입력 전원

• 단상 AC220V, 50/60Hz
• 700W(진공 펌프 포함)
• 110 VAC를 사용하기 위해 변압기가 포함됩니다. 제품 옵션에서 전압을 선택하세요.

출력 파워

• 1600VDC
• 최대 40mA

진공 챔버

• 진공 챔버: 150mm ID x 165mm OD x 150mm H, 고순도 석영으로 제작
• 평평한 O-링이 있는 스테인리스 스틸로 만든 밀봉 플랜지

히터가 있는 샘플 스테이지

• 스테이지 크기: 50mm Dia.
• 스퍼터링 거리 범위: 25 – 40mm 조절 가능
• 세 가지 스퍼터링 위치가 있는 회전식 스테이지(터치 스크린으로 제어)
• 기판 히터 최대 가열 온도 500 °C 내장
• +/- 1 °C 정확도의 PID 온도 컨트롤러가 터치 스크린에 통합됨

제어판

• 쉬운 작동을 위한 PLC 통합이 있는 6인치 컬러 터치 스크린
• 진공 게이지, 스퍼터링 전류 미터 및 기판 온도 제어가 터치 스크린 패널에 통합됨
• 가스 흡입 및 스퍼터링 전류 제어를 위한 전면 패널의 조정 노브
• 터치 스크린에서 스퍼터링 위치, 스퍼터링 타이머 및 공정 기록에 액세스 가능

방패

• 스테인레스 스틸 실드 케이지 추가 보호를 위해 포함되어 있습니다.

스퍼터링 타겟

• 대상 크기 요구 사항: 47mm Dia. 최대 x 2.5mm
• 표준 패키지에는 즉시 사용할 수 있는 세 가지 대상이 포함되어 있습니다.
• Au 대상 , 47mm 직경 x 0.12mm
• Ag 대상 , 47mm 직경 x 0.5mm
• Cu 타겟 , 47mm 직경 x 2.5mm
• 다양한 대상 MTI에서 주문 가능

진공 펌프
(선택 과목)

• 진공 펌프에 연결하기 위한 내장형 KF25 진공 포트.
• KF25 커넥터가 있는 진공 펌프가 필요하지만 포함되어 있지 않습니다. 사용자가 선택할 수 있습니다
• ㅏ 두 배 단계 기계적인 진공 펌프 최대 1.0E-2 Torr의 진공용.
• 또는 터보 펌프 최대 1.0E-5 Torr의 진공용
• 자동 제어를 위해 진공 펌프를 코터 왼쪽의 전원 콘센트에 꽂을 수 있습니다.
• 

치수

• 440mm L × 330mm W × 455mm H

순중량

• 50kg

규정 준수

• CE 승인
• MET 인증(UL 1450)은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다. 견적을 받으려면 영업 담당자에게 문의하십시오.

보증

• 평생 지원으로 1년 제한

애플리케이션 노트

• 최상의 필름-기판 접착 강도를 위해 코팅하기 전에 기판 표면을 청소하십시오.
• (1) 아세톤, (2) 이소프로필 알코올 - 오일과 그리스를 제거하기 위해 순차적인 수조를 사용한 초음파 세척. 기판을 N2로 불어 건조시킨 다음 진공에서 가열 베이킹하여 흡수된 수분을 제거합니다.
• 표면 거칠기, 표면 화학 결합 활성화 또는 추가 오염 제거를 위해 플라즈마 세척이 필요할 수 있습니다.
• Cr, Ti, Mo, Ta와 같은 얇은 버퍼층(~5nm)을 적용하여 금속 및 합금의 접착력을 향상시킬 수 있습니다.

• 안전한 사용을 위해 가스의 출력압력을 0.02 MPa 이하로 제한하기 위해 가스통에 2단 압력조절기(별매품)를 설치해야 합니다. >를 이용하십시오. 플라즈마 스퍼터링용 5N 순도의 Ar 가스
• 스퍼터링 코터는 코팅을 위해 Ar 및 N2 가스 글러브 박스에 넣을 수 있습니다.
• 높은 전압! 스퍼터링 헤드는 고전압에 연결됩니다. 안전을 위해 작업자는 샘플 로드 및 대상 변경 작업 전에 장비를 종료해야 합니다.
• 이 모델은 낮은 에너지로 인해 Al, Mg, Zn, Ni 등과 같은 가벼운 금속 재료를 코팅하는 데 적합하지 않습니다. 당사의 마그네트론 스퍼터링 코터 또는 열 증발 코터를 고려하십시오. 자세한 내용은 아래 사진을 클릭하세요