가 설치되어 있습니다.

진공 펌프장

• 이동식 펌프 스테이션이 포함되어 있습니다. 스퍼터링 코터는 스테이션 위에 놓을 수 있습니다.
• 80L/S 속도의 고속 터보 펌프는 최대 진공 수준과 더 빠른 펌핑 속도를 위해 2단계 기계식 펌프(220L/min)와 결합됩니다.
• 챔버와 연결된 표준 진공 수준: < 4.0E-5 토르. . (챔버 베이킹 시 1.0E-6 Torr)
• 추가 비용으로 옵션
• 150L/S 고속 터보 펌프를 선택하면 진공이 챔버로 10-6 torr에 도달할 수 있습니다(베이킹 시 6x10-7 torr).
• 10^-7 torr까지의 초고진공을 위해서는 터보펌프 외에 게터펌프(100L/s H2 & O2)가 필요하다. 자세한 사용자 정의는 엔지니어에게 문의하십시오.
• 150L/S 고속 터보 펌프
• 게터 펌프
• 

물 냉각기

• 하나의 디지털 온도 제어 재순환 냉각기 포함되어 있습니다.
• 냉장 범위: 5~35 °C
• 유속: 16L/분
• 펌프 압력: 14psi

선택 과목

• 정확한 석영 필름 두께 모니터 0.10Å의 정확도로 코팅 두께를 모니터링하기 위해 챔버에 들어갈 수 있는 옵션입니다.
• 정도 박막 & 코팅 분석 시스템 - EQ-TFMS-LD 추가 비용으로 이용 가능
• 요청 시 추가 비용으로 다양한 2인치 산화물 및 금속 타겟을 사용할 수 있습니다. 실버 에폭시 및 구리 백킹 플레이트는 TMAX에서 주문할 수 있습니다.

전반적인 차원

코터 순 중량

• 160kg

배송 무게 & 치수

• 총 3개의 팔레트
• 365파운드, 48" x 40" x 45"
  
  
• 390파운드, 48"x 40" x 49"
  
  
• 210파운드, 48" x 40"x 30"
  
  

규정 준수

• CE 승인
• MET 인증(UL 1450)은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다. 견적은 영업 담당자에게 문의하십시오.

보증

• 평생 지원이 포함된 1년 제한 보증

애플리케이션 노트

• 안전한 사용을 위해 가스 출력 압력을 0.02MPa 이하로 제한하기 위해 가스 실린더에 2단계 압력 조절기(별매)를 설치해야 합니다.
• 챔버에서 산소를 제거하기 위해 TMAX는 5% 수소 + 95% 질소를 사용하여 챔버를 2-3회 청소할 것을 제안합니다. 10ppm
• >를 이용하십시오. 플라즈마 스퍼터링을 위한 5N 순도의 아르곤 가스. 5N 순도의 Ar은 일반적으로 공급자에 따라 10 - 100ppm의 산소와 H2O를 포함합니다. TMAX는 당신이 사용하는 것을 건의합니다 가스 정화 장치 충전하기 전에 가스를 정화합니다.
• 최상의 성능을 위해 비전도성 타겟을 구리 백킹 플레이트와 함께 설치해야 합니다. 타겟 본딩은 아래 지침 비디오를 참조하십시오.
• TMAX는 A에서 Z까지 단결정 기판을 공급합니다.
• TMAX Sputtering Coater는 Al에 ZnO를 성공적으로 코팅했습니다. 2 영형 삼 500 °C에서 기판
• 박막/코팅 전극의 유연성 시험 EQ-MBT-12-LD 맨드릴 굽힘 시험기 .
• 높은 전압! 스퍼터링 헤드는 고전압에 연결됩니다. 안전을 위해 작업자는 샘플 로딩 및 대상 변경 작업 전에 RF/DC 발생기를 종료해야 합니다.
• 물 냉각기에 수돗물을 사용하지 마십시오. 녹과 부식을 방지하기 위해 녹 방지 냉각수를 사용해야 합니다.