정밀한 4개 소스 열 증발 시스템

온도 조절기

GSL-1700X-EV4는 총 4개의 증발 소스 도가니와 정밀하고 프로그래밍 가능한 온도 제어 기능을 갖춘 소형 열 증발 시스템입니다. 4개의 증발 도가니를 사용하여 동일한 챔버 분위기에서 다층 필름을 하나씩 성장시키기 위해 여러 다른 재료를 증착할 수 있습니다. 이 시스템은 200 ºC ~ 1500 ºC(또는 선택 사양인 B형 열전쌍 사용 시 200 ºC - 1700 ºC)에서 최대 2" 크기까지 대부분의 금속 및 유기 재료 필름을 코팅하는 데 적합합니다.

명세서:

구조 및 구조 특징	280mm 외경 x 260mm 내경 x 310mm 높이의 석영 챔버로 간편한 세척 및 시료 로딩 균일한 필름 코팅을 위한 2" 직경 회전 증발원 최대 1700ºC의 고온 코팅용 텅스텐 코일 히터 및 알루미나 도가니 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트 및 +/- 1ºC 정확도로 정밀한 온도 제어 선택적 터보 펌프를 통해 최대 1.0E-5 Torr의 고진공 달성 가능 챔버 퍼지 및 CVD 가능을 위한 가스 흐름 포트 및 밸브 내장
입력 전원	입력 전압: AC 208 - 240V 50/60Hz, 단상(1500W 변압기를 통해 110V AC 사용 가능) 입력 전력: 1,200W 출력 전력:: 12V 및 30A 최대 전류. 권장 작동 전류 30A 미만 플러그 없이 포함된 전원 케이블
온도 조절 & 히터	각 용량이 3mL인 알루미나 증발 도가니 4개. 4개의 소스를 동시에 사용할 수 없습니다. 다층 증착은 하나씩 수행됩니다. 열전대가 있는 텅스텐 코일 히터는 알루미나 도가니 하단에 내장되어 있습니다(온도 조절용(그림 1). 치수는 왼쪽 그림을 참조하십시오. 표준 S 유형 열전쌍(포함 및 설치됨) - 200ºC - 1500ºC에서 가열(그림 2) 옵션 B형 열전대(추가 비용) - 1200ºC - 1700ºC에서 가열 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트와 +/- 1ºC 정확도를 갖춘 하나의 디지털 온도 컨트롤러(그림 3) 온도 컨트롤러의 시간 설정은 초 단위입니다. 온도 가열/냉각 속도를 1200ºC 미만에서는 0.3ºC/s(또는 20ºC/min)로, 1200~1700ºC에서는 0.15ºC/s(또는 10ºC/min)로 제한할 것을 권장합니다. 1300ºC 이상의 연속 가열의 경우 작동 시간을 1시간 미만으로 제한하여 하단 플랜지 O-링의 서비스 수명을 유지하십시오. Carbon 코팅에서 필요로 하는 것과 같이 2000°C까지의 빠른 코팅을 위해 사용자는 열전대, 알루미나 열 블록 및 알루미나 도가니를 제거하고 증발 재료를 텅스텐 코일 히터에 직접 로드하고 현재 수동 제어 모드를 사용할 수 있습니다(그림 4). ) 4개의 알루미나 도가니(최대 1700ºC)와 2개의 텅스텐 코일 히터가 포함되어 있습니다. 예비 부품 주문은 옵션 섹션을 참조하십시오.
회전식 샘플 홀더	50mm 직경 1개 회전 가능한 샘플 스테이지와 그 셔터는 상단 플랜지에 설치됩니다. 회전 속도: 5rpm 샘플 홀더에서 증발 소스까지의 거리는 40mm에서 85mm까지 조정 가능
필름 두께 분석 시스템(옵션)	정밀 박막 & 코팅 분석 시스템 - EQ-TFMS-LD는 추가 비용으로 제공됩니다.
진공	KF25 진공 포트는 진공 펌프에 연결하기 위해 설치됩니다. 선택 사양인 터보 분자 펌프로 밤새 펌핑하면 최고 진공이 <1E-5 Torr에 도달할 수 있습니다. 코팅에는 진공 펌프가 필요합니다. 다음 제품 옵션에서 선택하십시오 금, 은 및 유기 물질과 같은 귀금속 물질을 증발시키기 위해 최대 1.0E-2 Torr의 진공에 도달할 수 있는 오일 미스트를 제거하기 위한 증기 트랩이 있는 2단 로터리 베인 진공 펌프.
가스 주입구	챔버 퍼지 또는 포밍 가스 처리를 위해 1/4 튜브 피팅이 내장되어 있습니다. 하나의 니들 밸브가 내장되어 가스 유량을 제어합니다.
선택 과목	추가 알루미나 도가니 및 텅스텐 코일 히터는 추가 비용으로 TMAX에서 주문할 수 있습니다.
전체 치수
석영 챔버 치수	외경:280mm(11") 내경: 260mm(10.2") 길이: 310mm(12.2")
규정 준수	CE 인증서
보증	평생 지원이 포함된 1년 제한 보증
순중량	80kg
배송 무게 & 치수	200파운드, 40" x 30" x 32"
애플리케이션 노트	일부 재료의 증발에 필요한 고진공을 달성하기 위해 사용자는 다음을 수행할 수 있습니다. 챔버, O-링 및 플랜지에 입자, 섬유 또는 흠집이 있는지 확인하십시오. 이소프로필 알코올(IPA)에 적신 보풀 없는 티슈를 사용하여 표면을 닦습니다. 히터 테이프를 사용하여 챔버를 150ºC로 굽고 코일 히터와 도가니를 500ºC로 예열하면서 터보 펌프 옵션으로 최소 2시간 동안 펌핑합니다. 1.0E-5 Torr보다 높은 진공이 필요한 경우 가열하지 않고 밤새 챔버를 펌핑하십시오. 밀폐된 챔버와 진공 없이 가열 프로그램을 시작하거나 수동으로 전류를 증가시키지 마십시오! 코터가 증발 작업 중일 때 진공을 해제하거나 펌핑을 중지하지 마십시오! 히터가 식는 동안 펌핑을 중지하거나 온도가 100ºC 미만으로 떨어질 때만 진공을 해제하십시오!